基本資料
| 攤位 | S7540 |
| 國別 | JP |
| 網站 | www.hitachi-hightech.com |
公司簡介
Hitachi High-Tech Corporation 是一家位於日本的技術公司，業務涵蓋半導體、分析、醫療、工業與 IT 相關系統。其業務分部包括 Nanotechnology Solutions、Analytical Solutions 與 Industrial Solutions；半導體製造設備則包括蝕刻系統，以及基於電子束、光學與電漿控制的技術。其產品組合包括 FE-SEM、C-SEM、FIB、TEM、Nano-prober 與離子研磨系統，以及半導體後段製程用 SEM 產品與應用和 EMFC 自動觀察功能。
展出產品
Hitachi High-Tech 展示整合清洗技術的 EMCP (Electro Magnetically Coupled Plasma)，用於非揮發性材料蝕刻。EMCP 可高生產力蝕刻下一代記憶體與 HDD (Hard Disk Drive) 薄膜磁頭所使用的非揮發性材料。微波 ECR 電漿透過精確管理電漿分布、電漿位置控制等電漿參數，在研發與量產中提供寬廣的製程視窗。同一套電漿控制技術也應用於乾式清洗，以維持更穩定的腔體狀態。半導體後段製程的供應內容還包括 SEM 產品與應用，以及 EMFC 自動觀察功能。
能力與產品項目
- 非揮發性材料蝕刻與整合清洗
- 微波 ECR 電漿製程
- 電漿乾式清洗
- 半導體後段 SEM 應用
- FE-SEM／C-SEM 系統
- FIB 系統
- TEM 系統
- Nano-prober 系統
- 離子研磨系統