기본 정보
| 부스 | I2015, R7324 |
| 국가 | FR |
| 웹사이트 | ecm-greentech.fr |
회사 소개
ECM Greentech SEMCO는 1986년부터 반도체 시장에서 활동해 왔으며, 대기압 및 감압 공정용 양산·실험실 퍼니스의 엔지니어링과 제조, 웨이퍼 이송 자동화 및 소프트웨어 제어 분야에서 폭넓은 경험을 보유하고 있습니다. 회사의 전문 분야는 확산, 산화, LPCVD 및 PECVD입니다. 일반적인 적용 분야에는 LYDOP POCL3 및 BCl3 확산, LYTOX 습식 및 건식 산화, 어닐링, 실리콘 나이트라이드, 실리콘 옥시나이트라이드, 폴리실리콘 및 TEOS가 포함됩니다. 실험실 규모의 연구개발에서 파일럿 라인 및 양산으로 확장할 때 발생하는 과제에 대응하기 위해 SEMCO ECM은 위에 언급된 전체 응용 범위를 포괄하는 외부 공정 개발 및 검증 도구인 MINILAB 플랫폼을 제안합니다. SEMCO의 정전척은 독자적인 ESC 정전용량 기술을 기반으로 얇은 웨이퍼와 초박형 웨이퍼의 클램핑 및 가공을 위한 스마트 솔루션을 제공합니다. SEMCO는 1992년부터 웨이퍼 가공 산업을 위한 정전척(ESC)과 가열 페데스털을 설계·제조해 왔습니다. SEMCO ECM은 전 세계 주요 OEMs, Semiconductor Fabs, 파운드리 및 연구소에 혁신적이고 효율적인 웨이퍼 핸들링 부품을 신품 장비 또는 개조용으로 제공합니다. 당사는 자회사와 서비스 센터를 통해 글로벌 지원을 적극적으로 운영합니다. ECM Greentech의 자매사인 ECM Components는 순수 및 부식성 가스 분배 전용 가스 부품(Flowlink brand)의 완전한 제품군을 제공하며, 여기에는 벨로즈 밸브와 다이어프램 밸브, 제어 밸브, 복합 밸브 매니폴드, 체크 밸브, 필터 및 액세서리가 포함됩니다. ECM Components는 가스 패널도 설계하며 CVD, MOCVD, PECVD, ALD, PEALD, ALE 및 모든 기상 공정을 위한 Kemstream의 Direct Liquid Injection (DLI) 기화기를 제공합니다. Kemstream Vapbox DLI 기화기는 대기압 또는 진공 조건에서 광범위한 유기 및 유기금속 전구체를 기화할 수 있습니다.
전시 제품
재생에너지, 반도체 및 결정 성장 응용을 위한 완전한 산업 솔루션입니다. ECM Greentech는 반도체, 재생에너지 및 결정 성장 분야의 턴키 솔루션과 장비를 제공합니다. 태양광(잉곳 성장부터 태양전지 제조까지) 및 저장 응용용 장비와 턴키 라인을 제공합니다. ECM은 웨이퍼(Si & SiC) 가공 시스템과 SiC 잉곳 성장용 장비를 폭넓게 제공합니다. ECM의 핵심 사업인 사파이어, 실리콘 및 탄화규소용 결정 성장 장비도 제공 범위에 포함됩니다. 실리콘 결정화를 위한 Czochralski 풀러 EFFISIENT 개발. 대구경 사파이어 결정 성장을 위한 대용량 퍼니스 SEPO 450 개발. TOPCon 태양전지 기술로 25% 효율을 달성하기 위한 장비 및 공정 PV ENLIGHT 개발. Perovskite/Silicon 탠덤 소자용 Poly-Si 패시베이팅 콘택트 하부 셀 EPOBOC.
역량 및 제품
- 상압 및 감압 공정로
- 웨이퍼 이송 자동화 및 소프트웨어 제어
- 확산／산화 LPCVD／PECVD 공정 장비
- 박형 웨이퍼 정전척
- 웨이퍼 공정 가열 페데스탈
- Si/SiC 웨이퍼 처리 시스템
- SiC 잉곳 성장 장비
- 사파이어·실리콘·실리콘 카바이드 결정 성장 장비