基本資料
| 攤位 | N0043 |
| 國別 | CN |
| 網站 | www.istar-group.com |
公司簡介
廣東星空科技裝備有限公司是一家民營集團公司，透過整合資本資源、成熟的產業經驗與廣泛技術基礎成立，使命是開發高階製造設備並推動設備產業化應用。公司為半導體、泛半導體、精密製造、新能源與生醫領域開發創新設備，使設備開發活動橫跨多個產業。核心技術包括精密機械、精密光電、精密運動、精密控制與複雜軟體，把機械、光學、運動、控制與軟體能力整合在同一設備開發平台。持續成長的核心技術團隊與技術創新支撐明確的技術與產品路線圖，用於持續向市場供應先進且具成本效益的高階製造設備。
展出產品
產品組合包括大視場掃描曝光與奈米壓印光刻設備，用於精密圖形製造。公司的產品與服務架構列出光刻系統解決方案、鍵合系統解決方案、量測及光學系統解決方案，以及 AeroLas 氣浮與系統。iAS 系列大面積光刻機支援多種尺寸晶圓以及大尺寸基板曝光。其曝光應用同時結合接觸式或接近式曝光的低成本優勢，以及步進式設備的高解析度性能。這種組合用於滿足先進封裝的大面積曝光需求，使曝光平台直接對應需要大面積圖形的半導體封裝製程。iNS 系列步進奈米壓印設備具備全自動能力，使完整工藝流程不必依賴人工操作。自動化功能整合自動對焦與對準，可在設備流程內完成定位與聚焦。同一整合流程亦包含噴膠、壓印與 UV 固化，把材料施作、壓印成形與固化整合在自動化製程中。缺陷檢測也被整合進流程，因此自動對焦、對準、噴膠、壓印、UV 固化與檢測可在無人工介入下完成。透過移除完整工藝製程中的人工介入，iNS 的自動化能力可大幅提高設備產率。光刻系統產品頁明確列出 iAS 系列大面積光刻機與 iNS 系列步進奈米壓印設備，作為精密圖形製造所展示的兩個主要具名系列，分別對應大面積曝光與步進式奈米壓印。兩個具名系列對應不同圖形化方式：iAS 著重大尺寸晶圓與基板的大面積曝光，iNS 則把奈米壓印處理與完整自動化整合流程結合，使公司同時提供曝光與壓印兩種精密圖形製造路線。
能力與產品項目
- 大視場掃描曝光設備
- 全自動步進式奈米壓印設備