기본 정보
| 부스 | H0011 |
| 국가 | US |
| 웹사이트 | www.dsfibertech.com |
회사 소개
DS Fibertech Corporation은 웨이퍼 제조용 Diffusion Furnace Chambers를 설계하고 제조합니다. Standard-gauge furnace chambers의 온도 범위는 400 degC에서 1350 degC입니다. Low Mass/Fast Ramp Chambers는 200 degC에서 1250 degC 범위를 제공하며 Specialty chambers는 1750 degC까지 제공됩니다. Kokusai, ASM, Aviza, SVG Thermco 장비용 Direct Replacement Horizontal and Vertical heaters를 공급해 수평 및 수직 구성을 모두 지원합니다. 관련 부품에는 Torch elements, Vestibule Blocks, Soft Collars가 포함됩니다. 일부 vertical elements에는 refurbishment service도 제공하며 교체보다 비용을 낮춘 서비스 옵션으로 제시합니다. DS Fibertech Corporation은 semiconductor diffusion heaters와 custom high-temperature furnace chambers를 제조합니다. Diffusion Furnace Chambers는 wafer fabrication 용도로 명시되어 있으며 customer service와 competitive lead times도 고객 요구 지원 요소로 제시됩니다.
전시 제품
제조 범위에는 용도별 custom heater elements가 포함됩니다. DS Fibertech Corporation은 high-temperature와 low-temperature furnace chambers를 모두 제조합니다. Semiconductor diffusion heaters는 반도체 diffusion furnace 응용을 직접 지원하는 핵심 제품군입니다. ceramic vacuum-formed heaters와 insulation shapes도 제조합니다. 추가 제품에는 SOFC test heaters와 laboratory furnaces가 있어 시험 및 실험실 가열 요구를 지원합니다. diffusion furnace heater 제품 정보에서도 custom heater elements, 고온 및 저온 furnace chambers, semiconductor diffusion heaters, ceramic vacuum-formed heaters and insulation shapes, SOFC test heaters, laboratory furnaces가 동일하게 제시됩니다. wafer fabrication furnace system에서는 standard-gauge, Low Mass/Fast Ramp, specialty chamber 온도 범위와 replacement heaters 및 일부 vertical-element refurbishment를 함께 제공합니다. Custom high-temperature furnace chambers와 semiconductor diffusion heaters는 인증된 제조 활동으로 함께 제시되며 customer service와 lead-time support가 제품 공급을 지원합니다. 전체 제조 범위는 furnace chambers, heating elements, insulation shapes, diffusion heaters, replacement heaters, furnace accessories, refurbishment, SOFC testing, laboratory furnace 응용을 포함합니다.
역량 및 제품
- 웨이퍼 제조용 확산로 챔버 설계·제조
- 400 degC~1350 degC 표준 로 챔버
- 200 degC~1250 degC Low Mass/Fast Ramp 챔버
- 최대 1750 degC 특수 로 챔버
- Kokusai/ASM/Aviza/SVG Thermco 교체 히터
- Torch Elements
- Vestibule Blocks
- Soft Collars
- 수직 히터 엘리먼트 리퍼비시
- 맞춤형 히터 엘리먼트
- 세라믹 진공 성형 히터
- 세라믹 진공 성형 단열재
- SOFC 테스트 히터
- 실험실 로