基本資料
| 攤位 | S7540 |
| 國別 | JP |
| 網站 | www.hitachi-tec.com/index.html |
公司簡介
Hitachi High-Tech Corporation 是位於日本的公司，供應用於先進半導體製造的關鍵尺寸量測、缺陷檢測與乾式蝕刻設備。其 CD-SEM（關鍵尺寸掃描式電子顯微鏡）系統量測晶圓上的細微圖案尺寸，用於製程控制與良率管理，包括採用超低 100V 加速電壓與超高速多點量測、面向 High-NA EUV 製程的 GT2000 電子束量測系統，以及面向 EUV 世代量產量測的 CG7300 與 CS4800 CD 量測 SEM。其 GS1000 系列電子束面缺陷檢測系統採用 beam-shift 快速視野掃描與演算法檢測，以高速進行晶圓缺陷偵測。其導體乾式蝕刻系統，包括 M-8000 與 9000 系列，採用高密度微波 ECR（電子迴旋共振）電漿，用於 32 奈米及以下的硬遮罩與矽蝕刻。公司定位為 CD-SEM 量測、電子束缺陷檢測與 ECR 乾式蝕刻製程設備供應商。
能力與產品項目
- CD-SEM 關鍵尺寸量測系統
- CG7300 與 CS4800 CD 量測 SEM 量測
- GS1000 系列電子束晶圓缺陷檢測
- GT2000 電子束量測，用於 High-NA EUV 製程控制
- 演算法高速晶圓缺陷偵測
- 硬遮罩與矽蝕刻乾式蝕刻系統
- 高密度微波 ECR 電漿導體乾式蝕刻