基本資料
| 攤位 | R7812 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.greenfiltec.com |
公司簡介
濾能股份有限公司為半導體與面板產業提供 AMC 防治與控制方案，並發展用於這些生產環境的微污染控制技術。公司表示，其濾網框架可重複使用，並已取得台灣政府頒發的「Certificate for the use of Type II Green Mark」。透過模組化產品設計，濾能以 3R 為目標，也就是 Filter waste reduction、frame reuse 與 filter regeneration reuse，並以降低濾網整體取得成本為目的。現有客戶群包括全球晶圓代工廠、面板製造商與 DRAM 製造商，其中 12 吋先進製程供應被描述為主要業務，公司亦將成為半導體關鍵先進製程耗材供應商列為發展動機。除濾網產品外，濾能具有專業空氣濾網分析實驗室團隊，可進行無塵室環境採樣、濾網效能測試、飽和容量分析與相關 AMC 分析。服務模式從現場勘查檢測、樣品分析、方案研擬、產品製作、產品銷售一路延伸到顧客意見諮詢。針對 AMC 濃度控制與解決方案建議，公司會結合客戶提供資訊、現場採樣及實驗室分析，提供一站式問題處理支援。
展出產品
濾能股份有限公司研發再生化學濾網，採用專利模組化框架設計，使鋁框可重複使用，只需更換內部吸附材料。濾網達到使用壽命後，鋁製框體會先經專業清洗與效能檢測，再進行重複使用，因此清洗與效能檢測是再生流程的明確步驟。再生濾網可針對特定製程氣體優化配方，並能穩定安裝於風機過濾機組（FFU）中運作，以支援半導體潔淨度要求。針對薄膜與清洗製程的高負荷條件，異丙醇（IPA）與 Acetone 會明顯影響濾網壽命，因此再生濾網調整吸附配方，以延緩濾材飽和並提升使用效益。精密配方調校後，再生濾材的吸附動力學效能被描述為與一次性濾網相當，並可穩定用於 FFU。公司表示，此服務可維持 3nm 等級潔淨度，同時降低 Scope 3 碳足跡，把半導體化學濾網由消耗品轉變為可循環利用資產。高強度鋁合金框架重複使用可減少超過 60% 金屬廢棄物，也能降低廠務端廢棄物處理成本。每片再生濾網均經實驗室測試並由 ISO9001 品質系統把關，使初始過濾效率與壓損指標符合國際規範。產品規格列出活性碳濾材、建議風量 500-1000 CMH、壓損 <35±15% @1000CMH、初始去除效率 >90%、重量 6 Kg／片；安裝位置為 FFU，可去除異丙醇與丙酮，框體為鋁框，尺寸 800 × 485 × 63.5 mm。與傳統三合一濾網相比，模組化濾網標示為 PU free，可節省 3~5% 成本，並標示 No Outgassing。模組化結構可只更換單層濾材，不必整組拆除報廢；外框可重複使用，重複利用被描述為可節省 >40% 購買成本並達成 >60% 廢棄物減量。備品也只需準備濾材，框體可持續使用到耗損。AMC 實驗室可測試分子酸（MA）、分子鹼（MB）與凝結物（MC），並進行無塵室採樣、濾網效能與飽和容量分析。公司亦提供各種材料的材質釋氣分析，以處理材料不純物對成品安定性、應用可靠性與下游設備的影響。再生濾網會重新優化配方，在符合一次性濾網規格的基礎上強化特定 AMC 污染物吸附，出廠前每片皆進行壓損與去除效率測試。ESG 效益包括每次更換只產生少量耗盡吸附材料以減少固體廢棄物，以及透過鋁框循環使用降低新框體原料與製造能耗。正常運轉與維護條件下，專利鋁合金框架標示可重複使用大於 10 次，每次回收時均檢查框架完整性與密封性。更換再生濾網不需調整 FFU，因尺寸與物理風阻與傳統整組式濾網相符，可依原標準維護流程更換，不必重新調整 FFU 轉速或空調箱參數。目前再生製程針對有機物（VOCs）設計與驗證，酸氣等其他污染物則屬獨立產品線規劃。公司並可依廠區監測數據與製程需求客製濾材規格，框體與濾材分離設計使日後製程調整時可單獨更換濾材。
能力與產品項目
- 半導體與面板 AMC 防治控制方案
- 再生半導體化學濾網
- 模組化鋁框濾網再生服務
- IPA／Acetone 吸附配方優化
- 無塵室環境採樣與 AMC 分析
- 濾網效能測試
- 濾網飽和容量分析
- 分子酸／分子鹼／凝結物檢測
- AMC 濃度控制一站式服務
- 材質釋氣分析
- 客製 AMC 濾材規格設計