基本情報
| ブース | M0748 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.disco.co.jp |
会社概要
Disco HI-TEC Taiwan Co., Ltd.は、先進的なKiru、Kezuru、Migaku、すなわちダイシング、研削、研磨技術を専門とし、これらの技術を通じて生活により大きな利便性、快適性、楽しさ、安全性をもたらすことを掲げています。半導体、電子部品、光学デバイス、微小電気機械システム（MEMS）に対応し、高集積化と高性能化に伴うより高精度な切断、研削、研磨の需要に応えます。対象材料にはシリコン、ガラス、セラミックス、その他これらの製品に使われる材料が含まれます。DISCOは材料、要求精度、加工難易度を問わず、より高度なKiru、Kezuru、Migakuソリューションを開発しています。
展示製品
DWR1722はダイシングソー用Deionized Water Recycling Unitで、純水製造、水温調節、ろ過、切削屑などの浮遊物除去を一体化し、小型高性能CC Filterで設置面積を削減します。従来の純水循環装置と比べて循環率99.5%と切削水排水ゼロを実現し、水道水使用量を大幅に削減し、室温変化の小さいクリーンルームに設置することで水温変動を抑え、補給水量が少ないため水温調整用電力も削減します。保有するダイシングソーの台数に応じて導入でき、ソーの隣に設置できるため、従来の純水供給・廃水回収配管工事が不要で、RO Unitなどをオプション化して標準仕様を簡素化し、必要な機能を選択できます。DWR1722は単軸ダイシングソー4台または2軸ダイシングソー2台に対応し、恒温水供給にはChiller Unit用の冷却水が別途必要で、標準は純水供給、水道水を使用する場合は追加オプションが必要です。乾燥重量460kgで、洪水前に安全な場所へ移動し、水道水供給回復後に純水製造へ戻せる設計により、BCMと生産ラインの迅速な復旧を支援します。CC Filterやイオン交換樹脂の交換にはワンタッチ式クイックコネクタを使用して保守時間を短縮し、使い捨てCC Filterは高いろ過性能と長寿命を両立し、捕集した浮遊物をフィルターごと廃棄できます。オプションの通信機能によりDWR1722をダイシングソーと連動させ、作業者負担と人為ミスを減らせます。切削水仕様は処理後比抵抗12 MΩ・cm以上、供水能力25 L/min、供給水は水道水または純水、TOC低減用UV酸化装置内蔵、処理後0.2μm以上粒子100個/mL以下、温度設定範囲20～25℃です。主軸冷却水は送水能力10 L/min、冷却能力900 W、温度設定範囲20～25℃で、装置寸法は449 × 1,402 × 1,656 mm、乾燥重量は460 kgです。
対応領域・製品
- 半導体精密ダイシング
- 半導体精密研削
- 半導体精密研磨
- ダイシングソー用純水循環設備