基本情報
| ブース | I2015, R7324 |
| 国 | FR |
| ウェブサイト | ecm-greentech.fr |
会社概要
ECM Greentechは1986年から半導体市場で活動し、常圧および減圧プロセス向け量産炉・実験炉のエンジニアリングと製造、ウェハ搬送自動化、ソフトウェア制御で豊富な経験を持つとしています。半導体プロセスの能力は拡散、酸化、LPCVD、PECVDをカバーし、用途にはLYDOP POCL3およびBCl3拡散、LYTOX湿式・乾式酸化、アニール、窒化シリコン、酸窒化シリコン、ポリシリコン、TEOSが含まれます。研究室での研究開発からパイロットライン、量産へ拡大するため、ECM Greentechはこれらの半導体用途をカバーするオフサイトのプロセス開発・認定ツールとしてMINILABプラットフォームを提案しています。静電チャックは独自のESC容量技術を用いて薄ウェハと超薄ウェハをクランプ・処理し、同社は1992年からウェハ処理向け静電チャックと加熱ペデスタルを設計・製造しているとしています。ECM Greentechは世界のOEM、半導体ファブ、ファウンドリ、研究所にウェハハンドリング部品を純正装置またはretrofitとして供給し、子会社とサービスセンターを通じてグローバルサポートを管理しています。ECM ComponentsはECM Greentechの姉妹会社とされ、純ガスおよび腐食性ガスの供給向けFlowlinkブランドのガス部品として、ベローズバルブ、ダイヤフラムバルブ、制御バルブ、複雑なバルブマニホールド、チェックバルブ、フィルター、アクセサリーを提供します。ECM Componentsはgas panelsも設計し、CVD、MOCVD、PECVD、ALD、PEALD、ALEおよびその他の気相プロセス向けにKemstream Direct Liquid Injection vaporizersを提供しています。Kemstream Vapbox DLI vaporizersは、大気圧または真空下で幅広い有機および有機金属前駆体を気化できると説明されています。半導体プロセス装置に加え、ECM GreentechはECM Groupに属するブランドであり、半導体、再生可能エネルギー、結晶成長の活動をより広い産業装置事業の中で組み合わせています。同社は研究開発を重視し、フランスの国立太陽エネルギー研究所CEA-INESと特別なパートナーシップを持ち、主要な装置技術分野で継続的な改善を進めるとしています。
展示製品
ECM Greentechは、半導体、再生可能エネルギー、結晶成長向けのターンキーソリューションと装置を提供し、インゴット成長から太陽電池製造までの太陽光発電装置・ターンキーラインと蓄電用途装置を含みます。半導体装置の範囲にはSiおよびSiCウェハ処理システムとSiCインゴット成長装置が含まれ、サファイア、シリコン、炭化ケイ素向け結晶成長装置は中核事業の提供品目とされています。再生可能エネルギーの製品群にはPV生産装置と、PV1300、PV600、PV80、PV20、SOLARLAB、TUBESTAR PV、CrystalMaxなどのプラットフォームがあります。ECM Greentechが挙げる結晶成長装置には、CZOCHRALSKI PULLER、KYROPOULOS、PVT FURNACE、BRIDGMAN、MIRROR FURNACE 2400、MIRROR FURNACE 3000、LHPG、EFG、TETRA ARC、VERTICAL LPE、MPDがあります。半導体ウェハ処理炉にはDF SERIES、VAR SERIES、TUBESTAR、MEMSLAB PECVD、VS SERIES、ACTISTAR、OXISTAR、CLOSE SPACE SUBLIMATIONが含まれます。開発プロジェクトには、France 2030の支援を受けるシリコン結晶化用Czochralski pullerのEFFISIENTと、CNRS、SOMOS、ALTIMET、Université de Lyonと共同で開発しFrance 2030の支援を受ける大口径サファイア結晶成長用高容量炉SEPO 450があります。PV ENLIGHTはCEA-INESおよびCARBONとともにTOPCon太陽電池技術で25%効率を目標とする装置・プロセス開発であり、EPOBOCはFraunhoferと進めるPerovskite/Silicon tandem devices向けPoly-Si passivating-contact bottom cellです。プロジェクト一覧にはSiC結晶成長向けPVT furnaceの開発とFASTLANEも含まれ、FASTLANEはCEA、IBS、SOITECなどと進めるSiCウェハ処理の欧州公募採択プロジェクトとして示されています。大型プロジェクトでは、ECM Greentechのプロジェクト管理能力をGW規模までの太陽光発電生産ラインに適用し、シリコン精製からPVシステムまでをカバーし、技術移転とトレーニングも含むとしています。ターンキーエンジニアリング、ウェハ処理システム、SiCインゴット成長、結晶成長炉、半導体プロセス炉、プロジェクト型研究開発を組み合わせることで、装置範囲は研究室開発、工業生産、完全な生産ライン導入まで広がります。
対応領域・製品
- 常圧・減圧プロセス炉
- ウェハ搬送自動化・ソフトウェア制御
- 拡散プロセス装置
- 酸化プロセス装置
- LPCVDプロセス装置
- PECVDプロセス装置
- MINILABプロセス開発・認定プラットフォーム
- 薄・超薄ウェハ用静電チャック
- ウェハ加熱ペデスタル
- ウェハハンドリング部品の純正・retrofit供給
- Si・SiCウェハ処理システム
- SiCインゴット成長装置
- サファイア結晶成長装置
- シリコン結晶成長装置
- SiC結晶成長装置
- インゴット成長から太陽電池製造までのPVターンキーライン