基本資料
| 攤位 | R8118 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.thinklaserusa.com |
公司簡介
DYT Taiwan Pte., Ltd. 是台灣登記公司，營業項目涵蓋機械設備製造、電腦及周邊設備製造、電子零組件製造、精密儀器批發、電子材料批發、國際貿易與維修。這些登記業務涵蓋工業與電子製造供應鏈中的機械、電子與精密儀器供應。其供應項目包括 ThinkLaser 晶圓標記雷射解決方案、美國製全自動軟式與深度晶圓標記系統，以及無碎屑雷射晶圓標記。
展出產品
SC300 使用專有 SuperSoftMark® technology 與專利 diode-pumped laser，針對 300 mm 晶圓提供用於識別與追溯的無碎屑 soft marking，並具 Class 1 無塵室相容性，可用於高產量生產。系統結合高效能雷射、系統層級 closed-loop control 與自動資料記錄，所有雷射效能資料可精確記錄至 mark quality 的 SPC 等級。WaferMark® systems 符合 SEMI 晶圓標記標準 T7、M12 與 M13，SC300 可在晶圓圓周 25 mm 範圍內，以任意方向放置多組標記。標記模式為 Dot Matrix Softmark，可採直線或弧形；SuperSoftMark® Process 列為 0.02 particles/cm、0.17 particle size，量測範圍為 5 mm，dot diameter 為 50-70 μm +/- 10%，dot roundness 為 major-to-minor axis ratio <1.1，dot depth 為 2.4 μm +/- 0.4 μm。吞吐量為 125-180 wph，條件是 single pulse、5x9 dot matrix、12 characters；選配 edge handling 的吞吐量為 70-110 wph，採相同標記格式，材料為 polished、non-coated、pure Si wafers。公用需求包括 200-240 VAC、single phase、50/60 Hz、23 FLA，process vacuum 為 20 Hg 至 25 Hg 並採 3/8 in press-lock connection，mark point exhaust 最大 20 CFM（560 I/min）並採 2 in（50.8 mm）port，static charge 最大 197 V/cm（550 V/in），air-cooled system 溫度為 12.8 至 27 °C（55-80 °F）。系統尺寸為 78 in x 64.6 in x 47.4 in [HxWxD]，即 1981.2 mm x 1641 mm x 1204 mm；EFEM 重量為 1480 lb（671 kg），mark enclosure 重量為 1145 lbs（519 kg）。標準標記字型與功能包括 9x17 Single-Density Dot Matrix、10x18 Double Density Dot Matrix、5x9 SEMI Single Density Dot Matrix、T1 SEMI Specs BC-412 Bar Code、T7 2D Data Matrix、使用者可選 checksum，以及 custom fonts。標記容量為每組最多 80 char，晶圓對位後 mark field 為 50x50 mm，mark location 位於晶圓圓周 25 mm 範圍內，相對 primary fiducial 的 X 與 Y repeatability 為 +/- 75 μm，character formation 為 SEMI M12/M13。不鏽鋼 enclosure 相容 ISO Class 5 clean room 與 ISO Class 2 mini-environment；wafer handling 支援 300 mm 晶圓並可選 200 mm bridge capability，採 optical high-resolution wafer aligner、single end effector 的 pick-and-place robot arm，以及兩個 300 mm cassette ports。PC configuration 列有 Intel-Core CPU、Windows 10 32/64 Bit、DDR3 ECC Memory、PCI、PCIe x1、PCIe x16 slots、10/100/1000 T LAN Ports、USB 3.0、USB 2.0 Ports、含 adapter plates 的 RS232 ports、Intel 2.5 in Solid State Drives、2-Drawer drive carrier for 2.5 in drives，以及 DVD/DL Drive。雷射為 acousto-optic Q-switched TEM00Nd: YLF diode-pumped type，波長 1053 nm，pulse stability <0.5% at 1 khz，採 flat-field focusing lens，spot size 可為 50 μm、60 μm 或 70 μm，depth 為 2.4 μm 至 5.0 μm。控制項目包括 keyboard and flat-panel display、menu-driven software、multiple job-file storage、fault and error logging、前面板與電子控制台的 system diagnostic indicators、SECS II/GEM interface，以及 four-color programmable signal tower；認證列有 CE Mark 與 SEMI S2、S8、S14。
能力與產品項目
- 全自動無碎屑晶圓軟／深雷射標記系統供應（ThinkLaser）