基本情報
| ブース | I2015 |
| 国 | FR |
| 製品カテゴリ | Crystal Growing & Machining Equipment · Deposition; Chemical Vapor (CVD); MOCVD; PECVD; LPCVD; ALD; REALD; MVD · Thermal Processing - Diffusion; Oxidation; Annealing; RTA; RTP Equipment · Chucks for Wafer and other Substrates · Assembly · Automation & Robotics · Equipment; Hardware; Product Design, Integration and Manufacturing · Manufacturing Process Support and Development · Test Services or Consulting |
| ウェブサイト | ecm-greentech.fr |
会社概要
ECM Greentech SEMCO は1986年より半導体市場で事業を展開し、常圧および減圧プロセス用の量産・実験室用炉、ならびにウェハ搬送の自動化とソフトウェア制御の設計・製造において豊富な経験を有しています。同社の得意分野は拡散、酸化、LPCVD、PECVD に及びます。代表的な用途には、LYDOP POCl3 および BCl3 拡散、LYTOX ウェット／ドライ酸化、アニール、窒化シリコン、酸窒化シリコン、ポリシリコン、TEOS が含まれます。実験室規模の研究開発からパイロットライン、量産へのスケールアップに伴う課題に対応するため、SEMCO ECM は上記すべての用途を網羅するオフサイトのプロセス開発・認定ツール「MINILAB」プラットフォームを提案しています。SEMCO の静電チャック（Electrostatic Chuck）は、独自の ESC 静電容量技術に基づき、薄型・超薄型ウェハのクランプと処理にスマートなソリューションを提供します。SEMCO は1992年よりウェハ処理業界向けに静電チャック（ESC）とヒーターペデスタルを設計・製造してきました。SEMCO ECM は、世界の主要な OEM、半導体ファブ、ファウンドリ、研究機関に対し、革新的で効率的なウェハハンドリング部品を、新規装置またはレトロフィットとして提供し、子会社およびサービスセンターを通じてグローバルサポートを積極的に運営しています。ECM Greentech の姉妹会社である ECM Components は、純ガスおよび腐食性ガスの供給に特化した完全なガス部品シリーズ（Flowlink ブランド）を提供しており、ベローズバルブやダイアフラムバルブ、コントロールバルブ、複合バルブマニホールド、チェックバルブ、フィルター、アクセサリーなどが含まれます。ECM Components はガスパネルの設計も行い、CVD、MOCVD、PECVD、ALD、PEALD、ALE などあらゆる気相プロセス向けに Kemstream の直接液体注入（DLI）気化器を提供します。Kemstream Vapbox DLI 気化器は、常圧または真空下で幅広い有機および有機金属前駆体を気化させることができます。
対応領域・製品
- CVD、MOCVD、PECVD、ALD、PEALD、ALE 向け Kemstream Direct Liquid Injection (DLI) ベポライザ
- LYDOP POCL3 および BCl3 diffusion
- LYTOX ウェットおよびドライ酸化
- MINILAB オフサイトプロセス開発および認定プラットフォーム
- diffusion、oxidation、LPCVD、PECVD プロセス
- アニール、silicon nitride、silicon oxynitride、polysilicon、TEOS 用途
- ウェハプロセス向け加熱ペデスタル
- 大気圧および減圧プロセス向け量産用およびラボ用炉
- 純ガスおよび腐食性ガス向け Flowlink ガスコンポーネント
- 薄型および超薄型ウェハ向け electrostatic chucks (ESC)