基本資料
| 攤位 | J2353 |
| 國別 | US |
| 網站 | www.icpms.com/products/scoutdx.php |
公司簡介
Elemental Scientific, Inc. 開發並生產完整系列的自動化進樣系統，用於以 ICPMS、ICPOES 與 FAA 測定廣泛樣品中的微量元素濃度。其產品線從霧化器延伸到智慧型自動進樣器，具備管線內自動稀釋，可用於自動校正、樣品稀釋與 QC 稀釋。進階系統也可執行管線內化學處理，包括預濃縮、基質去除與物種分析，藉此免除人工樣品前處理並提升生產力與效率。
展出產品
以 ICPMS 準確測定尿液、全血、血漿、血清與其他複雜生物基質中的微量元素時，可能受到高總溶解固體與其他生物成分造成的基質效應影響。傳統上，使用實際臨床樣品，例如混合尿液或全血，進行基質匹配校正可取得最佳準確度，但需要收集、處理與表徵大量具有潛在危害的生物材料，而且每一種臨床樣品都需要獨立校正基質。由於目標元素很可能已存在於校正基質中，因此必須進行空白校正才能取得準確結果。Clinical Matrix 是超純的自有合成混合物，用於模擬生物基質，以對尿液、全血、血漿、血清，以及消化處理後的毛髮與指甲進行基質匹配；它經特別純化以去除金屬污染，多數週期表元素的微量金屬濃度位於低 ppt 或 sub-ppt 範圍。prep FAST IC Clinical 系統可加入 SampleSense UHT Clinical 組態，並以三種模式運作：搭配管線內稀釋的總金屬分析、搭配管線內稀釋的物種分析，以及利用 UHT 加裝模組分析人工前處理樣品的高通量模式，服務同時需要生物樣品高通量分析與元素物種分析的客戶。scoutDX 提供半導體製程化學品與超純水的即時 24/7 監控，包括在槽車或桶裝到貨、中央化學供應、分配點與最終使用點監測金屬雜質，以確認低 ppt 或 sub-ppt 污染濃度。scoutDX 支援金屬自動校正、所有半導體級化學品分析、最多 40 個取樣點、任一方向最高且可超過 300 m 的取樣距離、全自動 ppt 與 sub-ppt 金屬偵測、避免樣品污染、盡量降低人員接觸化學品，以及包含 SECS-GEM 的彈性資料回報。更完整的 Scout Semiconductor Online Monitoring Systems 可在晶圓廠範圍內即時監控半導體製程化學品與超純水中的 ppt 等級金屬、奈米粒子與有機污染物。Scout 線上金屬監控以全自動 24/7 工具分析超純半導體化學品，並偵測各類化學品中的超低濃度金屬與微粒污染物。VPD-ICPMS 是用於半導體晶圓金屬污染線上監控的高通量全自動量產工具，具有超低偵測極限；Radian 結合單一製程站、超高速掃描器與整合 ICPMS，這些特點使其成為全球最快且自動化程度最高的 VPD-ICPMS；Radian 3 採單一 all-in-one 製程模組，Radian 7 採雙 all-in-one 製程模組，而 radial fast-scanning nozzle 可在 60 秒內完成晶圓表面掃描。全自動有機污染監控系統可即時監測半導體化學品中的有機雜質，自動偵測並識別污染物、量化並繪製各污染物資料，並以 SECS-GEM 發送接近即時的警示。線上奈米粒子與總金屬監控可進行奈米粒子尺寸與數量的多元素測定、奈米粒子與總金屬自動校正、分析所有半導體級化學品，支援最多 40 個取樣點與任一方向最遠 300 m。全自動 PPQ 總金屬平台針對 UPW、IPA、TMAH、30% H2O2 與其他基質提供 sub-PPQ 偵測極限，可進行多元素總金屬測定、移除困難基質並降低 ICPMS 干擾影響。有機污染監控支援最多 40 個取樣點，可將離散樣品快速傳送最遠 300 m 至中央單元，偵測廠務化學品、環境排放液、化學槽與其他液體樣品中的有機污染與雜質，並同步監控完整的半導體化學品範圍。scoutLAB 是實驗室型 24/7 線上金屬監控系統，可直接連接化學供應，支援最多 20 個直接化學取樣器，並提供機載自動進樣器作為實驗室分析選項。即時超微量金屬監控可立即偵測並通知金屬污染，支援提升產品良率，降低人員接觸危險化學樣品以改善安全並減少錯誤，並提供可自訂軟體，讓每個取樣站設定使用者定義的污染控制參數。針對氮化矽蝕刻，系統可全自動無人值守測量 ppm 等級的游離矽並同步監控結合矽，可監控熱磷酸槽中的游離矽與結合矽，並對槽內矽進行自動校正與驗證。全自動線上製程氣體監控可自動監控並立即偵測與通知污染，同步取得奈米粒子與總金屬資料，支援最多 16 個製程氣體連接，並監控 CO2、N2、O2、Ar、He、Ne 與其他氣體。總有機碳線上監控可定量分析 UPW 與廢水中的 TOC，範圍為低於 0.2 至 1000 ppm C，單一中央分析儀可支援最多 40 個取樣點與任一方向最遠 300 m。
能力與產品項目
- ICPMS/ICPOES/FAA自動化進樣系統
- 管線內自動稀釋自動進樣器
- 管線內預濃縮與基質去除物種分析
- 臨床生物樣品ICPMS基質匹配材料
- 半導體化學品24/7線上金屬監控
- 晶圓VPD-ICPMS金屬污染線上監控
- 半導體化學品有機污染物即時監控
- 奈米粒子與總金屬線上監控
- UPW/IPA/TMAH/H2O2 sub-PPQ總金屬分析
- 熱磷酸槽游離與結合矽自動監控
- 製程氣體奈米粒子與總金屬監控
- UPW與廢水TOC線上監控