基本情報
| ブース | J2353 |
| 国 | US |
| ウェブサイト | www.icpms.com/products/scoutdx.php |
会社概要
Elemental Scientific, Inc. は、ICPMS、ICPOES、FAA によって幅広い試料中の微量元素濃度を測定するための自動試料導入システムを幅広く開発・生産しています。製品ラインはネブライザーから、オートキャリブレーション、試料希釈、QC 希釈に対応するインライン自動希釈機能付きインテリジェントオートサンプラーまで含みます。高度なシステムは前濃縮、マトリックス除去、スペシエーションを含むインライン化学処理も実行でき、手作業の試料前処理をなくして生産性と効率を向上させます。
展示製品
尿、全血、血漿、血清などの複雑な生体マトリックス中の微量元素を ICPMS で正確に測定する際、高い総溶解固形分やその他の生体成分によるマトリックス効果が妨げになることがあります。従来、混合尿や全血などの実際の臨床試料を用いたマトリックスマッチング校正が最も高い精度に用いられてきましたが、潜在的に危険な生体材料を大量に収集・取り扱い・特性評価する必要があり、臨床試料の種類ごとに個別の校正マトリックスが必要です。対象元素は校正マトリックス自体に含まれている可能性が高いため、正確な結果にはブランク補正が必要です。Clinical Matrix は、尿、全血、血漿、血清、消化した毛髪や爪のマトリックスマッチングのために生体マトリックスを模擬する超高純度の独自合成混合物で、金属汚染を除くため特別に精製され、周期表の多くの元素で微量金属濃度が低 ppt または sub-ppt レベルです。prep FAST IC Clinical システムは SampleSense UHT Clinical 構成を追加でき、インライン希釈付き全金属分析、インライン希釈付きスペシエーション、UHT 追加機能を用いた手動前処理試料のハイスループット分析という3モードで動作し、生体試料の高スループット分析と元素スペシエーションの両方を必要とする顧客に対応します。scoutDX は半導体プロセス薬液と超純水をリアルタイムで 24/7 監視し、タンクローリーまたはドラムでの受け入れ、中央薬液供給、分配点、最終使用点で金属不純物を監視して、低 ppt または sub-ppt の汚染レベルを確認します。scoutDX は金属のオートキャリブレーション、すべての半導体グレード薬液の分析、最大40サンプリングポイント、あらゆる方向に最大かつ300 m超のサンプリング距離、ppt および sub-ppt 金属の全自動検出、試料の非汚染化、薬液への人の接触低減、SECS-GEM を含む柔軟なデータ報告を支援します。より広範な Scout Semiconductor Online Monitoring Systems は、ファブ全体で半導体プロセス薬液と超純水中の ppt レベル金属、ナノ粒子、有機汚染物をリアルタイム監視します。Scout のオンライン金属監視は、超高純度半導体薬液分析向けの自動 24/7 ツールを使用し、あらゆる薬液中の超低濃度の金属および粒子汚染物を検出します。VPD-ICPMS は、超低検出限界で半導体ウエハー上の金属汚染をオンライン監視する高スループット全自動生産ツールで、Radian は単一プロセスステーション、超高速スキャナー、統合 ICPMS を組み合わせ、これらにより世界で最も高速かつ自動化された VPD-ICPMS となり、Radian 3 は単一 all-in-one プロセスモジュール、Radian 7 はデュアル all-in-one プロセスモジュールを採用し、radial fast-scanning nozzle は60秒以内でウエハー表面を走査します。全自動有機汚染監視システムは半導体薬液中の有機不純物をリアルタイム監視し、汚染物を自動検出・識別し、各汚染物を定量・チャート化して、ほぼリアルタイム監視用の SECS-GEM アラートを送信します。オンラインのナノ粒子・総金属監視は、ナノ粒子サイズと数量の多元素測定、ナノ粒子と総金属のオートキャリブレーション、すべての半導体グレード薬液の分析、最大40サンプリングポイント、あらゆる方向に最大300 mを提供します。全自動 PPQ 総金属プラットフォームは UPW、IPA、TMAH、30% H2O2 などで sub-PPQ の検出限界を提供し、多元素の総金属測定、難しいマトリックスの除去、ICPMS 干渉影響の低減を行います。有機汚染監視は最大40サンプルポイントを支援し、個別試料を最大300 m先の中央ユニットへ高速搬送し、施設薬液、環境排水、薬液槽、その他液体試料中の有機汚染や不純物を検出し、半導体薬液の全範囲を同時に監視します。scoutLAB は化学供給への直接接続、最大20台の直接化学サンプラー、実験室分析用オンボードオートサンプラーを備えた、24/7 金属監視の実験室型オンラインシステムです。リアルタイム超微量金属監視は、金属汚染を即時検出・通知し、製品歩留まり向上を支援し、危険な化学試料への人の接触を減らして安全性向上とエラー低減を図り、各サンプリングステーションでユーザー定義の汚染管理パラメータを設定できるカスタマイズ可能なソフトウェアを提供します。窒化シリコンエッチング向けには、ppm レベルの遊離シリコンを全自動無人測定しながら結合シリコンも同時監視し、熱リン酸浴中の遊離・結合シリコンを監視し、シリコンのオートキャリブレーションと検証を行います。全自動オンラインプロセスガス監視は、自動監視と即時の汚染検出・通知、ナノ粒子と総金属データの同時測定、最大16のプロセスガス接続、CO2、N2、O2、Ar、He、Ne などの監視を提供します。全有機炭素オンライン監視は UPW と廃水中の TOC を定量分析し、範囲は0.2未満から1000 ppm Cで、単一中央分析装置が最大40サンプリングポイントとあらゆる方向に最大300 mを監視します。
対応領域・製品
- ICPMS/ICPOES/FAA向け自動試料導入システム
- インライン自動希釈付きオートサンプラー
- インライン前濃縮・マトリックス除去・スペシエーション
- 臨床生体試料ICPMS用マトリックスマッチング材料
- 半導体薬液の24/7オンライン金属監視
- ウェハ金属汚染のオンラインVPD-ICPMS監視
- 半導体薬液の有機汚染リアルタイム監視
- ナノ粒子・総金属オンライン監視
- UPW/IPA/TMAH/H2O2のsub-PPQ総金属分析
- 熱リン酸浴の遊離・結合シリコン自動監視
- プロセスガスのナノ粒子・総金属監視
- UPW・廃水のTOCオンライン監視