基本情報
| ブース | T9419 |
| 国 | KR |
| 製品カテゴリ | Cleaning; Washing; Drying Equipment for Substrate, Fab Processing · Acids; Etchants · Cleaning Chemicals; Solvents; Strippers · Other Specialty Chemicals · Mask and Reticle Handling Products · Pellicles; Mounting Fixtures |
| ウェブサイト | www.globalzeus.com |
会社概要
ZEUS は1970年に設立され、半導体産業とともに35年以上にわたり成長してきました。ウェットエッチングおよび洗浄装置・技術を提供しています。1980年代以降、ZEUS は半導体プロセスで用いられる薬液、部品、装置の提供に携わってきました。2009年には、ウェットエッチング、洗浄、レジスト剥離装置の設計・製造に必要な技術と豊富な経験を有する JET（旧称 SES）を買収しました。ZEUS の市場をリードするウェットステーションおよび枚葉式スピンプロセッサは、フォトレジスト剥離、窒化シリコンエッチング、金属エッチング、ウェハー洗浄に幅広く用いられ、高いスループットと信頼性を備えています。ZEUS の年間売上高は2億ドルを超え、高品質な製品を世界中に開発・提供するため、日本と韓国の双方に半導体装置の製造・研究開発拠点を有しています。さらに、中国に支社を、米国に販売代理を置き、お客様をタイムリーにサポートしています。私たち ZEUS は、革新的な技術の開発、高品質の保証、そしてお客様の価値を常に重視しています。
対応領域・製品
- ウェットエッチング、洗浄、ストリッピング装置の設計・製造
- ウェットエッチング装置および技術
- ウェハ洗浄用ウェットステーションおよびシングルスピンプロセッサ
- シリコン窒化膜エッチング用シングルスピンプロセッサ
- フォトレジストストリッピング用ウェットステーション
- 半導体ウェハ洗浄装置および技術
- 金属エッチング用ウェットステーションおよびシングルスピンプロセッサ