基本資料
| 攤位 | H0011 |
| 國別 | US |
| 網站 | www.dsfibertech.com |
公司簡介
DS Fibertech Corporation 設計並製造晶圓製造用 Diffusion Furnace Chambers。Standard-gauge furnace chambers 的溫度範圍為 400 degC 至 1350 degC。Low Mass/Fast Ramp Chambers 的溫度範圍為 200 degC 至 1250 degC，Specialty chambers 則可達 1750 degC。公司提供 Kokusai、ASM、Aviza 與 SVG Thermco 設備用 Direct Replacement Horizontal and Vertical heaters，涵蓋水平與垂直配置。相關爐體零件包括 Torch elements、Vestibule Blocks 與 Soft Collars。針對部分 vertical elements，公司亦提供 refurbishment service，並將其定位為較低成本的服務選項。DS Fibertech Corporation 製造 semiconductor diffusion heaters 與 custom high-temperature furnace chambers。Diffusion Furnace Chambers 明確用於 wafer fabrication，而 customer service 與 competitive lead times 也被列為支援客戶需求的方式。
展出產品
製造範圍包括 custom heater elements，供需要客製化加熱元件的應用使用。DS Fibertech Corporation 同時製造 high-temperature 與 low-temperature furnace chambers。Semiconductor diffusion heaters 是核心產品線，可直接支援半導體 diffusion furnace 應用。公司也製造 ceramic vacuum-formed heaters 與 insulation shapes。其他產品包括 SOFC test heaters 與 laboratory furnaces，可用於測試及實驗室加熱需求。公司 diffusion furnace heater 產品資訊再次列出 custom heater elements、高低溫 furnace chambers、semiconductor diffusion heaters、ceramic vacuum-formed heaters and insulation shapes、SOFC test heaters 及 laboratory furnaces。對 wafer fabrication furnace system 而言，chamber 產品涵蓋 standard-gauge、Low Mass/Fast Ramp 與 specialty 溫度範圍，並搭配 replacement heaters 與部分 vertical-element refurbishment。Custom high-temperature furnace chambers 與 semiconductor diffusion heaters 亦同時列在公司的製造範圍，並以 customer service 與 lead-time support 配合供應。整體範圍因此涵蓋 furnace chambers、heating elements、insulation shapes、diffusion heaters、replacement heaters、furnace accessories、refurbishment、SOFC testing 與 laboratory furnace 應用。
能力與產品項目
- 晶圓製造擴散爐腔體設計製造
- 400 degC–1350 degC標準爐腔
- 200 degC–1250 degC快速升溫爐腔
- 最高1750 degC特殊爐腔
- Kokusai／ASM／Aviza／SVG Thermco替換加熱器
- Torch Elements
- Vestibule Blocks
- Soft Collars
- 垂直加熱元件翻修
- 客製加熱元件
- 陶瓷真空成型加熱器
- 陶瓷真空成型隔熱件
- SOFC測試加熱器
- 實驗室爐