基本資料
| 攤位 | S7330 |
| 國別 | US |
| 網站 | highvacgroup.com |
公司簡介
HIGHVAC 成立於 1993 年，總部位於美國科羅拉多州，從事半導體製程用終端點（point-of-use）廢氣處理系統的工程、開發與製造。公司依據每項應用的特定化學特性與環境要求，打造以製程為導向的技術。透過氫燃料廢氣處理系統，HIGHVAC 的 EcoGuard 在磊晶與 MOCVD GaN 應用中建立了專門的地位。在 SEMICON Taiwan 2026，HIGHVAC 重點展示 EcoGuard Series E 與 Series G，這是採用氫作為燃燒燃料的緊湊型單機櫃 Wet/Burn/Wet 系統。此業界首創的平台提供高度穩定的火焰特性，消除了甲烷燃料競品系統常見的熄火問題。氫燃料燃燒器與專利濕式入口的搭配，使 EcoGuard 能處理包含三氯矽烷在內的大流量矽前驅物而不阻塞，同時處理氫、氨、金屬有機化合物、腐蝕性副產物、摻雜氣體、微粒與反應性排氣化學物質。其結果是降低維護需求、將稼動時間最大化，並藉由減少大量生產環境中的非預期停機來提高產出。
能力與產品項目
- 半導體製程終端點廢氣處理系統
- 氫燃料 Wet/Burn/Wet 廢氣處理系統