기본 정보
| 부스 | S7330 |
| 국가 | US |
| 웹사이트 | highvacgroup.com |
회사 소개
1993년에 설립되어 미국 Colorado에 본사를 둔 HIGHVAC는 반도체 공정용 point-of-use 저감 시스템을 설계, 개발 및 제조합니다. 각 애플리케이션의 특정 화학 조성과 환경 요구사항을 기반으로 공정 중심 기술을 개발합니다. 수소 연료 저감 시스템을 통해 HIGHVAC의 EcoGuard는 에피택셜 및 MOCVD GaN 애플리케이션에서 특화된 입지를 구축했습니다. SEMICON Taiwan 2026에서 HIGHVAC는 EcoGuard Series E 및 Series G를 중점적으로 소개합니다. 이 제품들은 수소를 연소 연료로 사용하는 컴팩트한 단일 인클로저 Wet/Burn/Wet 시스템입니다. 업계 최초인 이 플랫폼은 매우 안정적인 화염 프로파일을 제공하여 메탄 연료 경쟁 시스템에서 흔히 발생하는 화염 소실 문제를 제거합니다. 수소 연료 버너와 특허받은 습식 인렛을 함께 사용하여 EcoGuard는 막힘 없이 트리클로로실란을 포함한 실리콘 전구체의 고유량을 처리하는 동시에 수소, 암모니아, 유기금속 화합물, 부식성 부산물, 도펀트 가스, 입자 및 반응성 배기 화학물질을 관리할 수 있습니다. 그 결과 대량 생산 환경에서 예기치 않은 가동 중단을 최소화하여 유지보수 요구사항을 줄이고 가동 시간을 극대화하며 처리량을 높입니다.
역량 및 제품
- 반도체 공정 POU 배기가스 처리 시스템
- 수소 연료 Wet/Burn/Wet 배기가스 처리 시스템