기본 정보
| 부스 | S7330 |
| 국가 | US |
| 웹사이트 | highvacgroup.com |
회사 소개
Highvac Corporation은 1993년에 설립되었으며 미국 콜로라도에 본사를 두고 반도체 공정용 point-of-use 저감 시스템을 설계, 개발, 제조합니다. 각 응용 분야의 구체적인 화학 조건과 환경 요구에 맞춰 공정 중심 기술을 개발하며, 수소 연료 방식의 EcoGuard 저감 시스템은 Epitaxial 및 MOCVD GaN 응용 분야에 특화되어 있습니다. Highvac Corporation은 25년 이상 반도체 산업을 지원해 왔으며 북미 시장에 진공 및 저감 솔루션을 공급하면서 총소유비용 절감, 가동시간 향상, 진공 및 저감 시스템이 일상 운영에 부담을 주지 않도록 하는 데 중점을 둡니다. Highvac Corporation은 32년 이상 반도체 진공 펌프를 지원해 온 실적을 바탕으로 진공 및 저감 솔루션을 계속 공급하며, 반도체 진공 펌프 지원을 오랜 사업 영역으로 두고 있습니다. Highvac Corporation은 반도체 point-of-use 가스 저감을 핵심 공급 분야로 제시하며 반도체 Point of Use 가스 저감을 위한 최선의 선택으로 설명합니다. 제품과 서비스 전반에서 품질, 안전, 신뢰성, 비용 억제, 사이클 타임, 신속한 지원을 중시하며 고객별 요구와 응용에 맞춘 맞춤형 솔루션도 개발합니다.
전시 제품
EcoGuard Series E와 Series G는 수소를 연소 연료로 사용하는 소형 단일 인클로저 Wet/Burn/Wet point-of-use 저감 시스템입니다. 이 업계 최초 플랫폼은 매우 안정적인 화염 프로파일을 제공하여 메탄 연료 경쟁 시스템에서 흔한 화염 소실 문제를 제거합니다. 수소 연료 버너와 특허 습식 유입구를 통해 EcoGuard는 trichlorosilane을 포함한 고유량 실리콘 전구체를 막힘 없이 처리하고 수소, 암모니아, 금속유기 화합물, 부식성 부산물, 도펀트 가스, 입자 및 반응성 배기 성분을 관리합니다. 운영 효과로는 유지보수 요구 감소, 가동시간 극대화, 대량 제조 환경에서 예기치 않은 정지를 최소화하여 처리량을 높이는 점이 제시됩니다. iP Series는 수랭식 건식 스크루 고진공 펌프로, 기본 모델의 펌핑 속도는 100 m3/hr에서 800 m3/hr까지 제공되어 다양한 표준 크기로 여러 공정 응용에 대응합니다. EcoGuard 제품은 유해 부산물을 포집한 뒤 비용이 높고 위험한 폐기물 처리를 하는 대신 이를 파괴하고 제거하도록 설계되며, 혁신적인 제어 프로그램을 통해 공정 및 저감 운용 비용 절감을 지원합니다. 입자 저감 분야에서는 Taisei Giken TRAPPACK이 반도체 및 TFT LCD 제조, 이온 주입, 식각, CVD 등에서 발생하는 배기 유출물에서 입자성 부산물을 제거하여 유지보수 빈도를 낮추고 생산성을 높이는 것을 목표로 합니다. 반도체, LCD, 태양광 산업을 위해 Advance Exchange Program, 펌프 수리 및 재생, Mag-Lev 터보 펌프 수리 서비스를 제공합니다. 반도체, LCD, 태양광 생산용 맞춤형 솔루션에는 Epitaxial용 ECOGUARD point-of-use 저감, 노후 EBARA A70W 펌프를 위한 스크루 펌프 개조, 기타 응용 맞춤형 개조가 포함됩니다. 수소 연료 반도체 저감 장비는 탄소 기반 연료에서 전환하려는 사용자를 대상으로 하며 화염 소실, 막힘, NOx 발생이 없고 대기압 및 저압 또는 감압 EPI 반응기 장비에 적합하다고 제시됩니다. 같은 수소 연료 방식은 subfab의 scope 1 배출을 줄이고 유지보수 및 운영 비용을 낮추며 다운타임을 줄여 가동시간을 높이는 방법으로 제시됩니다.2014년 Highvac Corporation은 감압 에피택시 장비를 사용하는 대형 200mm 반도체 제조업체로부터 안전하고 신뢰성 있는 point-of-use 저감 시스템 공급을 요청받았으며, 기존 burn/wet 장치는 주로 유입구 막힘 때문에 상당한 유지보수 부담을 발생시키고 있었습니다. Metal Etch 및 PECVD와 같은 부식성 반도체 공정에서는 주철 건식 펌프 내부 부품이 식각되어 효과적인 재생이 어려워질 수 있는 문제에 대응합니다. 수천 대의 Edwards iQDP80/QMB 건식 펌프 시스템을 정비한 경험을 바탕으로 Highvac Corporation은 부스터 씰 고장을 크게 줄이기 위한 솔루션을 개발했으며, 이러한 고장은 오일 누출 또는 부스터 케이싱과 건식 펌프로의 오일 유입을 일으켜 결국 건식 펌프 고장으로 이어질 수 있습니다. 공정 장비 외에도 맞춤형 작업은 장비 개조부터 대체 운송 크레이트 옵션까지 확장되어 서로 다른 운영 및 물류 요구에 맞게 솔루션을 조정할 수 있습니다. 다단 건식 진공 펌프는 30-35년 이상 상용화되어 왔고 초기에는 일반적으로 수랭식이었으며 최근에는 공랭식 설계도 도입되었고, 오일 밀봉 펌프가 2단에서 도달하는 압력에 가까워지려면 일반적으로 4-6단의 압축이 필요합니다.
역량 및 제품
- 반도체 Point-of-Use 가스 저감 시스템
- 수소 연료 Epitaxial/MOCVD GaN 배기가스 처리
- Wet/Burn/Wet 반도체 배기가스 처리
- 100~800 m3/hr 드라이 스크류 고진공 펌프
- 반도체/TFT LCD 배기 입자 저감
- 반도체 진공펌프 수리 및 리빌드
- Mag-Lev 터보펌프 수리
- 스크류 펌프 레트로핏
- 반도체 진공 및 저감 맞춤형 솔루션