기본 정보
| 부스 | Q6134 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | fox-tech.co.jp |
회사 소개
FOX Co.,Ltd.는 저비용·고효율 산화갈륨 반도체 기판 제조 기술을 확립하고 있으며, 도호쿠대학교와 협력해 유망한 와이드밴드갭 반도체인 고품질 산화갈륨을 개발하고 OCCC 방식을 핵심 결정 성장 기술로 사용합니다. 독자적인 OCCC 방식은 Oxide Crystal growth from Cold Crucible의 약자로, 귀금속 도가니 없이 결정을 성장시키고 기존 결정 성장에 쓰이는 고가의 이리듐을 구리와 물 같은 저비용 재료로 대체함으로써 높은 품질을 유지하면서 큰 폭의 비용 절감을 목표로 합니다. FOX Co.,Ltd.는 참여자가 제한적인 웨이퍼 및 재료 제조에 특화되어 있고 일본이 웨이퍼 제조에서 주도권을 보유한다고 설명하며, 대체 기술 개발이 어려운 점을 장기 경쟁우위 유지의 기반으로 보고 웨이퍼 제조에 특화함으로써 많은 반도체 공급사를 고객으로 확보할 수 있다고 봅니다. 회사는 귀금속 도가니를 사용하지 않는 OCCC 방식이 차세대 전력반도체용 β-Ga2O3 웨이퍼 제조에서 생애주기평가 개선, 재료 이용 효율 향상, 환경부하 저감에 기여한다는 점에서 지속가능한 제조 기술로 제시합니다. β-Ga2O3 전력반도체의 사회 적용과 보급을 추진함으로써 기존 Si 반도체의 전력 손실 문제에 대응하고 환경을 고려한 전력반도체 기술을 지원하며 2050년 탄소중립에 전력 분야에서 기여하는 것을 목표로 하고, 고품질·저비용 β-Ga2O3 기판을 전기차와 재생에너지 인프라 시장의 전력소자 개발과도 연결합니다. FOX Co.,Ltd.는 또한 고품질 β-Ga2O3 벌크 단결정 기판의 양산 기술을 고도화해 품질과 비용 모두 실제 사회 적용이 가능한 단계에 도달시키고, 웨이퍼 제조 및 가공 기술을 개발하는 제조사로 전력반도체 시장에 진입하는 것을 책임으로 제시하며, 연구진이 다수의 논문을 발표하고 OCCC 방식 관련 연구 성과를 안내한다고 밝힙니다.
전시 제품
제조 범위에는 결정 재료와 반도체 제품이 포함되며, OCCC 방식을 이용한 β-Ga2O3 결정 성장을 명시된 역량으로 제시하고 전력반도체 응용용 산화갈륨 반도체 기판 개발에 초점을 둡니다. 설명된 웨이퍼 생산 흐름은 잉곳과 단결정 제조에서 래핑·폴리싱, 박막 증착, 완성 웨이퍼로 이어지고 이후 파운드리 반도체 제조사가 사용하는 구조이며, 회사는 8mm×10mm 형식의 β-Ga2O3 웨이퍼도 제시하고 β-Ga2O3 벌크 단결정 제조와 양산 기술을 개발 중점으로 둡니다. 차세대 전력반도체 분야에서 FOX Co.,Ltd.는 β-Ga2O3를 고효율 전력 변환을 가능하게 하는 와이드밴드갭 재료로 설명하며, 전력반도체 개발 기업과 협력해 고품질·저비용 기판을 실용적 양산과 더 넓은 적용 단계로 발전시키고 있습니다. 관련 기술 설명에서는 OCCC를 Oxide Crystal growth from Cold Crucible, LCA를 Life Cycle Assessment로 정의하고, NICHe를 New Industry Creation Hatchery Center로 제시하면서 미래과학기술공동연구센터라는 의미도 함께 밝힙니다 또한 이 약어들은 결정 성장, 환경평가, 공동연구 맥락에서 사용됩니다..
역량 및 제품
- OCCC 방식 β-Ga2O3 결정 성장
- 산화갈륨 반도체 기판 제조 기술
- 결정 소재 및 반도체 제품 제조
- 반도체 웨이퍼 폴리싱 가공