기본 정보
| 부스 | R7724 |
| 국가 | DE |
| 웹사이트 | heidelberg-instruments.com |
회사 소개
Heidelberg Instruments는 고정밀 레이저 리소그래피 시스템, 마스크리스 얼라이너 및 나노가공 장비를 설계·개발·제조하며, 반도체 및 첨단 패키징 응용을 위한 R&D·소량 생산 시스템부터 대량 포토마스크 생산 장비까지 제공합니다.
전시 제품
현재 참가업체 페이지에는 양산용 MLA 300 마스크리스 얼라이너와 ULTRA 반도체 마스크 라이터가 직접 기재되어 있습니다. MLA 300은 첨단 패키징을 포함한 고처리량 산업용 리소그래피를 대상으로 하며, ULTRA는 성숙 반도체 공정 노드용 고처리량·고정밀 포토마스크 기록을 대상으로 합니다.
역량 및 제품
- 고정밀 레이저 리소그래피 시스템
- 마스크리스 양산 정렬 노광 장비
- 반도체 포토마스크 직접 기록 시스템