기본 정보
| 부스 | P5600 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | www.daihen.co.jp/en/products/cleanrobot |
회사 소개
DAIHEN의 반도체 관련 사업에는 플라즈마 응용용 RF 및 마이크로파 전원장치와 반도체 제조장비에 사용되는 클린 물류 이송 로봇이 포함됩니다.
전시 제품
SEMICON Taiwan 2026 페이지에는 특정 부스 모델이 명시되어 있지 않습니다. DAIHEN의 공식 반도체 포트폴리오에는 최대 300 mm 웨이퍼용 진공 및 대기 웨이퍼 이송 로봇과 RF/마이크로파 플라즈마 전원 시스템이 포함됩니다.
역량 및 제품
- 플라즈마용 RF／마이크로파 전원 시스템
- 진공 웨이퍼 이송 로봇
- 최대 300 mm 웨이퍼 이송