基本情報
| ブース | R7812 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.greenfiltec.com |
会社概要
GreenFILTEC LTD. は半導体およびパネル産業向けにAMC予防・制御プログラムを提供し、これらの生産環境向け微小汚染制御技術を開発しています。フィルターフレームは再利用可能で、台湾政府の「Certificate for the use of Type II Green Mark」を取得しているとしています。製品をモジュール化することで、Filter waste reduction、frame reuse、filter regeneration reuseという3Rを目標とし、フィルター全体の取得コスト低減を目指します。顧客基盤には世界のウェハファウンドリ、パネルメーカー、DRAMメーカーが含まれ、12インチ先端プロセス向け供給を主要事業とし、主要半導体先端プロセスの消耗品サプライヤーになることを発展動機としています。フィルター製品に加え、専門の空気フィルター分析ラボチームを持ち、クリーンルーム環境サンプリング、フィルター性能試験、飽和容量分析、AMC関連分析を行います。サービスは現場調査・検査、サンプル分析、ソリューション検討、製品製作、販売、顧客意見相談までを含みます。AMC濃度制御とソリューション提案では、顧客情報、現地サンプリング、ラボ分析を組み合わせたワンストップ支援を提供します。
展示製品
GreenFILTEC LTD. は、アルミニウムフレームを再利用し内部吸着材だけを交換できる特許モジュールフレーム設計の再生化学フィルターを開発しています。使用寿命に達したフィルターのアルミフレームは、専門的な洗浄と性能検査を経た後に再利用され、洗浄と性能確認が再生工程の明確な一部です。再生フィルターは特定のプロセスガスに合わせて配合を最適化でき、ファンフィルターユニット（FFU）に安定して設置・運転し、半導体の清浄度要求を支えます。薄膜・洗浄工程の高負荷条件では、イソプロピルアルコール（IPA）とAcetoneがフィルター寿命に大きく影響するため、吸着材の飽和を遅らせるよう吸着配合を調整します。精密な配合調整後の再生ろ材は、使い捨てフィルターと同等の吸着動力学性能を持ち、FFUで安定運転できるとしています。3nmクラスの清浄度を維持しながらScope 3のカーボンフットプリントを下げ、半導体化学フィルターを消耗品から循環利用資産へ変えることを目指します。高強度アルミ合金フレームの再利用により金属廃棄物を60%超削減し、施設側の廃棄物処理コストも低減するとしています。各再生フィルターはISO9001品質システムの下でラボ試験を受け、初期ろ過効率と圧力損失指標を国際規格に適合させます。仕様は活性炭ろ材、推奨風量500-1000 CMH、圧力損失<35±15% @1000CMH、初期除去効率>90%、重量6 Kg／枚で、設置位置はFFU、除去対象はイソプロピルアルコールとアセトン、フレームはアルミ、寸法は800 × 485 × 63.5 mmです。従来の三合一フィルターとの比較では、モジュール型はPU freeで3~5%のコスト節約、No Outgassingと記載されています。単層ろ材だけを交換でき、外枠を繰り返し使用することで購入コストを>40%削減し、廃棄物を>60%減らすとしています。予備品もろ材だけを購入し、フレームは摩耗するまで再使用できます。AMCラボでは分子酸（MA）、分子塩基（MB）、凝縮物（MC）を測定し、クリーンルームサンプリング、フィルター性能、飽和容量も分析します。各種材料のアウトガス分析も提供し、材料不純物が製品安定性、応用信頼性、下流装置に与える影響に対応します。再生フィルターは配合を再最適化し、使い捨てフィルター仕様を満たしつつ特定AMC汚染物質の吸着能力を強化でき、出荷前に圧力損失と除去効率を試験します。ESG効果として、交換時に排出されるのを少量の使用済み吸着材に限定して固形廃棄物を減らし、アルミフレーム循環利用で新規フレームの原料採取・製造エネルギーを減らします。通常の運転・保守条件では特許アルミ合金フレームを10回超再利用でき、回収ごとにフレームの完全性とシール性を精密検査します。再生フィルターの寸法と物理的通気抵抗は従来型と一致する設計のためFFU設定変更は不要で、標準保守手順のまま交換でき、FFU回転数や空調箱パラメータの再調整も不要です。現在の再生工程は有機物（VOCs）向けに設計・検証され、酸性ガスなどは別製品ラインとして計画されています。さらに、工場の実測モニタリングデータと工程要求に応じてろ材仕様をカスタム設計でき、フレームとろ材を分離した構造により工程変更時はろ材だけを交換できます。
対応領域・製品
- 半導体・パネル向けAMC防止・制御ソリューション
- 再生半導体ケミカルフィルター
- モジュール式アルミ枠フィルター再生サービス
- IPA／Acetone吸着配合の最適化
- クリーンルーム環境サンプリング・AMC分析
- フィルター性能試験
- フィルター飽和容量分析
- 分子状酸／分子塩基／凝縮物検査
- AMC濃度制御ワンストップサービス
- 材料アウトガス分析
- カスタムAMC濾材仕様設計