基本資料
| 攤位 | I2015 |
| 國別 | FR |
| 產品分類 | Crystal Growing & Machining Equipment · Deposition; Chemical Vapor (CVD); MOCVD; PECVD; LPCVD; ALD; REALD; MVD · Thermal Processing - Diffusion; Oxidation; Annealing; RTA; RTP Equipment · Chucks for Wafer and other Substrates · Assembly · Automation & Robotics · Equipment; Hardware; Product Design, Integration and Manufacturing · Manufacturing Process Support and Development · Test Services or Consulting |
| 網站 | ecm-greentech.fr |
公司簡介
ECM Greentech SEMCO 自 1986 年起即活躍於半導體市場，在常壓與減壓製程用的量產與實驗室爐管，以及晶圓傳送自動化與軟體控制的工程設計與製造方面，擁有豐富經驗。公司的專長領域涵蓋擴散、氧化、LPCVD 與 PECVD。典型應用包括 LYDOP POCl3 與 BCl3 擴散、LYTOX 濕式與乾式氧化、退火、氮化矽、氮氧化矽、多晶矽與 TEOS。為因應從實驗室規模研發擴展到試產線與量產所面臨的挑戰，SEMCO ECM 提出 MINILAB 平台，這是一套涵蓋上述所有應用的離線製程開發與驗證工具。SEMCO 的靜電吸盤（Electrostatic Chuck）以其專有的 ESC 電容式技術，為薄型與超薄晶圓的夾持與處理提供智慧解決方案。SEMCO 自 1992 年起即為晶圓製程產業設計與製造靜電吸盤（ESC）與加熱基座。SEMCO ECM 以原裝設備或改裝（retrofit）形式，向全球領先的設備商（OEM）、半導體晶圓廠、晶圓代工廠與實驗室提供創新且高效的晶圓傳送元件，並透過子公司與服務中心積極管理全球支援。ECM Greentech 的姊妹公司 ECM Components 提供完整的氣體元件系列（Flowlink 品牌），專用於純氣與腐蝕性氣體的輸送，包括波紋管閥與隔膜閥、控制閥、複合閥歧管、逆止閥、過濾器與配件。ECM Components 亦設計氣體面板，並提供 Kemstream 的直接液體注入（DLI）汽化器，適用於 CVD、MOCVD、PECVD、ALD、PEALD、ALE 及所有氣相製程。Kemstream Vapbox DLI 汽化器能在常壓或真空下汽化各種有機與有機金屬前驅物。
能力與產品項目
- LYDOP POCL3 與 BCl3 diffusion
- LYTOX 濕式與乾式氧化
- MINILAB 離線製程開發與驗證平台
- diffusion、oxidation、LPCVD 與 PECVD 製程
- 晶圓製程用加熱基座
- 用於 CVD、MOCVD、PECVD、ALD、PEALD 與 ALE 的 Kemstream Direct Liquid Injection (DLI) 汽化器
- 用於常壓與減壓製程的量產與實驗室爐管
- 用於純氣體與腐蝕性氣體的 Flowlink 氣體元件
- 薄型與超薄晶圓用 electrostatic chucks (ESC)
- 退火、silicon nitride、silicon oxynitride、polysilicon 與 TEOS 應用