基本資料
| 攤位 | T9225 |
| 國別 | TW |
| 產品分類 | Chromatograph · Instruments; Bench Top Test · Process Monitoring systems · Chemical; Pure Water; Fluid Monitoring & Control Systems · Environmental; Utility Systems & Monitoring · Gas Monitoring Equipment; RGA's; TGO compliance · Process Controls · Waste Control; Effluent Management Systems (Fluid & Gas; Exhaust Conditioning; Scrubbers) · Contamination Control; HEPA Filtering Systems · Sales; Manufacturers Representation or Distributors |
| 網站 | www.fstintl.com.tw |
公司簡介
FST International H.C., Ltd. 為半導體及相關電子產業提供下列產品:1. CMP 製程監測,包含粒徑、Zeta 電位與 H2O2 濃度量測。多數主要晶圓廠皆採用我們的系統。主要品牌與型號:•Entegris(Accusizers):A9000AD(FX Nano)、A7000AD、A7000SIS、A7000APS、Nicomp N3000 / Z3000 •Entegris(線上滴定儀):SemiChem APM 200 系列。•Xigo Nanotools:Acorn Flow,量測分散品質與穩定性。2. 以質子轉移反應(PTR)質譜儀與離子遷移率為基礎的 AMC 與 FOUP 環境控制。主要品牌與型號:•Ionicon Analytik:PTR-TOFMS TOF 1000、TOF8000、QiTOF •IUT Technologies:IMS、GC-IMS 3. 氣體與化學品微量污染量測。主要品牌與型號:•Thermo Fisher Scientific:APIX •Bartec:5673,量測水分與氧氣 •CIC Photonics:FT-IR,用於特殊氣體品管。
能力與產品項目
- CIC Photonics FT-IR 用於 specialty gas QC
- CMP 製程 particle size、zeta potential 與 H2O2 濃度監測
- Entegris Accusizers A9000AD(FX Nano) 與 A7000AD CMP 監測器
- Ionicon PTR-TOFMS TOF 1000、TOF8000 與 QiTOF 系統
- Xigo Acorn Flow 分散品質與穩定性量測
- 以 PTR 質譜與離子遷移率進行 AMC 與 FOUP 環境控制