기본 정보
회사 소개
ENLI TECHNOLOGY CO., LTD.는 2009년 3월에 설립되었으며 본사는 대만 가오슝에 있습니다. 회사의 핵심 기술에는 모사 광원, 조명 장치, 양자효율 분광 분석, 웨이퍼 레벨 광전자 칩 시험이 포함됩니다. 네 가지 주요 제품 시장은 각종 광원 시뮬레이터, 이미지 센서 광학 성능 검사, 첨단 광센서 광학 검사, 양자효율 광학 검사입니다. 회사는 실리콘 포토닉스 및 광전자 반도체 칩을 위한 시험 장비와 관련 측정 솔루션을 공급합니다. 측정 장비는 웨이퍼, 패키지 및 모듈 등 여러 시험 단계에 적용할 수 있습니다. 회사는 글로벌 판매 및 서비스 네트워크를 구축하고 있습니다. 장비의 적용 분야는 반도체 공정, 광학 및 반도체 소재 연구, 항공우주, 차량용 전자기기, 광전자 소자에 걸쳐 있습니다. 회사의 엔지니어링 팀은 실리콘 포토닉스와 광전자 칩 시험 솔루션을 개발합니다. 장비 판매 과정에서 기술 지원과 서비스도 제공합니다. 실리콘 포토닉스 시험 장비에는 정밀 광원 제어, 편광 조정 및 자동 프로브 위치 제어 기술을 통합합니다.
전시 제품
실리콘 포토닉스 광학 특성 측정 시스템은 격자 결합기(GC)와 에지 결합기(EC)의 서브마이크로미터 자동 광결합을 지원하며, 광집적회로(PIC)의 웨이퍼 레벨 시험에 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 4~12인치 웨이퍼, 자동 다이 간 이동, 광학 및 전기 동시 시험을 지원합니다. 측정 항목에는 삽입 손실(IL), 반사 손실(RL), 편광 의존 손실(PDL), 도파로 전파 손실 및 광전 변환 응답이 포함됩니다. 웨이퍼 결함 분포도(Defect Map)를 자동 생성하고 초분광 검사를 통합하여 결함 특성을 분석할 수 있습니다. 온도 제어 측정 범위는 -40°C~+125°C이며, 1.2 W(30.8 dBm) 고출력 광원과 전체 푸앵카레 구 편광 제어를 선택 사양으로 제공할 수 있습니다. NightJar™ 실리콘 포토닉스 웨이퍼 시험 시스템은 WAT, CP 및 FT 단계를 지원하며 O-to-O 광학 특성과 결함 신호를 측정합니다. NightJar™는 초분광 검사를 통해 이상 지점의 위치를 찾고 분류 및 정량화하며, 기존 자동 프로버와 통합할 수 있습니다. NightJar™의 광학 측정 항목에는 삽입 손실, 반사 손실, 결합 효율, 도파로 전파 손실 및 광학 누화가 포함됩니다. FireFox-1310은 PIC 번인 시험용으로 설계된 1310 nm 연속파 레이저 시스템으로, 1 W(> 30 dBm)를 초과하는 광출력을 제공합니다. FireFox-1310은 실시간 출력 피드백 잠금, 전체 푸앵카레 구 편광 제어, 내장 파워미터 및 편광계를 사용해 IL-t 곡선과 손상 임계값 측정을 지원합니다. SG-O는 CIS, ALS 및 기타 광센서의 웨이퍼 레벨 시험을 위해 고균일 광원과 반자동 웨이퍼 프로버를 통합합니다. SG-O는 최대 200 mm 웨이퍼, 400 nm~1700 nm 광원 파장 범위 및 -60°C~180°C 온도 제어 척을 지원합니다. SG-A CMOS 이미지 센서 시험기는 양자효율, 시스템 이득, 암잡음, 신호대잡음비, 포화 용량, 다이내믹레인지, DSNU, PRNU 및 주광선각(CRA)을 측정합니다. SG-A는 EMVA 1288 시험 절차를 따르며 파장 범위는 300–1100 nm 또는 350–1000 nm, 다이내믹레인지는 모델에 따라 80–140 dB입니다. SG-A에는 맞춤형 시험 지그, 최대 6축 스테이지 및 ARGUS® 분석 소프트웨어를 결합할 수 있습니다. SLX-P 3070 CMOS 센서 조명 장치는 140 dB 초과 다이내믹레인지와 1° 발산각을 지원하며, 별빛부터 강한 일광까지의 조명 조건을 모사할 수 있습니다. SLX-P 3070은 고·중·저 3단계 광강도 조절 기능을 갖추며, 저조도 범위는 0~30 Lux이고 조절 간격은 0.1 Lux 미만입니다. SLX-P 대면적 조명 장치는 160 mm × 160 mm 조사 면적, 95% 초과 균일도 및 200 ms 미만 광원 조절 시간을 제공하며 Advantest T2000 시험 장비와 통합할 수 있습니다. SLX-U 25085 조명 장치는 Teradyne j750 시험 장비용으로 설계되었으며 250 mm × 85 mm 균일 조사 영역과 0.1 Lux~10,000 Lux 광강도 범위를 제공합니다. SL-HDR 고다이내믹레인지 표준 광원은 차량용 카메라 시험에 사용되며 광강도 변화의 다이내믹레인지가 150 dB에 이릅니다. SL-HDR은 USB, MIPI, Camera Link 및 Giga-E 인터페이스와 LED 플리커 모사 기능을 제공하며 -40°C~80°C 온도 제어 시스템을 선택할 수 있습니다. SL-X 주변광 센서 교정 광원은 다중 스펙트럼 기술로 D50, 4150K 냉백색광, 수평 주광 및 A 광원 등의 표준 스펙트럼을 모사합니다. SL-X는 0.1 Lux~100,000 Lux 범위에서 100 dB 다이내믹레인지와 16 bit 광강도 분해능 제어 기능을 제공합니다. SART 각도 응답 시험 시스템의 광원 발산각은 0.1° 미만, 각도 분해능은 0.1° 미만이며 측정 범위는 -90°~90°입니다. 자동 CRA 시험 시료 스테이지는 컴퓨터 제어 회전, XY축 자동 이동 및 교정 위치와 시험 위치의 신속한 전환 기능을 제공합니다. PD-QE 포토다이오드 특성 분석 시스템은 EQE, IV 곡선, D*, NEP 및 잡음 전류 스펙트럼 측정을 통합합니다. PD-QE는 광원 불안정도가 1% 미만이고 10^-14 A 분해능으로 광전류를 측정할 수 있으며 소재 시험을 위해 글러브박스와 통합할 수 있습니다. APD-QE는 광빔 공간 균일화와 ASTM 표준 Irradiance Mode를 사용하며 프로버와 결합하여 마이크로미터급 광센서의 전 스펙트럼 양자효율을 시험합니다. PEM™ 광자 에너지 변조 도구는 파장별 광자속과 에너지를 제어하여 양자효율 및 분광 측정을 지원합니다. SPD2200 단일광자 애벌랜치 다이오드(SPAD) 시험 시스템은 분광 응답도, EQE, 광자 검출 확률, 암계수율 및 항복 전압을 측정합니다. SPD2200의 SDTM 분광 특성 모듈은 350–1100 nm 단색광과 분광 측정을 제공하며, TDTM 시간 영역 모듈은 지터, 확산 꼬리 및 신호대잡음비를 측정합니다. SPAD 시험 액세서리에는 완전 자동·반자동·수동 프로버와 SPD2200 전용 맞춤형 칩 시험 지그가 포함됩니다. 광전 시험 액세서리에는 차광 및 전자기 차폐 암실 박스, 산업용 PC 컨트롤러, 광섬유 및 신호 커넥터 인터페이스를 갖춘 암실 박스 구조도 포함됩니다. SS-FZ5 맞춤형 태양광 시뮬레이터는 300W 제논 램프를 사용하며 셔터 제어, 시간 설정 조사, 필터 교환 및 외부 제어 기능을 제공합니다. SS-FZ5는 글러브박스 내외부 통합을 지원하며 광촉매 및 광변색 소재의 광조사 시험에 사용할 수 있습니다. 태양광 시뮬레이터 제품에는 AM1.5G 표준 스펙트럼 광원, Class AAA 소형 광반점 태양광 시뮬레이터 및 페로브스카이트 탠덤 전지 측정용 태양광 시뮬레이터도 포함됩니다. SS-LED220EX는 대면적 Class A++ 가변 스펙트럼 LED 태양광 시뮬레이터로, 스펙트럼 범위가 1800 nm까지 확장됩니다. 준페르미 준위 분리 검출기 QFLS-Maper는 3초 만에 QFLS 맵을 생성하고 2분 만에 소재 효율을 예측합니다. QE-R 양자효율 측정 시스템은 태양전지의 EQE, IQE, IPCE, 분광 응답도 및 반사율을 측정합니다. QE-R은 300–1100 nm, 300–1800 nm 및 300–2500 nm 등의 파장 범위 옵션을 제공하며 글러브박스와 통합할 수 있습니다. QE-RX는 PERC, HJT 및 TOP-Con 등의 태양전지 효율 손실 분석 장비로, SQ-JVFLA 소프트웨어를 이용해 Jsc, Voc 및 FF 손실을 분석합니다. QE-RX는 광반점 위치 확인 도구인 Spot-Viewer도 제공하며 EQE, 분광 응답도, 반사율 및 IQE를 측정할 수 있습니다. LQ-100X-PL은 광발광(PL) 스펙트럼과 광발광 양자수율(PLQY)을 측정하고 제자리 시간 변화 PL 분광 분석을 수행합니다. LQ-100X-PL은 분말·용액·박막 시료를 지원하고 글러브박스와 통합할 수 있으며, 3 mm 광반점에서 10 suns 상당을 초과하는 조사 옵션을 제공합니다. LQ-50X-EL LED 전계발광 효율 측정 시스템은 단일광자 검출 및 근적외선 광학 설계를 사용하며 1100 nm까지 측정하고 1700 nm까지 확장할 수 있습니다. LQ-50X-EL은 전압별 발광 스펙트럼, 복사조도, 휘도 및 CIE 색좌표를 측정할 수 있으며 글러브박스 통합을 지원합니다. HS-IL 전 스펙트럼 복사조도계는 300–1100 nm 파장 범위와 실내 10 Lux부터 실외 200,000 Lux까지의 광강도를 측정합니다. HS-IL은 W/m2, Lux, CIE XYZ 및 색온도 등의 데이터를 제공하며 측정 스펙트럼으로부터 태양전지의 Jsc(EQE)를 자동 계산합니다. NightJar™는 기존 자동 프로버에 광학 검사 기능을 통합하고 업그레이드하여 실리콘 포토닉스 웨이퍼 측정에 사용할 수 있습니다. 광검출기 시험 장비에 대한 기술 지원에는 온라인 및 현장 정밀 측정 지도, 잡음 전류 주파수 그래프 분석, 시험 파라미터 조정 지원이 포함됩니다.
역량 및 제품
- 실리콘 포토닉스 웨이퍼 레벨 광학 특성 측정 시스템
- 실리콘 포토닉스 웨이퍼용 초분광 결함 검사 및 위치 추적 시스템
- 실리콘 포토닉스 웨이퍼 광손실 측정 시스템
- PIC 번인 시험용 1310 nm 고출력 연속파 레이저 시스템
- CMOS 이미지 센서 파라미터 시험 장비
- CIS·ALS·광센서 웨이퍼 레벨 시험 시스템
- 고다이내믹레인지 BSI CMOS 센서 시험용 조명 장치
- 반도체 센서 시험용 대면적 균일 조명 장치
- 별빛 수준 저조도 센서 시험용 조명 장치
- 차량용 카메라 고다이내믹레인지 시험용 표준 광원
- 주변광 센서용 고해상도 교정 광원
- 포토다이오드 EQE·IV·잡음 특성 분석 장비
- 마이크로미터급 광센서 전 스펙트럼 양자효율 시험 시스템
- SPAD 단일광자 애벌랜치 다이오드 특성 시험 장비
- SPAD 분광 특성 측정 모듈
- SPAD 시간 영역 특성 측정 모듈
- 광센서 각도 응답 시험 시스템
- 자동 CRA 시험 시료 스테이지
- 맞춤형 태양광 시뮬레이터
- 대면적 가변 스펙트럼 LED 태양광 시뮬레이터
- 태양전지 양자효율 측정 시스템
- PERC/HJT/TOP-Con 태양전지 효율 손실 분석 장비
- 광발광 및 광발광 양자수율 측정 시스템
- LED 전계발광 효율 측정 시스템
- 전 스펙트럼 복사조도계
- 광전 시험용 차광 및 전자기 차폐 암실 박스
- SPAD 칩용 맞춤형 시험 지그
- 준페르미 준위 분리 매핑 검출기
- CMOS 이미지 센서 성능 분석 소프트웨어(ARGUS®)
- 태양전지 효율 손실 분석 소프트웨어(SQ-JVFLA)
- 산업용 PC 컨트롤러
- 웨이퍼 레벨 시험용 프로버
- 광자 에너지 및 광자속 변조기
- 소형 광반점 Class AAA 태양광 시뮬레이터
- AM1.5G 표준 스펙트럼 태양광 시뮬레이터
- 페로브스카이트 탠덤 전지 측정용 태양광 시뮬레이터
- 광반점 위치 확인 및 관찰 도구
- 광검출기 정밀 시험을 위한 온라인 및 현장 기술 지도
- 실리콘 포토닉스 자동 프로버의 광학 측정 기능 통합 및 업그레이드
- CMOS 이미지 센서용 맞춤형 시험 지그
- CMOS 이미지 센서용 맞춤형 수동 및 자동 시험 스테이지