기본 정보
| 부스 | H0011 |
| 국가 | US |
| 웹사이트 | www.dsfibertech.com |
회사 소개
당사는 웨이퍼 제조용 확산로 챔버의 설계 및 제조 분야에서 인정받는 선도 기업입니다. 표준 게이지 챔버는 400 degC - 1350 degC이며, Low Mass/Fast Ramp Chambers의 온도 범위는 200 degC - 1250 degC이고, 1750 degC까지의 특수 챔버도 제공합니다. 또한 / Kokusai / ASM / Aviza / SVG Thermco용 직접 교체형 수평 및 수직 히터와 Torch 엘리먼트, Vestibule Blocks, Soft Collars를 제공합니다. 일부 수직 엘리먼트에 대해서는 비용을 크게 절감할 수 있는 리퍼비시 서비스도 제공합니다.
전시 제품
DS Fibertech Corporation은 ISO 9001:2015 인증을 받은 반도체 확산 히터 및 맞춤형 고온 퍼니스 챔버 제조업체입니다. 당사는 맞춤형 히터 엘리먼트, 고온 및 저온 퍼니스 챔버, 반도체 확산 히터, 세라믹 진공 성형 히터 및 단열 형상재, SOFC 테스트 히터, 실험실용 퍼니스를 제조하는 업계 선도 기업입니다. DS Fibertech Corporation은 고객 요구를 지원하기 위해 우수한 고객 서비스와 경쟁력 있는 리드타임을 제공합니다.
역량 및 제품
- 웨이퍼 확산로 챔버 설계·제조
- 200–1250°C 저열질량 급속 승온 퍼니스 챔버
- 1750°C 특수 고온 퍼니스 챔버
- Kokusai／ASM／Aviza／SVG Thermco 교체용 히터
- 수직 가열 소자 리퍼비시
- 맞춤형 가열 소자
- 반도체 확산 히터
- 세라믹 진공 성형 히터 및 절연 이형품
- SOFC 테스트 히터 및 실험실용 퍼니스