基本情報
| ブース | I2808 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.els-tech.com.tw |
会社概要
ELS System Technology Co., Ltd. は2005年4月に設立され、フォトプロセス装置と材料を15年間代理していた Tekstarter Co., LTD. が、台湾の半導体・オプトエレクトロニクス産業における装置現地化の流れに対応するため ELS System Technology Co., Ltd. に投資し、日本の技術を導入するとともに、機械設計、ソフトウェア、画像処理、電気制御、薬液配管の現地専門家を統合しました。同社は前工程の全自動フォトプロセス量産装置を専門とし、半導体プロセスの不可逆的な特性に合わせて装置を開発しています。ELS System Technology Co., Ltd. は、国内装置メーカーには当時この装置分野を開発する能力も意図もなく、半導体プロセスの不可逆的特性に適応しながら、装置を動作可能な段階から実用・適用可能な段階へ進化させたとしています。顧客から継続的な指導と技術支援を受け、150名の専門スタッフが顧客ニーズに応じたリソグラフィトラックシステムを開発しました。ELS System Technology Co., Ltd. はフォトプロセスのトータルソリューションプロバイダーとして位置付け、Spin Coater、Mask Aligner、Spin Developer、Spin Etcher、Spin Stripper を開発しています。同社は LED 業界で高い市場シェアを持つとし、受動部品、ダイオード部品、先進パッケージング、MEMS、3DIC、その他の半導体関連産業にも対応し、異なるプロセス要件に合わせたカスタムフォトプロセス装置を開発しています。目標は、精密機械メーカーではなく体系的な装置インテグレーターであり、製造中心ではなくサービス中心の会社であることです。ELS System Technology Co., Ltd. は統合能力に加え、継続的に進化するワークフローと KM、Knowledge Management、IT システムを組み合わせ、カスタム装置を標準化・モジュール化しています。同社は信頼できる装置、製造コストを抑える取り組み、顧客との長期的なパートナーシップを重視しています。
展示製品
ELS System Technology Co., Ltd. は新竹・竹北の Taiyuan Technology Park を起点とし、20年かけて構築したソフトウェア・ハードウェア技術チームが、機械設計、電気制御システム、PC/PLC 制御、画像処理、自動搬送、薬液配管を統合しています。標準装置に加え、顧客のフォトリソグラフィとウェットプロセス要件に合わせたカスタム半導体プロセス装置を得意とし、これらの生産ラインを20年以上支援してきた経験を基に、流れ場設計、流体・温度制御、プロセス柔軟性の設計を継続的に改善しています。フォトレジスト、酸・アルカリ薬液、プロセス全体に関する実務知識を使って顧客要求を実装可能な装置へ変換し、プロセスモジュールは安定性のため PLC 制御を使用し、C++ ソフトウェアが装置全体の柔軟な自動化と高スループットを支え、PLC と PC が動作制御と安全ロジックを協調して実現します。同社は設計、製造、プロセスパラメータ、設計変更、設計異常の履歴を蓄積し、自社設計の ERP とプロジェクト管理システムを使用します。装置ラインアップはウエハー塗布、露光、現像、エッチング、フォトレジスト剥離、洗浄、マスク洗浄をカバーし、⌀ 50 mm から ⌀ 300 mm のウエハーと多様な特殊プロセス用途に対応し、顧客のウエハーサイズ、プロセス条件、自動化要件、工場接続要件に応じて構成できます。L01 Spin Coater はフォトレジストをウエハー表面へ均一に塗布し、高粘度レジストと多層塗布に対応し、50–300 mm ウエハー向けに全自動・半自動モデルを提供します。L02 Mask Aligner はマスクとウエハーを精密位置合わせする UV 露光システムで、化合物半導体、LED、特殊ウエハー用途に対応し、50–300 mm ウエハー向けに全自動・半自動構成があります。L03 Spin Developer は露光後のフォトレジストを現像し、現像時間と薬液流量を精密制御してパターン品質と均一性を支え、50–300 mm ウエハー向けに全自動・半自動構成があります。L04 Hot Plate は Contact と Proximity の2モード加熱を備える全自動ウエハーベーク装置で、⌀ 50 mm から ⌀ 150 mm ウエハーに対応し、オプションで最高200°Cまでベークできます。L05 Spin Edge Scrubber はウエハー端部の厚膜フォトレジストとドライフィルム材料を除去し、先進パッケージングめっき前の工程として全自動搬送を使用し、200 mm と300 mm ウエハーに対応します。
対応領域・製品
- 前工程全自動フォトプロセス量産装置製造
- カスタムフォトリソグラフィ・ウェットプロセス装置
- リソグラフィトラックシステム
- 高粘度・多層フォトレジスト対応スピンコーター
- UVマスクアライナー
- スピンデベロッパー
- スピンエッチャー
- スピンストリッパー
- 全自動ウエハーホットプレート
- ウエハーエッジスクラバー
- ウエハー・フォトマスク洗浄装置