基本資料
| 攤位 | S7330 |
| 國別 | US |
| 網站 | highvacgroup.com |
公司簡介
Highvac Corporation 成立於 1993 年，總部位於美國科羅拉多州，從事半導體製程用使用點式廢氣處理系統的工程設計、開發與製造。公司依各應用的特定化學條件與環境需求開發以製程為導向的技術，其以氫氣為燃料的 EcoGuard 廢氣處理系統則專門應用於 Epitaxial 與 MOCVD GaN 領域。Highvac Corporation 已支援半導體產業超過 25 年，並向北美市場供應真空與廢氣處理解決方案，重點在降低持有成本、提高正常運轉時間，並讓真空與廢氣處理系統在日常營運中盡可能不造成額外負擔。Highvac Corporation 已累積超過 32 年支援半導體真空泵的經驗，並持續供應真空與廢氣處理解決方案，使半導體真空泵支援成為其長期業務的一部分。Highvac Corporation 將半導體使用點式氣體廢氣處理列為核心供應項目，並將其定位為半導體 Point of Use 氣體廢氣處理的最佳選擇。在產品與服務方面，Highvac Corporation 重視品質、安全、可靠度、成本控制、週期時間與即時支援，並依個別客戶的需求與應用開發客製化解決方案。
展出產品
EcoGuard Series E 與 Series G 是緊湊型單一機箱 Wet/Burn/Wet 使用點式廢氣處理系統，並以氫氣作為燃燒燃料。此業界首創平台提供高度穩定的火焰輪廓，可消除以甲烷為燃料的競爭系統常見的熄火問題。氫氣燃燒器與專利濕式入口使 EcoGuard 能在不堵塞的情況下處理包含 trichlorosilane 在內的高流量矽前驅物，並同時處理氫氣、氨氣、金屬有機化合物、腐蝕性副產物、摻雜氣體、微粒與反應性廢氣化學物。其運轉效益包括降低維護需求、最大化正常運轉時間，並透過減少大量製造環境中的非預期停機來提高產出。iP Series 為水冷式乾式螺桿高真空泵，基礎型號的抽氣速度涵蓋 100 m3/hr 至 800 m3/hr，可用不同標準尺寸對應多種製程應用。EcoGuard 產品的設計目標是直接破壞並消除有害副產物，而不是先捕集後再進行成本高且具危害性的廢棄物處置；產品線也透過創新的控制程式支援較低的運轉成本與製程及廢氣處理節省。在微粒處理方面，Taisei Giken TRAPPACK 可從半導體與 TFT LCD 製造、離子佈植、蝕刻、CVD 等製程產生的排氣中移除微粒副產物，以降低維護頻率並提高生產力。針對半導體、LCD 與太陽能產業，Highvac Corporation 提供 Advance Exchange Program、泵浦維修與重建，以及 Mag-Lev 渦輪泵維修服務。半導體、LCD 與太陽能生產的客製化方案包括 Epitaxial 用 ECOGUARD 使用點式廢氣處理、老舊 EBARA A70W 泵的螺桿泵改裝，以及其他依應用需求設計的改裝方案。其氫氣燃料半導體廢氣處理設備面向希望減少碳基燃料使用的應用，並被描述為不會熄火、堵塞或產生 NOx，適用於大氣壓以及低壓或減壓 EPI 反應器設備。相同的氫氣燃料方案也用於降低 subfab 的 scope 1 排放、降低維護與運轉成本，並減少停機時間、提高正常運轉時間。2014 年，Highvac Corporation 曾受一家大型 200mm 半導體製造商委託，為其減壓磊晶設備提供安全且可靠的使用點式廢氣處理系統；原有 burn/wet 裝置造成顯著維護需求，主要問題與入口堵塞有關。對 Metal Etch 與 PECVD 等具腐蝕性的半導體製程，Highvac Corporation 針對鑄鐵乾式泵內部元件可能被侵蝕到無法有效重建的問題提供對應方案。在維修數千套 Edwards iQDP80/QMB 乾式泵系統後，Highvac Corporation 開發出用於顯著降低 booster seal 故障的方案，這類故障可能造成油液外漏，或讓油液進入 booster 泵殼與乾式泵，最終導致乾式泵失效。除製程設備外，客製化工作也可從設備改裝延伸到替代式運輸箱選項，使公司能依不同的操作與物流需求調整方案。多段式乾式真空泵已商用超過 30-35 年；早期版本通常採水冷，近年也出現氣冷設計，而且一般需要 4-6 段壓縮，才能接近油封式泵以兩段壓縮可達到的壓力範圍。
能力與產品項目
- 半導體Point-of-Use氣體減排系統
- 氫燃料Epitaxial／MOCVD GaN廢氣處理
- Wet／Burn／Wet半導體廢氣處理
- 100～800 m3/hr乾式螺桿高真空泵
- 半導體／TFT LCD粒子廢氣捕集
- 半導體真空泵維修與翻修
- Mag-Lev渦輪泵維修
- 螺桿真空泵Retrofit改造
- 半導體真空與減排客製方案