기본 정보
| 부스 | N0043 |
| 국가 | CN |
| 웹사이트 | www.istar-group.com |
회사 소개
iSTAR는 강력한 자본, 축적된 산업 경험, 폭넓은 기술 기반 등 다양한 우수 자원을 통합해 출범한 민간 그룹 기업으로, 고급 제조 장비를 개발하고 산업화를 실현하는 것을 사명으로 합니다. iSTAR는 정밀 기계, 정밀 광전자, 정밀 모션, 정밀 제어 및 복합 소프트웨어를 핵심 기술로 하여 반도체, 범반도체, 정밀 제조, 신에너지 및 바이오의료 분야의 혁신 장비를 개발합니다. 핵심 기술팀과 혁신 기술이 빠르게 성장함에 따라 iSTAR iStar는 첨단이면서 비용 효율적인 장비를 시장에 공급하기 위한 명확한 기술 및 제품 로드맵을 보유하고 있습니다.
전시 제품
대시야 스캐닝 노광 및 나노임프린트 리소그래피와 같은 핵심 장비를 공급하여 정밀 패턴 제조를 가능하게 합니다. 다양한 크기의 웨이퍼와 대형 기판의 노광을 지원하며, 접촉/근접 노광의 낮은 비용과 스테퍼 노광의 높은 해상도를 결합하여 첨단 패키징의 대면적 노광 요구를 충족합니다. 완전 자동화: 자동 초점, 정렬, 레지스트 도포, 임프린팅, UV 경화 및 결함 검사를 통합하여 전 공정에 수작업 개입이 필요하지 않으며 장비 처리량을 크게 향상합니다.
역량 및 제품
- 반도체 및 범반도체 혁신 장비 개발
- UV 경화 및 결함 검사 통합
- 정밀 모션·정밀 제어 기술