基本情報
| ブース | S7540 |
| 国 | JP |
| ウェブサイト | www.hitachi-hightech.com |
会社概要
株式会社 日立ハイテクは、日本を拠点とする技術企業で、半導体、分析、医療、産業、IT関連システムで事業を展開しています。事業セグメントにはNanotechnology Solutions、Analytical Solutions、Industrial Solutionsがあり、半導体製造装置にはエッチングシステムと、電子ビーム、光学、プラズマ制御に基づく技術が含まれます。製品ポートフォリオにはFE-SEM、C-SEM、FIB、TEM、Nano-prober、イオンミリングシステムのほか、半導体後工程向けSEM製品とアプリケーション、EMFC自動観察機能が含まれます。
展示製品
株式会社 日立ハイテクは、非揮発性材料エッチング向けに洗浄技術を統合したEMCP (Electro Magnetically Coupled Plasma)を紹介しています。EMCPは、次世代メモリやHDD (Hard Disk Drive)用薄膜ヘッドに用いられる非揮発性材料を高い生産性でエッチングします。マイクロ波ECRプラズマは、プラズマ分布やプラズマ位置制御などのプラズマパラメータを正確に管理することで、研究開発と量産の両方に広いプロセスウィンドウを提供します。同じプラズマ制御技術はドライクリーニングにも適用され、より安定したチャンバー状態を維持します。半導体後工程向けの提供内容には、SEM製品とアプリケーション、EMFC自動観察機能も含まれます。
対応領域・製品
- 不揮発性材料のエッチングと統合クリーニング
- マイクロ波 ECR プラズマプロセス
- プラズマドライクリーニング
- 半導体後工程向け SEM アプリケーション
- FE-SEM／C-SEM システム
- FIB システム
- TEM システム
- Nano-prober システム
- イオンミリングシステム