基本情報
| ブース | R7724 |
| 国 | DE |
| ウェブサイト | heidelberg-instruments.com |
会社概要
1984 年に設立された Heidelberg Instruments は、高精度レーザーリソグラフィシステム、マスクレスアライナー、ナノファブリケーション装置の設計・開発・製造における世界的リーダーです。世界で 1,500 台を超えるシステムを納入し、マイクロ・ナノ加工向けの先進的なリソグラフィおよびダイレクトライト技術で 40 年以上の専門性を有する同社は、産業界と学術界の双方から信頼されるパートナーかつソリューションプロバイダーとしての地位を確立しています。製品ラインアップは、研究開発や小ロット生産向けの卓上型コンパクトシステムから、量産向けの先進フォトマスク製造装置まで多岐にわたります。当社のソリューションは、高解像度の 2D パターニングと、グレースケールリソグラフィによる複雑な 2.5D 形状の作製の双方を支え、マイクロ・ナノスケールの幅広いパターニング用途に対応します。精度、柔軟性、自動化を組み合わせることで、Heidelberg Instruments はお客様の開発コストと市場投入までの時間を削減しながらイノベーションを加速します。代表的な応用分野には、フォトニクス、エレクトロニクスとセンサー、半導体と先進パッケージング、ディスプレイ、量子デバイス、MEMS、マイクロフルイディクス、2D 材料、フォトマスク製造などがあります。半導体イノベーションを支える:Heidelberg Instruments の精密なリソグラフィ装置は、開発から生産までの重要なリソグラフィ工程に対応し、半導体の製造と研究を支援します。産業用マスクレスアライナーシステムは、GEM300 対応の SECS/GEM や OPC/UA を含む最新の装置制御システムに完全に統合できます。これらの機能により、高精度なレチクル製作、マスクレス露光、アダプティブパターニング、多層デバイスや先進パッケージのアライメントが可能になります。現在、Heidelberg Instruments は世界で約 400 名の従業員を擁し、ドイツに本社を置き、日本、韓国、米国に子会社があります。同社はドイツ、スイス、中国にプロセス・アプリケーションラボを運営し、LAB14 グループの一員です。中国および台湾市場では、Heidelberg Instruments は Stella Technology Co., Ltd. が独占的に代理しています。Stella Technology はブース K2382 に出展します。
展示製品
製品には、高精度レーザーリソグラフィシステム、マスクレスアライナー、ナノ加工ツール、卓上型の研究開発・少量生産装置から量産向け先端フォトマスク製造装置までが含まれる。高解像度2D構造、グレースケールリソグラフィによる2.5D形状、高精度レチクル製作、マスクレス露光、アダプティブパターニング、多層デバイス／先端パッケージングのアライメントに対応する。
対応領域・製品
- 高精度レーザーリソグラフィシステム
- マスクレスアライナーとナノファブリケーション装置
- 世界で1,500台超のシステムを導入
- 量産向けフォトマスク製造装置
- グレースケールリソグラフィによる2.5D形状の作製
- SECS/GEM(GEM300対応)との統合
- 高精度レチクル製作とアダプティブパターニング
- フォトニクス・センサー・先進パッケージ向け用途
- 世界で約400名の従業員