基本情報
| ブース | R8118 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.thinklaserusa.com |
会社概要
DYT Taiwan Pte., Ltd.は台湾登記企業で、事業分野は機械・設備製造、コンピュータ・周辺機器製造、電子部品製造、精密機器卸売、電子材料卸売、国際貿易、修理を含みます。これらの登録事業は、産業および電子製造サプライチェーン向けの機械、電子、精密機器の供給にまたがります。取扱いにはThinkLaserのウェハマーキングレーザーソリューション、米国製の完全自動soft/deep wafer-marking system、debris-free laser wafer markingが含まれます。
展示製品
SC300は独自のSuperSoftMark® technologyと特許diode-pumped laserを用い、300 mmウェハの識別・トレーサビリティ向けdebris-free soft markingを提供し、Class 1 cleanroom compatibilityにより高量産へ対応します。高性能レーザー、システムレベルclosed-loop control、自動data loggingを組み合わせ、レーザー性能データをmark qualityのSPCレベルまで正確に記録します。WaferMark® systemsはSEMIウェハマーキング規格T7、M12、M13に準拠し、SC300はウェハ外周25 mm帯域内の任意方向に複数mark groupsを配置できます。Marking Modeは直線または円弧のDot Matrix Softmarkで、SuperSoftMark® Processは5 mm範囲で0.02 particles/cm、0.17 particle size、dot diameter 50-70 μm +/- 10%、dot roundnessはmajor-to-minor axis ratio <1.1、dot depthは2.4 μm +/- 0.4 μmです。Throughputはsingle pulse、5x9 dot matrix、12 charactersで125-180 wph、edge handling optionは同条件で70-110 wph、対象材料はpolished、non-coated、pure Si wafersです。Utility requirementsは200-240 VAC、single phase、50/60 Hz、23 FLA、process vacuum 20 Hgから25 Hgと3/8 in press-lock connection、mark point exhaust最大20 CFM（560 I/min）と2 in（50.8 mm）port、static charge最大197 V/cm（550 V/in）、air-cooled operation 12.8から27 °C（55-80 °F）です。寸法は78 in x 64.6 in x 47.4 in [HxWxD]、1981.2 mm x 1641 mm x 1204 mmで、EFEM重量1480 lb（671 kg）、mark enclosure重量1145 lbs（519 kg）です。標準マーキングフォント・機能には9x17 Single-Density Dot Matrix、10x18 Double Density Dot Matrix、5x9 SEMI Single Density Dot Matrix、T1 SEMI Specs BC-412 Bar Code、T7 2D Data Matrix、user-selectable checksum、custom fontsがあります。1 groupあたり最大80 char、ウェハ位置合わせ後のmark fieldは50x50 mm、mark locationは外周25 mm帯域内、primary fiducialに対するX・Y repeatabilityは+/- 75 μm、character formationはSEMI M12/M13です。stainless-steel enclosureはISO Class 5 clean roomおよびISO Class 2 mini-environmentに対応し、wafer handlingは300 mm、optional 200 mm bridge capability、optical high-resolution wafer aligner、single end effector付きpick-and-place robot arm、two 300 mm cassette portsを備えます。PC configurationはIntel-Core CPU、Windows 10 32/64 Bit、DDR3 ECC Memory、PCI、PCIe x1、PCIe x16 slots、10/100/1000 T LAN Ports、USB 3.0、USB 2.0 Ports、adapter plates付きRS232 ports、Intel 2.5 in Solid State Drives、2-Drawer drive carrier for 2.5 in drives、DVD/DL Driveです。レーザーはacousto-optic Q-switched TEM00Nd: YLF diode-pumped type、1053 nm、pulse stability <0.5% at 1 khz、flat-field focusing lens、spot size 50 μm・60 μm・70 μm、depth 2.4 μmから5.0 μmです。制御はkeyboard and flat-panel display、menu-driven software、multiple job-file storage、fault and error logging、front panelとelectronic consoleのsystem diagnostic indicators、SECS II/GEM interface、four-color programmable signal towerを備え、認証はCE MarkとSEMI S2、S8、S14です。
対応領域・製品
- 全自動・デブリフリーのウェハソフト／ディープレーザーマーキングシステム供給（ThinkLaser）