基本情報
| ブース | H0011 |
| 国 | US |
| ウェブサイト | www.dsfibertech.com |
会社概要
DS Fibertech Corporationは、ウェハ製造向けDiffusion Furnace Chambersを設計・製造しています。Standard-gauge furnace chambersの温度範囲は400 degCから1350 degCです。Low Mass/Fast Ramp Chambersは200 degCから1250 degCで、Specialty chambersは1750 degCまで対応します。Kokusai、ASM、Aviza、SVG Thermco装置向けにDirect Replacement Horizontal and Vertical heatersを提供し、水平・垂直の両構成をカバーします。関連部品にはTorch elements、Vestibule Blocks、Soft Collarsがあります。一部のvertical elementsについてはrefurbishment serviceも提供し、交換より低コストのサービス選択肢として位置付けています。DS Fibertech Corporationはsemiconductor diffusion heatersとcustom high-temperature furnace chambersを製造します。Diffusion Furnace Chambersは明確にwafer fabrication用途であり、customer serviceとcompetitive lead timesも顧客ニーズを支える要素として示されています。
展示製品
製造品目には、用途に合わせて設計するcustom heater elementsがあります。DS Fibertech Corporationはhigh-temperatureとlow-temperatureの両方のfurnace chambersを製造します。Semiconductor diffusion heatersは主要製品で、半導体のdiffusion furnace用途を直接支えます。さらにceramic vacuum-formed heatersとinsulation shapesを製造します。その他にSOFC test heatersとlaboratory furnacesがあり、試験および実験室の加熱用途に対応します。diffusion furnace heaterの製品情報でも、custom heater elements、高低温furnace chambers、semiconductor diffusion heaters、ceramic vacuum-formed heaters and insulation shapes、SOFC test heaters、laboratory furnacesが繰り返し掲載されています。wafer fabrication用furnace systemでは、standard-gauge、Low Mass/Fast Ramp、specialtyの各chamber温度範囲に、replacement heatersと一部vertical-element refurbishmentを組み合わせます。Custom high-temperature furnace chambersとsemiconductor diffusion heatersは同社の製造範囲に含まれ、customer serviceとlead-time supportも製品供給に付随します。これにより、furnace chambers、heating elements、insulation shapes、diffusion heaters、replacement heaters、furnace accessories、refurbishment、SOFC testing、laboratory furnace用途を一つの製造範囲でカバーします。
対応領域・製品
- ウェハ製造用拡散炉チャンバーの設計・製造
- 400 degC～1350 degC標準炉チャンバー
- 200 degC～1250 degC Low Mass/Fast Rampチャンバー
- 最高1750 degC特殊炉チャンバー
- Kokusai／ASM／Aviza／SVG Thermco向け交換ヒーター
- Torch Elements
- Vestibule Blocks
- Soft Collars
- 垂直ヒーターエレメント再生
- カスタムヒーターエレメント
- セラミック真空成形ヒーター
- セラミック真空成形断熱材
- SOFC試験ヒーター
- 実験炉