基本資料
| 攤位 | I2808 |
| 國別 | TW |
| 產品分類 | Double sided mask aligner · Cleaning; Washing; Drying Equipment for Substrate, Fab Processing · Coat; Develop; Resist Processing; Track Equipment · Etching; Stripping; Ashing - Dry and Wet Equipment · Lithography; Exposure; Aligners; Direct Write Systems; Steppers; Scanners; Nanoimprint |
| 網站 | www.els-tech.com.tw |
公司簡介
2005 年 4 月，為順應台灣半導體與光電產業高階設備在地化的趨勢，從事光阻製程設備與材料代理 15 年的德謙公司（Tekstarter Co., Ltd.）投資成立 ELS，引進日本技術，並整合在機械設計、軟體、視覺處理、電控與化學管路等領域的多位本地專業人才。ELS 專注於製造前段全自動光阻製程量產設備──這正是國內設備廠商既無能力也無意願開發的領域。ELS 努力配合半導體製程不可逆的特性，將設備從可運作、可應用一路發展到實用。我們能有此成就，最重要的因素來自客戶；客戶持續提供指導與技術支援，協助 ELS 適應半導體製程不可逆的特性，使 150 位專業同仁得以攜手合作，依客戶需求成功開發出微影塗佈顯影連線（lithography track）系統。ELS 自成立之初即定位為光阻製程整體解決方案供應商，並透過成功開發旋轉塗佈機（Spin Coater）、光罩對準機（Mask Aligner）、旋轉顯影機（Spin Developer）、旋轉蝕刻機（Spin Etcher）與旋轉去光阻機（Spin Stripper）來實現此目標。ELS 不僅在 LED 產業擁有高市占率，也已切入被動元件、二極體元件、先進封裝、MEMS、3DIC 應用及其他半導體相關產業，依其不同的製程需求開發客製化光阻製程設備。ELS 的目標是：成為系統化的設備整合者，而非精密機械製造商；成為以服務為本的公司，而非以製造為本的公司。我們透過整合，以及持續演進的工作流程與知識管理（KM）資訊系統，將客製化設備轉化為標準化與模組化設備。ELS 不僅提供值得信賴且可靠的設備，更重要的是努力降低製造成本，以回報客戶在光阻製程上的指導之恩。客戶與 ELS 之間的雙贏關係，承諾著長期的合作夥伴情誼。
能力與產品項目
- Mask Aligner 光製程設備
- Spin Coater 光製程設備
- Spin Developer 光製程設備
- Spin Etcher 光製程設備
- Spin Stripper 光製程設備
- advanced packaging、MEMS 與 3DIC 用客製化光製程設備
- 前段全自動光製程量產設備
- 微影 track 系統
- 雙面 Mask Aligner