基本資料
| 攤位 | R7724 |
| 國別 | DE |
| 網站 | heidelberg-instruments.com |
公司簡介
Heidelberg Instruments 成立於 1984 年,是高精度雷射微影系統、無光罩對準機與奈米製造設備設計、開發與生產的全球領導者。公司在全球已安裝超過 1,500 套系統,在微米與奈米製造的先進微影與直寫技術上擁有超過 40 年的專業,已成為產業界與學術界值得信賴的夥伴與解決方案供應商。產品組合涵蓋從研發與小批量生產用的桌上型精巧系統,到大量生產用的先進光罩製造設備。我們的解決方案支援廣泛的微米與奈米尺度圖案化應用,既能進行高解析度的 2D 結構化,也能透過灰階微影製作複雜的 2.5D 立體形貌。Heidelberg Instruments 結合精密、彈性與自動化,協助客戶加速創新,同時降低開發成本與上市時間。典型應用領域包括光子學、電子與感測器、半導體與先進封裝、顯示器、量子元件、MEMS、微流體、二維材料與光罩製造。賦能半導體創新:Heidelberg Instruments 精密的微影設備涵蓋開發與量產階段的關鍵微影製程,支援半導體製造與研究。工業級無光罩對準機系統可完整整合進現代化的機台執行系統,包括支援 GEM300 的 SECS/GEM 以及 OPC/UA。這些能力可實現高精度光罩製作、無光罩曝光、適應性圖案化,以及多層元件與先進封裝的對準。目前 Heidelberg Instruments 在全球約有 400 名員工,總部位於德國,並在日本、韓國與美國設有子公司。公司在德國、瑞士與中國設有製程與應用實驗室,並隸屬於 LAB14 集團。在中國與台灣市場,Heidelberg Instruments 由 Stella Technology Co., Ltd. 獨家代理。Stella Technology 將於 K2382 攤位展出。
展出產品
產品包括高精度雷射微影系統、無光罩對準機、奈米製造工具，以及從桌上型研發／小量生產設備到量產用先進光罩製造設備。系統支援高解析 2D 結構、灰階微影 2.5D 地形，以及高精度光罩製作、無光罩曝光、自適應圖案化與多層元件／先進封裝對準。
能力與產品項目
- 高精度雷射微影系統
- 無光罩對準機與奈米加工工具
- 全球裝機逾 1500 套系統
- 量產用光罩製造設備
- 灰階微影 2.5D 形貌製作
- SECS/GEM 與 GEM300 整合
- 高精度光罩製作與適應性圖案化
- 光子學感測器與先進封裝應用
- 全球約 400 名員工