基本情報
| ブース | H0011 |
| 国 | US |
| 製品カテゴリ | Heating; Annealing; Curing Equipment - Furnaces; Conveyors; Ovens; Test Chambers; Heat Treating · Repair; Rework Equipment · Crystal Growing & Machining Equipment · Deposition; Chemical Vapor (CVD); MOCVD; PECVD; LPCVD; ALD; REALD; MVD · Deposition; Physical Vapor (PVD); Sputtering; Evaporation Equipment · Thermal Processing - Diffusion; Oxidation; Annealing; RTA; RTP Equipment · Heating elements; coils; insulation; vestibule blocks and other Furnace components |
| ウェブサイト | www.dsfibertech.com |
会社概要
当社は、ウェハ製造用の拡散炉チャンバー（Diffusion Furnace Chamber）の設計・製造で定評のあるリーダーです。標準仕様のチャンバーは 400℃～1350℃、低熱容量／急速昇温チャンバーは 200℃～1250℃の温度範囲に対応し、1750℃まで対応する特殊チャンバーもご用意しています。また、Kokusai／ASM／Aviza／SVG Thermco 向けの水平・垂直ヒーターの直接交換品のほか、トーチ素子、ベスティビュールブロック、ソフトカラーも提供しています。さらに、一部の垂直素子については、大幅に低減したコストで再生（リファービッシュ）サービスも提供できます。
展示製品
DS Fibertech Corporationは、ISO 9001:2015認証を取得した、半導体拡散ヒーターおよびカスタム高温炉チャンバーのメーカーです。 当社は、カスタムヒーターエレメント、高温・低温炉チャンバー、半導体拡散ヒーター、セラミック真空成形ヒーターおよび断熱形状品、SOFC試験用ヒーター、実験用炉の業界をリードするメーカーです。DS Fibertech Corporationは、お客様のニーズをサポートするため、優れたカスタマーサービスと競争力のあるリードタイムを提供いたします。
対応領域・製品
- 1750 degC までの特殊炉チャンバー
- 200 degC から 1250 degC の Low Mass/Fast Ramp Chambers
- 400 degC から 1350 degC の標準ゲージ炉チャンバー
- Kokusai、ASM、Aviza、SVG Thermco 向け交換ヒーター
- ウェハ製造向け拡散炉チャンバー
- セラミック真空成形ヒーターおよび断熱成形品
- トーチエレメント、vestibule blocks、soft collars
- 半導体拡散ヒーター
- 横型および縦型ヒーターの直接交換品
- 縦型エレメントリファービッシュ