기본 정보
| 부스 | I2015, R7324 |
| 국가 | FR |
| 웹사이트 | ecm-greentech.fr |
회사 소개
ECM Greentech는 1986년부터 반도체 시장에서 활동해 왔으며 상압 및 감압 공정용 양산 및 실험실 퍼니스의 엔지니어링과 제조, 웨이퍼 이송 자동화, 소프트웨어 제어 분야에서 폭넓은 경험을 보유한다고 설명합니다. 반도체 공정 역량은 확산, 산화, LPCVD, PECVD를 포함하며 응용에는 LYDOP POCL3 및 BCl3 확산, LYTOX 습식 및 건식 산화, 어닐, 실리콘 나이트라이드, 실리콘 옥시나이트라이드, 폴리실리콘, TEOS가 포함됩니다. 실험실 연구개발에서 파일럿 라인과 양산으로 확대하기 위해 ECM Greentech는 해당 반도체 응용을 포괄하는 오프사이트 공정 개발 및 검증 도구로 MINILAB 플랫폼을 제안합니다. 정전척은 독자적인 ESC 정전용량 기술을 사용해 얇은 웨이퍼와 초박형 웨이퍼를 클램핑하고 처리하며, 회사는 1992년부터 웨이퍼 처리용 정전척과 가열 페데스털을 설계 및 제조해 왔다고 설명합니다. ECM Greentech는 전 세계 OEM, 반도체 팹, 파운드리, 연구소에 웨이퍼 핸들링 부품을 원장비 또는 retrofit으로 공급하고 자회사와 서비스 센터를 통해 글로벌 지원을 관리합니다. ECM Components는 ECM Greentech의 자매회사로 소개되며 고순도 및 부식성 가스 공급용 Flowlink 브랜드 가스 부품으로 벨로즈 밸브, 다이어프램 밸브, 제어 밸브, 복합 밸브 매니폴드, 체크 밸브, 필터, 액세서리를 제공합니다. ECM Components는 gas panels도 설계하며 CVD, MOCVD, PECVD, ALD, PEALD, ALE 및 기타 기상 공정용 Kemstream Direct Liquid Injection vaporizers를 제공합니다. Kemstream Vapbox DLI vaporizers는 대기압 또는 진공에서 광범위한 유기 및 유기금속 전구체를 기화할 수 있다고 설명됩니다. 반도체 공정 장비 외에도 ECM Greentech는 ECM Group에 속한 브랜드로 반도체, 재생에너지, 결정 성장 활동을 더 넓은 산업 장비 사업 안에서 결합합니다. 회사는 연구개발을 강조하며 프랑스 국립태양에너지연구소 CEA-INES와 특별한 파트너십을 보유하고 주요 장비 기술 분야를 지속적으로 개선한다고 밝힙니다.
전시 제품
ECM Greentech는 반도체, 재생에너지, 결정 성장 분야에 턴키 솔루션과 장비를 제공하며 잉곳 성장부터 태양전지 제조까지의 태양광 장비 및 턴키 라인과 저장 응용 장비를 포함합니다. 반도체 장비 범위에는 Si 및 SiC 웨이퍼 처리 시스템과 SiC 잉곳 성장 장비가 포함되고 사파이어, 실리콘, 실리콘 카바이드용 결정 성장 장비는 핵심 사업 공급 항목으로 제시됩니다. 재생에너지 제품군에는 PV 생산 장비와 PV1300, PV600, PV80, PV20, SOLARLAB, TUBESTAR PV, CrystalMax 플랫폼이 포함됩니다. ECM Greentech가 제시하는 결정 성장 장비군에는 CZOCHRALSKI PULLER, KYROPOULOS, PVT FURNACE, BRIDGMAN, MIRROR FURNACE 2400, MIRROR FURNACE 3000, LHPG, EFG, TETRA ARC, VERTICAL LPE, MPD가 있습니다. 반도체 웨이퍼 처리 퍼니스 제품군에는 DF SERIES, VAR SERIES, TUBESTAR, MEMSLAB PECVD, VS SERIES, ACTISTAR, OXISTAR, CLOSE SPACE SUBLIMATION이 포함됩니다. 명명된 개발 프로젝트에는 France 2030의 지원을 받는 실리콘 결정화용 Czochralski puller EFFISIENT와 CNRS, SOMOS, ALTIMET, Université de Lyon과 함께 개발되고 France 2030 지원을 받는 대구경 사파이어 결정 성장용 고용량 퍼니스 SEPO 450이 있습니다. PV ENLIGHT는 CEA-INES 및 CARBON과 함께 TOPCon 태양전지 기술로 25% 효율을 목표로 하는 장비 및 공정 개발이며, EPOBOC는 Fraunhofer와 함께 개발하는 Perovskite/Silicon tandem devices용 Poly-Si passivating-contact bottom cell입니다. 프로젝트 목록에는 SiC 결정 성장용 PVT furnace 개발과 FASTLANE도 포함되며 FASTLANE는 CEA, IBS, SOITEC 등과 함께하는 SiC 웨이퍼 처리 유럽 공모 선정 프로젝트로 제시됩니다. 대형 프로젝트에서 ECM Greentech는 프로젝트 관리 역량을 GW 규모까지의 태양광 생산라인에 적용하며 실리콘 정제부터 PV 시스템까지의 범위와 기술 이전 및 교육을 포함한다고 설명합니다. 턴키 엔지니어링, 웨이퍼 처리 시스템, SiC 잉곳 성장, 결정 성장 퍼니스, 반도체 공정 퍼니스, 프로젝트형 연구개발의 조합은 장비 범위를 실험실 개발부터 산업 생산과 완전한 생산라인 구축까지 확장합니다.
역량 및 제품
- 대기압 및 감압 공정로
- 웨이퍼 이송 자동화 및 소프트웨어 제어
- 확산 공정 장비
- 산화 공정 장비
- LPCVD 공정 장비
- PECVD 공정 장비
- MINILAB 공정 개발 및 검증 플랫폼
- 박형 및 초박형 웨이퍼용 정전척
- 웨이퍼 가열 페데스털
- 웨이퍼 핸들링 부품 원장착 및 retrofit 공급
- Si 및 SiC 웨이퍼 처리 시스템
- SiC 잉곳 성장 장비
- 사파이어 결정 성장 장비
- 실리콘 결정 성장 장비
- SiC 결정 성장 장비
- 잉곳 성장부터 태양전지 제조까지 PV 턴키 라인