基本資料
| 攤位 | I2015, R7324 |
| 國別 | FR |
| 網站 | ecm-greentech.fr |
公司簡介
ECM Greentech 自 1986 年起即活躍於半導體市場，並表示在常壓與減壓製程用量產及實驗室爐管的工程設計與製造，以及晶圓傳送自動化與軟體控制方面具有豐富經驗。其半導體製程能力涵蓋擴散、氧化、LPCVD 與 PECVD，應用包括 LYDOP POCL3 與 BCl3 擴散、LYTOX 濕式與乾式氧化、退火、氮化矽、氮氧化矽、多晶矽與 TEOS。為將工作從實驗室研發放大至試量產線與量產，ECM Greentech 提出 MINILAB 平台，作為涵蓋上述半導體應用的異地製程開發與驗證工具。其靜電吸盤採用專有 ESC 電容技術，用於夾持與處理薄晶圓及超薄晶圓；公司並表示自 1992 年起即為晶圓處理設計與製造靜電吸盤及加熱基座。ECM Greentech 為全球 OEM、半導體晶圓廠、晶圓代工廠與實驗室供應晶圓搬運零組件，可作為原始設備或改裝件，並透過子公司與服務中心管理全球支援。ECM Components 被說明為 ECM Greentech 的姊妹公司，供應 Flowlink 品牌的高純度與腐蝕性氣體輸送零組件，包括波紋管閥、隔膜閥、控制閥、複雜閥歧管、逆止閥、過濾器與配件。ECM Components 亦設計 gas panels，並提供 Kemstream Direct Liquid Injection vaporizers，適用於 CVD、MOCVD、PECVD、ALD、PEALD、ALE 及其他氣相製程。Kemstream Vapbox DLI vaporizers 可在常壓或真空下汽化廣泛的有機與有機金屬前驅物。除半導體製程設備外，ECM Greentech 表示其為 ECM Group 旗下品牌，並將半導體、再生能源與晶體成長活動整合於更廣泛的工業設備業務中。公司強調研發，並表示與法國國家太陽能研究所 CEA-INES 建立特別合作關係，同時持續改善關鍵設備技術領域。
展出產品
ECM Greentech 提供半導體、再生能源與晶體成長領域的整廠方案與設備，包括從晶錠成長到太陽能電池製造的光電設備與整線方案，以及儲能應用設備。其半導體設備範圍包括 Si 與 SiC 晶圓處理系統及 SiC 晶錠成長設備，藍寶石、矽與碳化矽的晶體成長設備則被列為核心業務供應項目。再生能源產品組合包括 PV 生產設備，以及 PV1300、PV600、PV80、PV20、SOLARLAB、TUBESTAR PV 與 CrystalMax 等平台。ECM Greentech 列出的晶體成長設備系列包括 CZOCHRALSKI PULLER、KYROPOULOS、PVT FURNACE、BRIDGMAN、MIRROR FURNACE 2400、MIRROR FURNACE 3000、LHPG、EFG、TETRA ARC、VERTICAL LPE 與 MPD。半導體晶圓處理爐系列包括 DF SERIES、VAR SERIES、TUBESTAR、MEMSLAB PECVD、VS SERIES、ACTISTAR、OXISTAR 與 CLOSE SPACE SUBLIMATION。具名開發計畫包括 EFFISIENT，這是由 France 2030 支援的矽結晶 Czochralski puller；以及 SEPO 450，這是一款用於大直徑藍寶石晶體成長的高容量爐，與 CNRS、SOMOS、ALTIMET、Université de Lyon 共同開發並獲 France 2030 支援。PV ENLIGHT 是與 CEA-INES 及 CARBON 合作、以 TOPCon 太陽能電池技術達成 25% 效率為目標的設備與製程開發；EPOBOC 則是與 Fraunhofer 合作、用於 Perovskite/Silicon tandem devices 的 Poly-Si passivating-contact bottom cell。計畫清單亦包括用於 SiC 晶體成長的 PVT furnace 開發，以及 FASTLANE；FASTLANE 被列為 SiC 晶圓處理歐洲徵案的得獎計畫，合作方包括 CEA、IBS、SOITEC 等。大型專案方面，ECM Greentech 表示其專案管理能力可運用於最高達 GW 規模的光電生產線，範圍從矽純化延伸至 PV 系統，並包括技術移轉與訓練。整廠工程、晶圓處理系統、SiC 晶錠成長、晶體成長爐、半導體製程爐及專案型研發計畫的組合，使其設備範圍橫跨實驗室開發、工業生產與完整生產線建置。
能力與產品項目
- 常壓與減壓製程爐
- 晶圓傳送自動化與軟體控制
- 擴散製程設備
- 氧化製程設備
- LPCVD製程設備
- PECVD製程設備
- MINILAB製程開發與驗證平台
- 薄與超薄晶圓靜電吸盤
- 晶圓加熱基座
- 晶圓搬運零組件原裝與改裝供應
- Si與SiC晶圓處理系統
- SiC晶錠成長設備
- 藍寶石晶體成長設備
- 矽晶體成長設備
- SiC晶體成長設備
- 光電晶錠至太陽能電池整線