기본 정보
| 부스 | N0662 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.gpmcorp.com.tw |
회사 소개
거의 반세기 동안 GPM은 대만에 깊이 뿌리내리고 해협 양안의 자원과 R&D 인재를 모아 엔지니어링 전문가로 구성된 탄탄한 R&D 팀을 구축하고, 전 범위의 핵심 기술을 개발해 왔습니다. GPM은 경쟁에서 앞서기 위해 제조 공정 및 장비용 선도 기술을 지속적으로 개발하고 있습니다. GPM 그룹의 사업 범위에는 반도체 첨단 공정 장비, AOI 및 계측 장비, 평판 디스플레이 공정 장비, AI 로보틱스 시스템 및 컨설팅 서비스가 포함됩니다. 고품질 제품을 제공하는 것에 더해, GPM은 삶의 질을 향상하기 위한 신산업 및 신제품 전개에 힘쓰며 GPM의 탄탄한 브랜드 가치를 구축하고 있습니다. GPM은 고객의 공정 혁신과 핵심 경쟁력 강화를 지원하기 위해 일류 기술, 제품 및 서비스를 제공하는 데 전념하고 있습니다. 공동 개발과 공정 요구사항 기획을 통해 GPM은 공정 및 기술에 대한 최적의 토털 솔루션을 제공합니다. 수년간 축적한 전문 기술과 경험을 바탕으로 GPM은 기술 및 서비스 품질 향상에 집중하고, 적극적으로 신산업에 진출하며, 점진적 전환을 위한 수평적 협력을 강화하여 고객이 더 큰 기업 경쟁력을 창출하고 양측 모두가 윈윈할 수 있도록 지원합니다. 신주과학단지에 본사를 둔 GPM은 중부대만과학단지, 투청산업단지 및 중국 쑤저우에 혁신·R&D 센터와 생산기지를 두고 있으며, 대만 전역과 중국 동부·중부·남부·북부 및 동남아시아에 서비스 거점을 운영하여 24시간 호출 대응형 애프터서비스 체계를 구축하고 고객의 생산 문제 해결을 지원합니다. 이를 통해 품질(Q), 납기(D), 기술(T), 비용(C), 서비스(S)에 대한 토털 솔루션과 "최대 생산 효율의 장비"를 고객에게 제공합니다. 수년간 끊임없이 전념해 온 R&D를 통해 GPM은 다수의 실용신안 및 발명 특허를 취득했고, 경제부, 신주과학단지관리국 및 중부대만과학단지관리국으로부터 수많은 상을 받았으며, 세계 선도 기업들의 인정과 지원을 얻었습니다.
전시 제품
Strip Grinder ● 자동 두께 측정, 전면 측정 대응 ● 자동 연삭 휠 드레싱, 두께 자동 보정 ● 다중 모드 급수 시스템, 외부 급수 모드, 순환 급수 모드 ● 두께 측정 메커니즘: 접촉식 프로브 게이지+비접촉식 게이지(TCG+NCG) ● 고처리량으로 동시에 네 개의 스트립 X4L 연삭 가능. Reclaim CMP ● 완전 자동 웨이퍼 폴리싱, 드라이 인·드라이 아웃 (DIDO). ● 높은 가동률: Polish 각 테이블은 독립 생산 및 Bypass 정지가 가능합니다. ● 공정 스케줄링 유연성: Polish 각 테이블은 독립 생산(parallel) 또는 연동 생산(series)을 선택할 수 있습니다. ● 다중 구역, 다단 가압 능력 & 다단 세정 시스템 통합. ● 주요 적용: 웨이퍼 재생. 지원 크기: Ø300mm 연마 재료: 실리콘 (Si) Panel Polisher ● 상하 폴리싱 플래튼은 특수 강재로 제작되어 내압성 및 인장 강도가 매우 높고 사용 후 변형을 충분히 줄입니다 ● 자동 압력 보정으로 안정적인 폴리싱 압력을 보장합니다 ● 자동 LD/ULD 시스템을 통합하여 장비 가동률을 높입니다. ● 장비 전체의 탱크, 배관, 기구부는 모두 방폭 및 정전기 전도 설계를 적용하며, 소방 CO2 시스템과 통합할 수 있어 안전성이 높습니다 ● 소프트웨어는 모두 GPM이 자체 개발·설계하여 공정 & 장비 부문의 요구에 맞춰 즉시 수정할 수 있습니다 ● Bench 유동장, 상하 Agitation 및 웨이퍼 회전 장치를 조정하여 반응 속도를 높이고, 박막 제거 능력을 향상하며, 식각률 균일도를 개선하고 현상 균일도를 최적화할 수 있습니다
역량 및 제품
- Strip Grinder 전면 자동 두께 측정
- 자동 연삭휠 드레싱 및 두께 보정
- 접촉 및 비접촉 두께 측정 TCG+NCG
- 4개 Strip 동시 연삭
- 전자동 DIDO 웨이퍼 연마
- Ø300 mm 웨이퍼 재생 CMP
- 다구역 다단 가압 및 다단 세정
- Panel Polisher 자동 압력 보상
- 방폭 정전기 방산 및 CO2 소방 통합
- 자체 개발 소프트웨어의 공정 요구 실시간 수정
- Bench 유동장 교반 및 웨이퍼 회전 조절