기본 정보
| 부스 | T9225 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.fstintl.com.tw |
회사 소개
FST International H.C., Ltd.는 반도체 및 관련 전자 산업에 입자 크기, 제타 전위, H2O2 농도를 대상으로 하는 CMP 공정 모니터링을 제공하며, 주요 팹의 대부분이 자사 시스템을 사용한다고 설명합니다. CMP 모니터링 제품에는 Entegris Accusizers A9000AD(FX Nano), A7000AD, A7000SIS, A7000APS, Nicomp N3000 / Z3000가 포함됩니다. CMP 화학 제어를 위해 Entegris SemiChem APM 200 series 온라인 적정기와 분산 품질 및 안정성을 측정하는 Xigo Nanotools Acorn Flow도 제시합니다. AMC 및 FOUP 환경 제어에는 Proton Transfer Reaction 질량분석과 ion mobility 방식이 사용되며 Ionicon Analytik PTR-TOFMS TOF 1000, TOF8000, QiTOF, IUT Technologies IMS, GC-IMS가 포함됩니다. 가스 및 화학물질 미량 오염 측정 범위에는 Thermo Fisher Scientific APIX, 수분 및 산소 측정용 Bartec 5673, 특수가스 품질 관리용 CIC Photonics FT-IR가 포함됩니다.
전시 제품
CUBE-II는 소형 설계와 고성능 이미징 기능을 결합한 고해상도 탁상형 주사전자현미경으로, 재료과학, 전자, 생명과학, 교육 연구실에 적용할 수 있습니다. 5축 모터 스테이지는 X / Y / Z / Tilt / Rotate를 지원해 360도 유연한 관찰 각도를 제공하며, 20×에서 200,000×까지 확대해 마이크로 및 나노 스케일 세부를 관찰할 수 있습니다. 사양에는 30 kV에서 3.0 nm 해상도, 최대 시료 크기 Ø 70 mm, 1에서 30 kV 가속 전압, High / Low vacuum 모드가 포함됩니다. Auto Focus와 Auto Exposure가 자동 조작을 지원하고, Low-vacuum 무도전 코팅 모드는 비도전성 시료를 도전 코팅 없이 관찰할 수 있도록 합니다. 통합 영상 처리 소프트웨어는 빠른 영상 획득을 지원하며 15.6인치 터치스크린으로 모드와 배율을 신속히 전환할 수 있습니다. 응용 예에는 재료과학의 분말, 섬유, 금속 미세구조, 전자부품 검사의 PCB, 반도체, 미세 솔더 조인트, 생명과학의 곤충, 식물 조직, 미생물 형태, 교육 연구의 수업 시연과 기초 재료 관찰이 포함됩니다. SEM 외에도 재료 분석 제품에는 색상 및 이물 분석기, 입도 분석기, BET 비표면적 측정, 밀도 분석기, 원소 분석, DIL, TMA, TGA, DSC, STA 등의 열분석 장비가 있습니다. 또한 열전도 측정, 열전 특성 측정, 가스 및 액체 환경 분석, 공정 모니터링, bead mills, NGK 고온 공정로, 각종 재료와 자체 연구개발 및 신규 개발 재료를 다룹니다. 적용 분야는 금속 및 합금, 폴리머, 연구 및 학계, 유리와 세라믹, 화학, 에너지, 수소 기술, 생명과학, 원자력, 반도체 및 전자, 박막, 화장품, 의약품과 식품, 건축자재, 자동차, 항공우주 및 우주 응용을 포함합니다. 측정 서비스에는 열분석, 열전도, SEM 측정, 입도 분석, 연마기 측정, 비표면적 측정, 진밀도 분석이 포함됩니다.
역량 및 제품
- CMP 입자 크기 모니터링 장비 공급
- CMP zeta potential 모니터링 장비 공급
- CMP H2O2 농도 모니터링 장비 공급
- CMP 온라인 적정기 공급
- 분산 품질·안정성 측정 장비 공급
- PTR 질량분석 기반 AMC·FOUP 환경 모니터링
- 가스·화학 미량 오염 측정 장비 공급
- 고해상도 탁상형 SEM 공급
- BET 비표면적 측정 장비 공급
- 열분석 장비 공급
- 열전도율·열전 특성 측정
- SEM 측정 서비스
- 입자 크기 분석 서비스
- 비표면적 측정 서비스
- 진밀도 분석 서비스