基本情報
| ブース | S7540 |
| 国 | JP |
| ウェブサイト | www.hitachi-tec.com/index.html |
会社概要
Hitachi High-Tech Corporation は、日本を拠点とする企業で、先端半導体製造向けの寸法計測、欠陥検査、ドライエッチング装置を供給する。CD-SEM（クリティカルディメンション走査電子顕微鏡）システムは、プロセス制御と歩留まり管理のためにウェハ上の微細パターン寸法を測定し、超低 100V 加速電圧と超高速多点測定により High-NA EUV プロセスに対応する GT2000 電子ビーム計測システム、EUV 世代の量産計測向けの CG7300 および CS4800 CD 測定 SEM を含む。GS1000 シリーズの電子ビーム面欠陥検査システムは、ビームシフトによる高速視野走査とアルゴリズム検査を用いて高速にウェハ欠陥を検出する。導体ドライエッチングシステム（M-8000 および 9000 シリーズ）は、高密度マイクロ波 ECR（電子サイクロトロン共鳴）プラズマを用い、32nm 以降のハードマスク・シリコンエッチングを行う。CD-SEM 計測、電子ビーム欠陥検査、ECR ドライエッチングのプロセス装置の供給企業として位置づけられる。
対応領域・製品
- CD-SEM限界寸法計測システム
- CG7300およびCS4800 CD計測SEM計測
- GS1000シリーズ電子ビームウェハ欠陥検査
- High-NA EUVプロセス制御向けGT2000電子ビーム計測
- アルゴリズムによる高速ウェハ欠陥検出
- ハードマスク・シリコンエッチング向けドライエッチングシステム
- 高密度マイクロ波ECRプラズマによる導体ドライエッチング