기본 정보
| 부스 | R7812 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.greenfiltec.com |
회사 소개
• 필터 프레임은 재사용할 수 있으며, 대만 정부로부터 “ Certificate for the use of Type II Green Mark"를 취득했습니다. • Green FILTEC (GFT)는 미세 오염 제어 분야의 선도 기술을 보유하고 있습니다. 당사는 반도체 및 패널 산업에 최상의 AMC 예방 제어 프로그램을 제공합니다. 제품 모듈화를 통해 3R 목표(필터 폐기물 감축/프레임 재사용/필터 재생 재사용)를 달성하여 필터의 전체 취득 비용을 절감할 수 있습니다. GFT의 현재 고객군에는 글로벌 웨이퍼 파운드리, 패널 제조업체 및 DRAM 제조업체가 포함됩니다. 이 가운데 12인치 첨단 공정 공급이 주력 품목입니다. 핵심 반도체 첨단 공정의 소모품 공급업체가 되는 것이 GFT의 발전 동력입니다. GreenFILTEC 공식 웹사이트: http://www.greenfiltec.com/
전시 제품
GreenFILTEC은 재생 화학 필터를 개발했으며, 특허 모듈형 프레임 설계를 통해 알루미늄 프레임을 반복 사용하고 내부 흡착재만 교체할 수 있습니다. 이 솔루션은 특정 공정 가스에 대응하도록 배합을 최적화할 수 있으며, 팬 필터 유닛에 안정적으로 장착되어 작동하면서 극도의 청정도를 유지합니다. 이를 통해 반도체 화학 필터를 순환 가능한 친환경 자산으로 전환하여 수율과 환경 지속가능성을 함께 고려합니다. 이 기술의 핵심은 당사의 특허 모듈형 프레임 설계로, 기존 필터가 포화되면 전체를 폐기해야 했던 한계를 극복했습니다. 필터가 사용 수명에 도달하면 고객은 내부 흡착재만 교체하면 되고, 고품질 알루미늄 프레임은 전문 세척과 성능 검사를 거쳐 재사용할 수 있습니다. 이 재생 공정은 시설 측의 폐기물 처리 비용을 크게 낮출 뿐만 아니라 특정 공정 과제에서도 탁월한 성능을 보여줍니다. 예를 들어 박막 및 세정 공정에서는 이소프로필알코올(IPA)과 아세톤(Acetone) 가스가 필터 수명에 미치는 영향이 특히 큽니다. 재생 필터는 이러한 고부하 적용 환경에 맞게 흡착 배합을 최적화하여 여재의 포화 속도를 효과적으로 늦추고 전체 사용 효율을 높입니다. 정밀한 배합 조정을 거친 재생 여재는 흡착 동역학 성능이 일회용 필터와 동일하며, 팬 필터 유닛(FFU)에 안정적으로 장착되어 작동할 수 있습니다. 이 혁신적인 서비스를 통해 GreenFILTEC은 고객이 3nm급의 극도 청정도를 유지하는 동시에 스코프 3 탄소 발자국을 효과적으로 낮추도록 지원하며, 반도체 화학 필터를 소모품에서 순환 이용 가능한 친환경 자산으로 전환하여 수율 향상과 환경 지속가능성을 모두 실현합니다. GreenFILTEC 재생 필터는 「특허 모듈화, 고효율 재생, 저탄소 폐기물 감축」의 세 가지 핵심 강점을 결합합니다. 고강도 알루미늄 합금 프레임을 반복 사용함으로써 고객의 금속 폐기물을 60% 이상 줄이는 데 성공했습니다. 모든 재생 필터는 전문 실험실의 엄격한 테스트와 ISO9001 품질 시스템 관리를 거쳐 초기 여과 효율과 압력 손실 지표가 국제 규격을 충족하도록 보장합니다. 이러한 「버리지 않고 교체」하는 서비스 모델은 조달 비용을 최적화할 뿐만 아니라 현지화 공급망의 납기를 크게 단축하며, 첨단 공정이 넷제로 배출로 나아가는 최적의 경로입니다. ● AMC 검사·분석 기술: 전문 공기 필터 분석 실험실 팀을 보유하고 있으며, 클린룸 환경 샘플링 분석, 필터 성능, 포화 용량 분석 등을 시험합니다. 시험 가능 항목은 다음과 같습니다: 분자산(MA), 분자염기(MB), 응축물(MC). ● AMC 농도 제어: 고객이 제공한 정보와 GreenFILTEC 실험실 팀의 현장 샘플링 분석 결과를 바탕으로 원스톱 서비스를 제공하여 고객이 각종 AMC 문제를 해결하도록 지원합니다. ● 재료 아웃가스 분석: 정밀 공정에는 우수한 환경 제어가 필요하며, 재료 내 불순물 역시 완제품의 안정성과 적용 신뢰성에 영향을 줍니다. 재료 불순물의 총 아웃가스 방출량 기준은 특히 엄격하게 설정됩니다. 하류 고객의 적용 현장 제조 장비를 오염시켜 돌이킬 수 없는 손상을 초래할 수 있기 때문에, GreenFILTEC은 AMC 관련 항목에 대해 다양한 재료의 아웃가스 분석을 제공할 수 있습니다.
역량 및 제품
- 반도체·패널 AMC 방지
- 재생 화학 필터
- 재사용 알루미늄 프레임 모듈형 필터
- 특정 공정 가스 흡착 배합 최적화
- FFU 재생 필터 적용
- IPA／Acetone 고부하 흡착 포뮬레이션
- 3nm급 청정도 화학 필터
- 클린룸 환경 샘플링 분석
- 필터 성능 및 포화 용량 분석
- MA／MB／MC AMC 테스트
- AMC 농도 제어 서비스
- 소재 AMC 아웃가스 분석