基本情報
| ブース | I2808 |
| 国 | TW |
| 製品カテゴリ | Double sided mask aligner · Cleaning; Washing; Drying Equipment for Substrate, Fab Processing · Coat; Develop; Resist Processing; Track Equipment · Etching; Stripping; Ashing - Dry and Wet Equipment · Lithography; Exposure; Aligners; Direct Write Systems; Steppers; Scanners; Nanoimprint |
| ウェブサイト | www.els-tech.com.tw |
会社概要
2005年4月、台湾の半導体・オプトエレクトロニクス業界における高水準の装置ローカライズの潮流に応え、フォトプロセス装置・材料の代理店として15年の実績を持つ德謙公司（Tekstarter Co., Ltd.）が ELS に出資し、日本の技術を導入するとともに、機械設計、ソフトウェア、ビジョン処理、電気制御、薬液配管など各分野の現地の専門人材を統合しました。ELS は、国内の装置メーカーが開発する能力も意欲も持たない、フロントエンドの全自動フォトプロセス量産装置の製造を専門としています。ELS は半導体プロセスの不可逆な特性に適合すべく努力を重ね、装置を「動作可能」から「適用可能」「実用的」へと発展させてきました。当社の成果における最も重要な要素は顧客であり、顧客は継続的に指導と技術サポートを提供することで ELS が半導体プロセスの不可逆な特性に適応するのを支援し、150名の専門スタッフがチームを組み、顧客のニーズに応じてリソグラフィ・トラックシステムの開発に成功できるようにしてくれました。ELS は設立当初からフォトプロセスのトータルソリューションプロバイダーと位置づけ、スピンコーター、マスクアライナー、スピンデベロッパー、スピンエッチャー、スピンストリッパーの開発に成功することでこの目標を実現しています。ELS は LED 業界で高い市場シェアを持つだけでなく、受動部品、ダイオード部品、先端パッケージング、MEMS、3DIC 用途、その他の半導体関連業界にも参入し、それぞれ異なるプロセス要件に応じてカスタマイズされたフォトプロセス装置を開発しています。ELS の目標は、精密機械メーカーではなくシステマティックな装置インテグレーターであること、製造中心ではなくサービス中心の企業であることです。当社は統合と、継続的に進化するワークフローおよび KM（ナレッジマネジメント）IT システムによって、カスタマイズ装置を標準化・モジュール化された装置へと転換します。ELS は信頼できる確かな装置を提供するだけでなく、より重要なこととして、製造コストの低減に努めることで、フォトプロセスにおける顧客の指導への恩に報います。顧客と ELS の間のこの Win-Win の関係は、長期的なパートナーシップの約束を体現しています。
対応領域・製品
- Mask Aligner フォトプロセス装置
- Spin Coater フォトプロセス装置
- Spin Developer フォトプロセス装置
- Spin Etcher フォトプロセス装置
- Spin Stripper フォトプロセス装置
- advanced packaging、MEMS、3DIC 向けカスタムフォトプロセス装置
- リソグラフィ track システム
- 両面 Mask Aligner
- 前工程向け全自動フォトプロセス量産装置