기본 정보
| 부스 | R7812 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.greenfiltec.com |
회사 소개
GreenFILTEC LTD.는 반도체 및 패널 산업에 AMC 예방·제어 프로그램을 제공하고 해당 생산 환경을 위한 미세 오염 제어 기술을 개발합니다. 필터 프레임은 재사용할 수 있으며 대만 정부의 「Certificate for the use of Type II Green Mark」를 취득했다고 설명합니다. 제품 모듈화를 통해 Filter waste reduction, frame reuse, filter regeneration reuse라는 3R 목표를 추진하고 필터 전체 조달 비용을 낮추는 것을 목적으로 합니다. 고객 기반에는 글로벌 웨이퍼 파운드리, 패널 제조사, DRAM 제조사가 포함되며 12인치 첨단 공정 공급을 주요 사업으로 설명하고 핵심 반도체 첨단 공정용 소모품 공급업체가 되는 것을 개발 동기로 제시합니다. 필터 제품 외에도 전문 공기 필터 분석 실험실 팀을 운영해 클린룸 환경 샘플링, 필터 성능 시험, 포화 용량 분석, AMC 관련 분석을 수행합니다. 서비스는 현장 조사와 검사, 샘플 분석, 솔루션 수립, 제품 제작, 판매, 고객 의견 상담까지 이어집니다. AMC 농도 제어와 솔루션 제안은 고객 제공 정보, 현장 샘플링, 실험실 분석을 결합해 원스톱 지원으로 제공합니다.
전시 제품
GreenFILTEC LTD.는 알루미늄 프레임을 재사용하고 내부 흡착재만 교체할 수 있는 특허 모듈형 프레임의 재생 화학 필터를 개발했습니다. 필터 수명이 끝나면 알루미늄 프레임은 전문 세척과 성능 검사를 거친 뒤 재사용되므로 세척과 성능 검사가 재생 공정의 명확한 단계입니다. 재생 필터는 특정 공정 가스에 맞춰 배합을 최적화할 수 있고 팬 필터 유닛(FFU)에 안정적으로 설치되어 반도체 청정도 요구를 지원합니다. 박막 및 세정 공정의 고부하 조건에서 이소프로필알코올(IPA)과 Acetone은 필터 수명에 큰 영향을 주므로 흡착재 포화를 늦추도록 배합을 조정합니다. 정밀 배합 조정 후 재생 여재의 흡착 동역학 성능은 일회용 필터와 동등하며 FFU에서 안정적으로 운전할 수 있다고 설명합니다. 회사는 3nm급 청정도를 유지하면서 Scope 3 탄소 발자국을 줄이고 반도체 화학 필터를 소모품에서 순환 가능한 자산으로 전환한다고 밝힙니다. 고강도 알루미늄 합금 프레임 재사용으로 금속 폐기물을 60% 이상 줄이고 시설 측 폐기물 처리 비용도 낮춥니다. 각 재생 필터는 ISO9001 품질 시스템 아래 실험실 시험을 거쳐 초기 여과 효율과 압력 손실 지표가 국제 규격에 맞도록 관리됩니다. 규격은 활성탄 여재, 권장 풍량 500-1000 CMH, 압력 손실 <35±15% @1000CMH, 초기 제거 효율 >90%, 무게 6 Kg/개이며 설치 위치는 FFU, 제거 대상은 이소프로필알코올과 아세톤, 프레임은 알루미늄, 크기는 800 × 485 × 63.5 mm입니다. 기존 3-in-1 필터와 비교해 모듈형 필터는 PU free, 비용 3~5% 절감, No Outgassing으로 표시됩니다. 한 층의 여재만 교체할 수 있고 프레임을 반복 사용해 구매 비용을 >40% 절감하며 폐기물을 >60% 줄인다고 설명합니다. 예비품도 전체 필터가 아니라 여재만 준비하고 프레임은 마모될 때까지 계속 사용할 수 있습니다. AMC 실험실 시험에는 분자산(MA), 분자염기(MB), 응축물(MC)이 포함되며 클린룸 환경 샘플링, 필터 성능, 포화 용량도 분석합니다. 다양한 소재에 대한 아웃가스 분석을 제공해 소재 불순물이 제품 안정성, 응용 신뢰성, 하류 제조 장비에 미치는 영향을 다룹니다. 재생 필터는 배합을 다시 최적화해 일회용 필터 규격을 충족하면서 특정 AMC 오염물 흡착력을 강화할 수 있고 출하 전 모든 필터의 압력 손실과 제거 효율을 시험합니다. ESG 효과는 교체 때 소량의 소진 흡착재만 배출해 고형 폐기물을 줄이고 알루미늄 프레임을 순환 사용해 새 프레임 원료 채굴과 제조 에너지를 줄이는 것입니다. 정상 운전과 유지보수 조건에서 특허 알루미늄 합금 프레임은 10회 초과 반복 사용할 수 있으며 회수할 때마다 프레임 완전성과 밀봉성을 정밀 검사합니다. 재생 필터는 치수와 물리적 공기 저항이 기존 필터와 맞도록 설계되어 FFU 설정 변경이 필요 없고 표준 유지보수 절차로 교체할 수 있으며 FFU 회전수나 공조 장치 파라미터를 다시 조정할 필요도 없습니다. 현재 재생 공정은 유기물(VOCs)을 위해 설계·검증되었고 산성 가스 등 다른 오염물은 별도 제품 라인으로 계획됩니다. 또한 실제 팹 모니터링 데이터와 공정 요구에 따라 여재 규격을 맞춤 설계할 수 있고 프레임과 여재가 분리된 구조이므로 공정 변경 시 여재만 교체할 수 있습니다.
역량 및 제품
- 반도체 및 패널 AMC 방지·제어 솔루션
- 재생 반도체 케미컬 필터
- 모듈형 알루미늄 프레임 필터 재생 서비스
- IPA/Acetone 흡착 배합 최적화
- 클린룸 환경 샘플링 및 AMC 분석
- 필터 성능 시험
- 필터 포화 용량 분석
- 분자산/분자염기/응축물 검사
- AMC 농도 제어 원스톱 서비스
- 소재 아웃가스 분석
- 맞춤형 AMC 필터 소재 규격 설계