基本情報
| ブース | T9225 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.fstintl.com.tw |
会社概要
FST International H.C., Ltd. は、半導体および関連エレクトロニクス事業向けに、粒径、ゼータ電位、H2O2 濃度を対象とする CMP プロセスモニタリングを提供し、主要ファブの多くが同社システムを使用しているとしています。CMP モニタリング製品には、Entegris Accusizers A9000AD(FX Nano)、A7000AD、A7000SIS、A7000APS、Nicomp N3000 / Z3000 が含まれます。CMP の化学管理では、Entegris SemiChem APM 200 series のオンライン滴定装置と、分散品質および安定性を測定する Xigo Nanotools Acorn Flow も扱います。AMC および FOUP 環境制御では Proton Transfer Reaction 質量分析と ion mobility を用い、Ionicon Analytik PTR-TOFMS TOF 1000、TOF8000、QiTOF、IUT Technologies IMS、GC-IMS を挙げています。ガスおよび化学物質の微量汚染測定では、Thermo Fisher Scientific APIX、水分・酸素測定用 Bartec 5673、特殊ガス品質管理用 CIC Photonics FT-IR を提供範囲として示しています。
展示製品
CUBE-II は、小型設計と高性能イメージングを両立した高解像度卓上型走査電子顕微鏡で、材料科学、電子、ライフサイエンス、教育研究室で使用できます。5軸モーター駆動ステージは X / Y / Z / Tilt / Rotate に対応して360度の柔軟な観察角度を提供し、倍率は 20× から 200,000× でマイクロからナノスケールの細部を観察できます。仕様には、30 kV で 3.0 nm の分解能、最大試料サイズ Ø 70 mm、1 から 30 kV の加速電圧、High / Low vacuum モードが含まれます。Auto Focus と Auto Exposure による自動操作に加え、Low-vacuum の無導電コーティングモードにより、導電膜を施さずに非導電性試料を観察できます。統合画像処理ソフトウェアは高速画像取得を支援し、15.6インチのタッチスクリーンでモードと倍率を素早く切り替えられます。用途例は、材料科学における粉末、繊維、金属微細構造、電子部品検査における PCB、半導体、微小はんだ接合部、ライフサイエンスにおける昆虫、植物組織、微生物形態、教育研究における授業実演と基礎材料観察です。SEM 以外の材料分析製品には、色・異物分析装置、粒径分析装置、BET 比表面積測定、密度分析、元素分析、DIL、TMA、TGA、DSC、STA などの熱分析装置があります。さらに、熱伝導測定、熱電特性測定、ガス・液体の環境分析、プロセスモニタリング、ビーズミル、NGK 高温プロセス炉、各種材料および自社開発・新規開発材料も扱います。適用分野として、金属・合金、ポリマー、研究・学術、ガラス・セラミックス、化学、エネルギー、水素技術、ライフサイエンス、原子力、半導体・電子、薄膜、化粧品、医薬品・食品、建材、自動車、航空・宇宙が挙げられています。測定サービスには、熱分析、熱伝導、SEM、粒径、研磨機、比表面積、真密度分析が含まれます。
対応領域・製品
- CMP 粒径監視装置供給
- CMP ゼータ電位監視装置供給
- CMP H2O2 濃度監視装置供給
- CMP オンライン滴定装置供給
- 分散品質・安定性測定装置供給
- PTR 質量分析による AMC・FOUP 環境監視
- ガス・化学微量汚染測定装置供給
- 高分解能卓上 SEM 供給
- BET 比表面積測定装置供給
- 熱分析装置供給
- 熱伝導率・熱電特性測定
- SEM 測定サービス
- 粒径分析サービス
- 比表面積測定サービス
- 真密度分析サービス