기본 정보
| 부스 | N0043 |
| 국가 | CN |
| 웹사이트 | www.istar-group.com |
회사 소개
Guangdong iStar Technology Equipment Co., Ltd.는 자본 자원, 성숙한 산업 경험, 폭넓은 기술 기반을 통합해 설립된 민간 그룹 회사로 첨단 제조 장비 개발과 산업화를 사명으로 합니다. 반도체, 범반도체, 정밀 제조, 신에너지, 바이오메디컬 분야를 위한 혁신 장비를 개발해 여러 산업을 대상으로 합니다. 핵심 기술은 정밀 기계, 정밀 광전자, 정밀 모션, 정밀 제어, 복합 소프트웨어이며 기계, 광학, 모션, 제어, 소프트웨어 역량을 하나의 장비 개발 기반에 결합합니다. 성장하는 핵심 기술팀과 지속적인 기술 혁신이 명확한 기술 및 제품 로드맵을 지원해 첨단이면서 비용 효율적인 장비를 시장에 공급합니다.
전시 제품
제품군에는 정밀 패턴 제조용 대시야 스캐닝 노광 장비와 나노임프린트 리소그래피 장비가 포함됩니다. 제품 및 서비스 체계는 리소그래피 시스템 솔루션, 본딩 시스템 솔루션, 계측 및 광학 시스템 솔루션, AeroLas 에어베어링 및 시스템을 포함합니다. iAS Series 대면적 리소그래피 장비는 다양한 크기의 웨이퍼와 대형 기판 노광을 지원합니다. 접촉식 또는 근접식 노광의 낮은 비용 장점과 스테퍼형 장비의 고해상도 성능을 결합합니다. 이 조합은 첨단 패키징의 대면적 노광 요구를 충족하도록 설계되어 넓은 패턴 영역이 필요한 반도체 패키징 공정에 직접 연결됩니다. iNS Series 스텝 방식 나노임프린트 장비는 완전 자동화 기능을 제공해 전체 공정에서 수작업에 의존하지 않습니다. 자동 기능은 자동 초점과 정렬을 통합하여 장비 시퀀스 안에서 위치 결정과 초점 설정을 수행합니다. 같은 통합 공정에는 접착제 분사, 임프린팅, UV 경화가 포함되어 재료 도포, 패턴 형성, 경화를 하나의 자동 공정으로 처리합니다. 결함 검사도 통합되어 자동 초점, 정렬, 접착제 분사, 임프린팅, UV 경화, 검사를 인력 개입 없이 진행할 수 있습니다. 전체 공정에서 인력 개입을 제거함으로써 iNS 자동화는 장비 처리량을 크게 높이는 것으로 설명됩니다. 리소그래피 시스템 제품 페이지는 정밀 패턴 제조를 위한 두 개의 주요 명명 제품군으로 iAS Series 대면적 리소그래피 장비와 iNS Series 스텝 방식 나노임프린트 장비를 제시하며 각각 대면적 노광과 스텝 방식 나노임프린트에 대응합니다. 두 제품군은 서로 다른 패터닝 방식을 담당하며 iAS는 웨이퍼와 대형 기판의 대면적 노광에, iNS는 나노임프린트 공정과 완전 자동 통합 시퀀스의 결합에 초점을 두어 노광과 임프린트 두 가지 정밀 패턴 형성 방식을 제공합니다.
역량 및 제품
- 대시야 스캐닝 노광 장비
- 스텝 앤 리피트 나노임프린트 장비
- 완전 자동 나노임프린트 공정 통합
- 다양한 크기 웨이퍼 및 대형 기판 노광