기본 정보
| 부스 | P5324 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.festo.tw |
회사 소개
Festo 그룹은 1925년에 설립된 독립 가족 기업으로 본사는 독일 에슬링겐 암 네카어에 있습니다. Festo Co., Ltd.는 Festo가 1979년 대만 시장에 진출할 때 신베이시 린커우 제2공업단지에 설립되었습니다. 이후 타이중과 가오슝에 지사를 설립했습니다. 기술 분야에는 공압 및 전동 기술을 활용한 공장 자동화와 공정 자동화가 포함됩니다. 자동차, 전자 및 경조립, 식음료 포장, 수처리, 생명공학과 제약 산업에 자동화 솔루션을 공급합니다. Festo Didactic은 전 세계 산업 기업과 교육기관에 기술 교육 및 훈련 솔루션을 제공합니다. Festo의 중화권 사업 지역은 생산, 판매와 연구개발 자원을 통합 운영합니다. 이러한 지역 협력은 대만 고객 지원과 대만 제조업의 해외 시장 진출에 기여합니다.
전시 제품
Festo Co., Ltd.는 하이브리드 본딩을 포함한 반도체 전공정, 후공정, 첨단 패키징용 표준 및 맞춤형 공압·전동·디지털 자동화 솔루션을 제공합니다. 고진공 자동화는 클린룸의 증착, 식각과 이온 주입 공정에 사용됩니다. 대기압 공정 솔루션은 포토레지스트 코팅, CMP와 첨단 패키징에 대응합니다. 자동화 부품은 동작, 공정 압력과 유체 유량을 정밀하게 제어하면서 설치 공간, 에너지 사용과 발열을 줄입니다. 반도체 전용 씰과 그리스는 아웃가스를 줄이고 청정 설계는 입자 발생과 오염 요구에 대응합니다. 클린룸용 제품과 자동화 솔루션은 ISO 14644-1, SEMI F70.1 및 CopyExactly! 변경 관리 요구를 고려합니다. 웨이퍼 제조 장비(WFE), 반도체 공구, 클린룸과 서브팹용 장비 및 하위 시스템을 제공합니다. 응용 분야는 가스 공급, 냉각 회로, 진공 시스템, 운동 제어와 서브팹 핵심 유틸리티 공정의 공간 효율적인 지원입니다. 고객은 팹 운영사, 장비 OEM, 공정 엔지니어, 전자 및 마이크로시스템 개발자이며 Festo의 고객 기반에는 세계적으로 알려진 팹과 OEM의 거의 모두가 포함됩니다. 진공 제품군에는 진공 발생기, 흡착 패드, 진공 그리퍼와 관련 부품이 있습니다. 벤투리 원리의 순수 공압식 진공 발생기는 높은 체적 유량 또는 고진공을 생성할 수 있습니다. 소형·경량이며 설치 방향이 자유롭고 유지보수 요구가 적어 이송과 자동화에 적합합니다. 흡착 패드와 그리퍼는 발생기와 작업물을 연결해 안정적이고 경제적인 이송을 돕습니다. 재료는 니트릴 고무, 폴리우레탄, 실리콘 및 고무이며 범용, 평형, 벨로즈형, 특수 형태가 있습니다. 액세서리는 설치 및 연결 부품, 보상 부품, 진공 표시기와 필터를 포함합니다. 진공 흡기 밸브와 다른 전용 진공 부품도 시스템에 포함됩니다. 이러한 공압 진공 제품은 여러 산업, 특히 이송 및 취급 자동화에 쓰입니다. 게이트 밸브 제어 솔루션은 로드록, 핸들링 시스템, 공정 챔버의 밸브를 제어하고 전환 충격을 줄입니다. 디지털 파라미터는 반복성을 높이며 하나의 모션 터미널 부품으로 여러 밸브를 제어하고 산업용 IoT 추적을 지원합니다. EFEM 웨이퍼 이송 장비에서는 맞춤형 모션 터미널로 FOUP에 불활성 가스를 공급해 밸브 전환 시 발생하는 입자를 줄입니다. N2 퍼지 솔루션은 STOCKER, FOUP, OHT, STB 환경에서 AMC 오염 방지가 필요한 웨이퍼 운송과 보관을 지원합니다. 유량 제어와 습도 감지로 가스 및 습도 조건을 유지하고 압전 밸브가 분당 최대 200리터의 유량을 정밀 제어합니다. 바로 설치 가능한 통합 모듈로 설계, 시운전, 운영을 단순화하고 여러 질량 유량 제어기를 하나의 모션 터미널에 통합할 수 있습니다. 센서, 유량 제어기, 비례 압전 밸브와 통신 데이터 수집으로 FOUP 내부를 건조하게 유지하고 웨이퍼 산화를 줄입니다. 압전 기술은 질소 사용량도 낮추며 디지털 공압은 에어 나이프의 압력과 유량을 제어하고 스마트 센서로 진단 및 자기 학습을 수행합니다. 리프트 핀 솔루션은 반도체 장비의 벨로즈 실린더를 제어하고 시간, 속도, 정밀도를 감시해 부드럽게 동기화된 승강을 구현합니다. VTEM 폐루프 방식은 시간, 가감속 및 동기화를 제어하고 맞춤형 개루프 방식은 기존 장비의 소프트웨어와 하드웨어를 변경하지 않고 업그레이드할 수 있습니다. 정밀 압전 밸브 제어는 리프트 핀 작업의 택트 타임을 단축하고 생산성을 높입니다. 특수가스 공급 및 화학 연마 가스 제어 유닛은 반도체 전공정에 사용됩니다. 전원이 없어도 가스 실린더를 차단하고 OR 밸브로 제어를 이어가며 공기 공급을 끊지 않고 솔레노이드 밸브를 핫스왑할 수 있습니다. 맞춤형 수동 안전 회로는 수동 및 논리 밸브를 결합하며 소형 실린더 구동 빨간색 표시기로 작업 안전을 지원합니다. 웨이퍼 척, 공정 챔버와 플라즈마 발생기의 온도 제어, 힘 감지 기능이 있는 핀 상승 및 미세 위치 제어를 제공합니다. 원자층 증착(ALD) 밸브 제어, 진공 챔버의 안전 퍼지 및 재생, 초고순도 공정가스 밸브의 파일럿 제어도 제공합니다. VEMD 질량 유량 제어기는 비례 밸브, 센서와 전자 회로를 통해 공기, 산소, 질소, 아르곤, 이산화탄소를 조용히 감지하고 조절하며 정량 공급합니다. VYKA 제품군용 VAVE-K1 전기 연결 부품도 공급합니다. 웨이퍼 취급 장치에는 모터와 견고한 출력 플랜지를 결합한 소형 ERMO 회전 드라이브를 정밀 위치 지정 및 회전 테이블에 사용할 수 있습니다. CMMT-AS 서보 드라이브는 점대점 및 보간 운동을 지원하고 다양한 이더넷 기반 버스와 제어 환경에 연결됩니다. EMMT-AS 서보 모터는 동적 정밀 위치 제어를 지원하고 단일 케이블 설계로 설치 작업을 줄입니다. 서보 모터 제품군에는 EMMT-EC도 있습니다. 소형 VTEP 밸브 터미널은 낮은 유량의 다채널 압력을 빠르고 정밀하게 제어해 반도체 등 산업에 활용됩니다. 맞춤형 핸들링 시스템은 소형 모듈 구조로 제조 과정에서 웨이퍼와 칩을 효율적으로 이송합니다. Festo AX는 AI와 실시간 생산 데이터를 통해 전력 소비를 모니터링하고 낭비 및 가동 중단을 줄이며 예측 공정 분석을 지원합니다. Festo Co., Ltd.는 별도로 엔지니어링 지원, 응용 상담, 맞춤형 시스템, 교육, 세계적인 기술 지원 및 예비 부품 공급을 제공합니다. 상태 모니터링, 예지 정비, 위험 분석과 신속한 고장 조사도 반도체 제조 고객을 위한 서비스입니다. 글로벌 공급망과 현지 생산·배송은 반도체 라인의 공급을 지원하고 제품 변경 및 단종 관리에도 대응합니다. Festo Experience Centre(FEC)는 공압, 전동, 디지털 및 AI 전문가들과 시험, 실험, 전시, 교육 기능을 결합합니다. FEC는 개방형 플랫폼 접근으로 반도체 응용 및 전공정 기술 연구를 지원합니다. 클린룸용 자동화 제품은 요청 시 이중 포장으로 공급할 수도 있습니다. 밸브 터미널과 센서를 이용한 냉각 회로 제어와 웨이퍼 공정 장비의 가스, 진공, 동작 기능을 제공합니다. 반도체 솔루션은 청정하고 반복 가능한 공정, 에너지 비용 절감, AI/IoT 대응 계측 통합을 지원합니다. 특정 공정에 맞춰 온도 조절, 미세 위치 제어와 ALD 가스 단계의 주기 제어를 맞춤 설계합니다. 표준 카탈로그 부품 외에 고객 장비 사양에 맞는 맞춤형 시스템도 제공합니다. 웨이퍼 가공, 조립과 패키징 단계 및 장비 설계자와 운영자를 대상으로 합니다. Festo의 글로벌 전문가들은 공정 문제 해결, 시스템 운전 유지와 가동 중단 시간 감소를 지원합니다. 반도체 제조 기술에 대한 교육 프로그램으로 직원의 역량 확보를 돕습니다. 가스, 진공과 운동 제어 응용은 전공정, 후공정 및 첨단 패키징의 변화하는 요구에 맞게 구성할 수 있습니다.
역량 및 제품
- 공장·공정 자동화 솔루션
- 반도체 고진공 자동화
- 반도체 대기 공정 자동화
- 반도체 게이트 밸브 제어
- FOUP N2 퍼지 유량 제어
- Lift Pin 공압 동기 제어
- 특수가스·화학 연마 가스 제어
- ALD 밸브 제어
- 웨이퍼 척·공정 챔버·플라즈마 발생기 온도 제어
- UHP 공정가스 밸브 파일럿 제어
- 진공 발생기·흡착컵·그리퍼
- 반도체 AI 공정 모니터링 및 예측
- 반도체 생산 교육 솔루션