基本情報
| ブース | N0043 |
| 国 | CN |
| ウェブサイト | www.istar-group.com |
会社概要
Guangdong iStar Technology Equipment Co., Ltd. は、資本、成熟した産業経験、広範な技術基盤を統合して設立された民間グループ企業で、高度製造装置の開発と産業化を使命とします。半導体、汎半導体、精密製造、新エネルギー、バイオメディカル分野向けに革新的装置を開発し、複数産業を対象としています。コア技術は精密機械、精密オプトエレクトロニクス、精密モーション、精密制御、複雑ソフトウェアで、機械、光学、モーション、制御、ソフトウェアを同じ装置開発基盤に統合します。成長する中核技術チームと継続的な技術革新が明確な技術・製品ロードマップを支え、先進的で費用対効果の高い装置を市場へ供給します。
展示製品
製品群には精密パターン製造向けの大視野走査露光装置とナノインプリントリソグラフィ装置が含まれます。製品・サービス体系には、リソグラフィシステム、ボンディングシステム、計測・光学システム、AeroLas エアベアリングおよびシステムの各ソリューションがあります。iAS Series 大面積リソグラフィ装置は複数サイズのウェハと大型基板の露光に対応します。接触式または近接式露光の低コスト面と、ステッパー型装置の高解像度性能を組み合わせています。この組み合わせは先端パッケージングの大面積露光要求に対応し、大きなパターン領域を必要とする半導体パッケージ工程に直接つながります。iNS Series ステップ式ナノインプリント装置は完全自動化能力を持ち、全工程で手作業を必要としません。自動機能にはオートフォーカスとアライメントが統合され、位置決めと焦点合わせを装置シーケンス内で実施します。同じ工程には接着剤噴霧、インプリント、UV 硬化も含まれ、材料塗布、形状形成、硬化を一つの自動工程で実行します。欠陥検査も統合され、オートフォーカス、アライメント、接着剤噴霧、インプリント、UV 硬化、検査を人手なしで進められます。全工程から人手を除くことで、iNS の自動化は装置スループットを大幅に高めると説明されています。リソグラフィシステムの製品ページでは、精密パターン製造向けの主要な二つのシリーズとして iAS Series 大面積リソグラフィ装置と iNS Series ステップ式ナノインプリント装置を明記し、それぞれ大面積露光とステップ式ナノインプリントに対応させています。二つのシリーズは異なるパターニング方式に対応し、iAS はウェハと大型基板の大面積露光、iNS はナノインプリント処理と完全自動の統合シーケンスを組み合わせ、露光とインプリントの両方の精密パターン形成手段を提供します。
対応領域・製品
- 大視野走査露光装置
- 全自動ステップ式ナノインプリント装置