基本資料
| 攤位 | H0011 |
| 國別 | US |
| 產品分類 | Heating; Annealing; Curing Equipment - Furnaces; Conveyors; Ovens; Test Chambers; Heat Treating · Repair; Rework Equipment · Crystal Growing & Machining Equipment · Deposition; Chemical Vapor (CVD); MOCVD; PECVD; LPCVD; ALD; REALD; MVD · Deposition; Physical Vapor (PVD); Sputtering; Evaporation Equipment · Thermal Processing - Diffusion; Oxidation; Annealing; RTA; RTP Equipment · Heating elements; coils; insulation; vestibule blocks and other Furnace components |
| 網站 | www.dsfibertech.com |
公司簡介
我們是晶圓製造用擴散爐腔體（Diffusion Furnace Chamber）設計與製造領域公認的領導者。我們提供標準規格腔體，溫度範圍從 400°C 至 1350°C；低熱質量／快速升溫腔體溫度範圍為 200°C 至 1250°C，並有可達 1750°C 的特殊腔體。我們亦提供 Kokusai／ASM／Aviza／SVG Thermco 等廠牌水平與垂直加熱器的直接替換品，以及火炬元件（Torch elements）、前室塊（Vestibule Blocks）與軟領（Soft Collars）。此外，我們也能以大幅降低的成本，對部分垂直加熱元件提供翻修服務。
展出產品
DS Fibertech Corporation 是一家通過 ISO 9001:2015 認證的半導體擴散加熱器及客製化高溫爐腔製造商。 我們是業界領先的客製化加熱元件、高低溫爐腔、半導體擴散加熱器、陶瓷真空成型加熱器與絕緣異型件、SOFC 測試加熱器及實驗室用爐製造商。DS Fibertech Corporation 提供卓越的客戶服務與具競爭力的交期，以支援客戶需求。
能力與產品項目
- 200 degC 至 1250 degC Low Mass/Fast Ramp Chambers
- 400 degC 至 1350 degC 標準規格爐腔
- Kokusai、ASM、Aviza 與 SVG Thermco 用替換加熱器
- 半導體擴散加熱器
- 垂直元件翻修
- 晶圓製造用擴散爐腔體
- 最高 1750 degC 特殊爐腔
- 水平與垂直爐加熱器直接替換件
- 火炬元件、vestibule blocks 與 soft collars
- 陶瓷真空成型加熱器與絕緣成型件