기본 정보
| 부스 | S7646 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.deantech.com.tw |
회사 소개
Dean Tech Co., Ltd는 독일 Bruker가 공식 승인한 대만 총대리점으로, 대만에서 이동형, 탁상형, 바닥 설치형 재료 분석 장비, 개방형 미세영역 스캐닝 분광기 및 관련 분석 시스템의 판매, 기술 적용, 애프터서비스를 담당합니다. 또한 유럽, 미국, 일본의 10개 이상 브랜드 장비, 반도체 장비 부품 및 공정 솔루션을 취급하여 여러 장비와 부품 범주를 하나의 기술 지원 체계에서 제공합니다. 반도체 소재와 장비 부품 분야에서는 미세 오염 분석 경험을 바탕으로 검사 방법, 분석 흐름, 측정 파라미터 및 품질 관리 기준 구축을 지원합니다. 주요 반도체 제조사의 적격 공급업체 및 분석·검사 방법 구축 실적도 보유해 공정 안정성과 수율 향상을 지원합니다. 공정 개선 범위는 WET Clean, CMP, 웨이퍼 세정, 화학기계연마, 첨단 패키징, 세정, 화학 연마, 다이싱 및 수율 향상까지 전공정과 후공정을 아우르며 첨단 공정과 성숙 공정을 모두 포함합니다. 반도체 장비용 맞춤형 부품의 설계, 제조, 최적화 및 검증도 고객 요구에 맞춰 제공합니다. 유체 엔지니어링 서비스는 유체 개선, 유동장 해석(CFD), 혼합 효율 최적화, 유로 설계, 유체 시뮬레이션을 포함하며 반도체, 화학 및 정밀 제조 산업에 적용됩니다. 유체역학 해석과 맞춤 설계를 통해 유동 균일도를 개선하고 압력 강하를 줄이며 혼합 효율을 높이고 특수 응용용 유체 부품과 솔루션을 개발합니다. 스마트 제조와 인공지능 분야에서는 AI 비전 인식, 모델 학습, 데이터 분석, 자동 검사 및 SEMIBro 뉴로모픽 컴퓨팅 서비스를 제공합니다. AI는 소재 분석, 품질 관리 및 반도체 공정 최적화에 적용되어 스마트 분석 흐름과 자동화 수준 향상을 지원합니다. 소재 및 원소 분석 범위는 표면 잔류 오염, 유기·무기 소재, 미세 오염, Failure Analysis, 소재 특성 연구 및 공정 개선을 포함합니다. Bruker의 박사급 전문가 팀과 원제조사 인증 또는 승인을 받은 기술 인력이 기술 컨설팅, 교육 훈련, 응용 개발, 소재·공정 분석 및 애프터서비스를 지원합니다. 회사는 Innovation, Quality, Professionalism을 운영 원칙으로 제시하고 분석 기술, 반도체 공정 경험, 유체 엔지니어링 설계 및 AI 응용을 결합합니다. 파트너 theta tech co., ltd.는 비파괴 XRF 분석, FTIR, NIR, Raman 분광 기반 재질 식별, X선 영상 처리, 화학 분석 및 유해물질 분석을 취급하며 연구개발, 공정, 품질보증 단계에 분석 장비 솔루션을 제공합니다. Dean Tech Co., Ltd는 일본 SIO Co., Ltd.의 전 세계 유일 주주라고 밝힙니다.
전시 제품
명시된 제품과 시스템에는 SEMIBro, Bruker 차세대 Titan, SIO MIXER 나노버블 발생 장치, Bruker TRACER 5g, Bruker M4 Tornado PLUS, Bruker M6 Jetstream이 포함됩니다. 분석 장비 범위는 XRD, WDXRF, Portable XRF, HHXRF, 고미술·예술·고고학·복원 분석 장비, Micro XRF, TXRF, FTIR, FTIR Microscope, Raman Microscope와 Airborne Systems, Laboratory Systems, Field, UAV, Industrial Applications용 하이퍼스펙트럴 시스템까지 포함합니다. 회화·종이·직물 복원 장비, Extract-All, FLUXANA VANEOX 펠릿 프레스와 공구·소모품, VITRIOX 융융 장비, 실험실 소모품 및 표준품도 공급 범위에 있습니다. SIO MIXER는 외부 가스를 주입하지 않고 설치할 수 있는 나노버블 발생 장치로, 액체 특성 변경, 공정 개선 및 비용 절감을 목적으로 합니다. SIO의 유체역학 know-how와 유체 최적화·나노버블 관련 특허 설계를 이용하며 여러 등급의 강재, PTFE, PFA 및 엔지니어링 플라스틱 재질을 지원합니다. 고객 장비 recipe에 맞춰 내부 구조를 최적화해 원래 유량과 압력 설정의 호환성을 유지하면서 필요한 버블 농도를 맞출 수 있고 전용 노즐도 개발할 수 있습니다. 500 LPM 초과 특수 사양, 1~120 bar 수압 범위, 화학약품·산·알칼리 액체용 PTFE 및 PFA 구성이 제시됩니다. 입자 크기는 공정 요구에 따라 제어되며 최소 1 nm까지 제어 가능하다고 설명하고 평균 입자 크기 범위도 용도에 맞춰 최적화합니다. Malvern NanoSight Pro와 Zetasizer를 사용하고 수천 건의 분석 데이터를 축적해 비교와 설치 위치 농도 검증을 수행합니다. NTA 세대 차이로 농도 데이터가 3~4배 달라질 수 있어 최신 NanoSight Pro를 농도 평가 기준으로 권고합니다. 차세대 모델의 버블 농도는 25억을 넘을 수 있으며 구형 NTA에서는 기기 간 기준 차이 때문에 70~100억으로 환산될 수 있다고 설명합니다. 반도체 세정에서는 나노버블 생성 조건 조정과 분석 장비를 이용한 미세영역 오염 개선 평가를 결합하고, 나노버블과 마이크로버블의 특성을 함께 사용하는 복합 발생 방식도 제공합니다. 분석 응용 사례로 2018년 Girl in the Spotlight 프로젝트의 Johannes Vermeer 《진주 귀걸이를 한 소녀》 피부색 연구가 있으며 MA-XRF, RIS, 3D 디지털 현미경과 도료 단면 분석을 결합했습니다. 연구는 빛과 그림자로 얼굴을 구축하고 최종 도료층을 거의 이음새 없이 혼합한 방식, 배경과 피부 사이의 간격, 육안으로 잘 보이지 않는 속눈썹 등을 설명합니다. 단면 분석에서는 서로 다른 hydrocerussite와 cerussite 비율 및 입자 크기를 가진 연백, 납 비누, red lake와 관련된 K2Pb(SO4)2가 확인됩니다. Vermeer가 약 1665년에 부드러운 피부색 표현을 발전시켰고 이 표현 방식이 작품을 약 1665년으로 연대 추정하는 근거 가운데 하나라고 설명합니다. Bruker M6 Jetstream으로 두 영역을 총 25시간 측정한 뒤 240x24mm 띠 영역을 19시간, 50kV, 600μA, 400μm 스텝, 125ms 체류 시간으로 스캔했고 얼굴 상세 스캔에는 100μm 스텝과 200ms 체류 시간을 사용했습니다. Bruker 소프트웨어로 데이터를 수집하고 PyMca와 Datamuncher로 처리·결합하여 원소 분포 지도를 만들었으며 MA-XRF는 표층과 하층의 원소를, RIS는 안료의 분자 정보를 분석했습니다. 하이라이트와 그림자 영역 시료를 단면 분석해 층 상태와 두께, 추정 안료, 연백, 노화와 열화로 형성된 납 화합물을 조사했습니다. 하도층으로 만든 입체 표현, 오른쪽의 빛과 왼쪽의 그림자, 볼의 미세한 전이, 눈과 코 주변의 중간톤, 단계 사이의 건조, 40배 입체현미경에서 보이는 두꺼운 유백색 하도층이 기록되어 있습니다. Pb-L, Fe, Pb-M, Hg-L, Fe-K, K, Ca 매핑은 밝고 어두운 부위의 납 신호, 각 부위의 Fe 신호, 연백과 주사, 토양계 안료 및 유기 레이크 안료 기질과의 관계를 보여줍니다. 가시광에서는 매끄럽게 보이는 명암 전이도 MA-XRF에서는 서로 다른 색 영역으로 구분되어 초기 단계부터 체계적으로 구성되었음을 나타냅니다. 최종층은 밝은 부위에서 더 두껍고 중간톤과 그림자에서는 더 얇아 하도층이 최종 색에 관여하며, 볼은 밝은 색에서 차가운 색조와 그림자의 분홍갈색으로 미세하게 이어집니다. Cu-K를 배경 표지, Hg-L을 얼굴 표지로 사용한 고해상도 MA-XRF 중첩은 배경 도료층과 피부색 도료층이 접촉하지 않고 Fe 지도와 일치하는 뚜렷한 간격을 남긴다는 것을 보여줍니다. 구체적인 응용 주제에는 세대가 다른 NTA의 측정 오차, 반도체 부품의 불소 잔류, 반도체 오염 분석, HHXRF를 이용한 부품 코팅 두께 측정, 초분광 이미징과 광물 식별도 포함됩니다.
역량 및 제품
- Bruker 재료 분석 장비 대만 공식 총대리점
- 반도체 미세 오염 검사 방법 구축
- WET Clean/CMP/웨이퍼 세정 공정 개선
- 맞춤형 반도체 장비 부품 설계·제조·검증
- CFD 유동장 분석 및 유체 시뮬레이션
- AI 비전 인식 및 자동 검사
- 재료 표면 잔류 오염 및 고장 분석
- SIO MIXER 나노버블 발생 장치
- SIO MIXER 1–120 bar 화학약품·산/알칼리액 적용
- 나노버블 입자 크기 최소 1 nm 제어
- NanoSight Pro & Zetasizer 나노버블 농도 검증
- 나노버블·마이크로버블 복합 발생