기본 정보
| 부스 | I2808 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.els-tech.com.tw |
회사 소개
2005년 사월, 대만 반도체 및 광전자 산업의 고도 장비 국산화 추세에 맞춰 15년간 포토 공정 장비와 소재를 취급해 온 대리점 Tekstarter Co., LTD.가 ELS에 투자하여 일본 기술을 도입하고 기계 설계, 소프트웨어, 비전 처리, 전기 제어, 화학 배관 등 다양한 현지 전문 인력을 통합했습니다. ELS는 국내 장비 제조사들이 개발 능력도 의지도 없었던 전공정 완전 자동 포토 공정 양산 장비 제조를 전문으로 합니다. ELS는 반도체 공정의 비가역적 특성에 부합하기 위해 노력하면서 장비를 작동 가능한 수준에서 적용 가능하고 유용한 수준으로 발전시켜 왔습니다. 당사의 성과에서 가장 중요한 요소는 고객입니다. 고객은 지속적으로 지도와 기술 지원을 제공하여 ELS가 반도체 공정의 비가역적 특성에 적응하도록 도왔고, 150명의 전문 동료가 팀을 이루어 고객 요구에 따른 리소그래피 트랙 시스템을 성공적으로 개발할 수 있게 했습니다. 설립 당시부터 ELS는 포토 공정 토털 솔루션 제공업체로 자리매김했습니다. Spin Coater/Mask Aligner/Spin Developer/Spin Etcher/Spin Stripper를 성공적으로 개발하며 이 목표를 달성하고 있습니다. ELS는 LED 산업에서 높은 시장점유율을 보유할 뿐 아니라 수동부품, 다이오드 부품 / 첨단 패키징 / MEMS / 3DIC 응용 및 기타 반도체 관련 산업에도 참여하여 각기 다른 공정 요구에 맞춘 포토 공정 장비를 개발하고 있습니다. ELS의 목표: 정밀기계 제조사가 아니라 체계적인 장비 통합업체; 제조 중심 회사가 아니라 서비스 중심 회사. 당사는 통합과 지속적으로 진화하는 워크플로 및 KM–Knowledge Management IT System을 통해 맞춤형 장비를 표준화 및 모듈화 장비로 전환합니다. ELS는 신뢰할 수 있고 안정적인 장비를 제공할 뿐 아니라, 더 중요하게는 제조 원가를 낮추기 위해 노력함으로써 포토 공정을 지도해 준 고객의 호의에 보답합니다. 고객과 ELS 간의 이러한 상생 관계는 장기적인 파트너십에 대한 약속을 담고 있습니다.
전시 제품
신주 주베이 타이위안 과학기술단지에서 시작한 ELS System Technology는 20년에 걸쳐 자체 소프트웨어·하드웨어 기술팀을 구축하고, 기계 설계, 전기 제어 시스템, PC/PLC 제어, 이미지 처리, 자동 이송 및 화학 배관 통합 역량을 결합했습니다. 각종 표준 장비뿐 아니라 고객의 포토리소그래피 및 습식 공정 요구에 맞춘 반도체 공정 장비의 커스터마이징에 특히 강점을 보유하고 있습니다. 반도체 공정 장비는 말 그대로 공정을 위해 태어나고 공정 때문에 존재하는 장비입니다. els는 20년 이상 포토리소그래피 및 습식 공정 생산라인을 서비스한 완전한 경험을 보유하고 있으며, 고객이 요구하는 공정 정밀도, 안정성 및 장비 유연성을 깊이 이해하고 있습니다. 따라서 유동장 설계, 유체 및 온도 제어, 공정 유연성 계획을 지속적으로 고도화하고 있습니다. 포토레지스트, 산·알칼리 약액 특성 및 전체 공정에 대한 실무적 이해를 바탕으로, 당사는 고객의 요구를 이해하는 데 그치지 않고 이를 실제 구현 가능한 장비 솔루션으로 전환하여 고객에게 한 모든 약속을 실현합니다. 공정 모듈은 안정성을 위해 PLC로 제어하고, 장비 전체의 자동화와 고처리량 생산은 C++ 소프트웨어 역량으로 유연하게 달성하며, 이어 PLC/PC 협업으로 동작 제어와 안전 로직을 구현합니다. 설계 이력, 제조 이력, 공정 파라미터 이력, 설계 변경 이력, 설계 이상 이력을 축적하고, 자체 설계한 ERP 시스템과 프로젝트 관리 시스템으로 이를 구현하여 고객이 진정으로 els에 의존할 수 있게 하고 상호 이익을 실현합니다.
역량 및 제품
- 전공정 완전 자동 포토리소그래피 양산 장비
- 포토리소그래피 Track 시스템
- Spin Coater／Developer／Etcher／Stripper 장비
- Mask Aligner 노광 정렬 장비
- 맞춤형 포토리소그래피 및 습식 공정 장비
- 기계·전기·비전·이송 및 화학 배관 통합
- 유동장·유체·온도 제어 설계