기본 정보
| 부스 | P5600 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | www.daihen.co.jp/en/products/cleanrobot |
회사 소개
DAIHEN Corporation은 1919년 12월 1일 설립되었으며 현재 전력 장비, 용접기, 산업용 로봇, 반도체 제조용 RF 발생기, EV 충전 시스템 등의 제조·판매·서비스를 수행하면서 여러 산업 분야에서 사업을 운영합니다. 회사는 오사카 본사와 도쿄 본사를 두고 2024년에 이중 본사 체제로 전환했으며 납입자본은 ¥10,596 million, 2026 회계연도 연결 순매출은 ¥237,735 million, 2026년 3월 기준 연결 직원 수는 4,542명입니다. DAIHEN Corporation은 1919년 Osaka Transformer Co., Ltd.라는 이름으로 설립되어 주상 변압기 전문 생산을 시작했고 1930년 주력 공장을 오사카의 현재 위치로 옮겼으며 1934년 전기 용접기 생산을 시작해 초기부터 전력과 용접 사업 기반을 구축했습니다. 이후 공장과 자회사를 통해 제조 및 조직 기반을 확대했고 1980년 아크 용접 로봇 판매를 시작했으며 1985년 12월 Osaka Transformer Co., Ltd.에서 DAIHEN Corporation으로 사명을 변경하고 Reliability and Creativity 기업 철학을 세웠습니다. 1986년 2월 반도체 제조 장비용 RF 발생기 생산을 시작했고 1987년 11월 Deming Execution Prize를 수상하여 반도체 전원 기술의 이정표와 명시된 품질 관련 수상 경력을 회사 연혁에 추가했습니다. 1989년 반도체 웨이퍼 이송 로봇 생산을 시작했고 1996년 미국에 반도체 제조 관련 장비 판매회사 DAIHEN Advanced Component, Inc.를 설립하여 반도체 장비 활동을 해외 판매 거점으로 확장했습니다. 이후 2002년 한국의 반도체 장비 사업 거점으로 DAIHEN Korea Co., Ltd.를 설립했고 2009년 중국에 평판 디스플레이 이송 로봇의 제조·판매·애프터서비스 회사를 설립했으며 2010년 MECS 웨이퍼 이송 로봇 사업을 인수했습니다. 회사는 2016년 무선 전력 전송 시스템 판매를 시작했고 2019년부터 2024년 사이 독일, 네덜란드, 미국의 로봇 시스템 통합 업체를 인수했으며 2024년에는 독일 용접 장비 제조사도 인수했습니다. 2023년 DAIHEN Corporation은 보고 부문을 Energy Management, Factory Automation, Material Processing으로 변경했고 2024년 도쿄 본사를 추가해 이중 본사 체제로 전환하면서 사업 조직과 경영 구조를 함께 조정했습니다. 반도체 및 평판 디스플레이 제조용으로 DAIHEN Corporation은 RF·마이크로파 전원과 자재 이송 장비의 판매 및 서비스를 제공하여 플라즈마 관련 전원 기술과 제조 장비 주변의 클린 이송 시스템을 결합합니다.
전시 제품
DAIHEN Corporation의 클린 이송 로봇은 먼지가 없는 생산 환경에서 반도체 웨이퍼와 평판 디스플레이를 이송하며 고속·고정밀 동작으로 공장 생산성을 지원합니다. 또한 고주파 전원 라인업은 여러 주파수와 출력 범위를 제공해 반도체 소자 제조의 미세 가공에 사용되는 안정적인 플라즈마를 생성합니다. 클린 이송 포트폴리오에는 웨이퍼 이송 로봇, 웨이퍼 얼라이너, FPD 이송 로봇, 진공 환경용 웨이퍼 이송 로봇, 대기 환경용 웨이퍼 이송 로봇이 포함되며 여러 로봇 제품군이 최대 300 mm 웨이퍼를 지원합니다. ACTRANS UT-VSW3000NS 시리즈는 최대 300 mm 웨이퍼용 더블 핸드 진공 로봇으로 SCARA 암을 장착해 진공 이송 영역의 공간을 절약하고 직사각형 이송 모듈에 대응합니다. UT-VSW3000NS 시리즈는 더블 핸드 장착으로 고속 웨이퍼 교환을 지원하고 직접 구동 모터로 암 동작 진동을 줄이며 암의 스틸 벨트로 궤적 정확도와 위치 정확도를 높입니다. 자기유체 씰 대신 진공 벌크헤드 씰을 사용해 초고진공과 낮은 아웃가스를 가능하게 하여 공간 절약 및 위치 제어 기능에 진공 환경 설계를 더합니다. UT-VSW3001NS와 UT-VSW3002NS는 5축 SCARA, 마찰 그립 방식이며 W2, W1, B축 범위 20~340°, A축 무한 회전, Z축 50 mm 또는 135 mm, 명시된 평가 조건에서 XYZ 반복 정밀도 각 P-P 0.05 mm입니다. 또한 핸드와 웨이퍼 포함 1.0 kg 페이로드, ISO Class 1 청정도, 모델에 따라 약 260 kg 또는 285 kg 질량, 로봇 본체 5-40°C, 암 5-80°C, 20-70% 무결로 습도, 10^-6 Pa까지의 압력 환경이 제시됩니다. ACTRANS UT-VDX3000NS 시리즈는 최대 300 mm 웨이퍼용 단일 암 고정밀 진공 로봇으로 직접 구동 모터가 진동을 줄이고 캔 타입 진공 씰이 초고진공을 지원하며 무한 θ축이 처리량 향상에 기여하고 내장 컨트롤러와 웨이퍼 중심 오정렬 보정 기능을 갖습니다. UT-VDX3000NS는 2축 원통 좌표형으로 X축 850 mm, θ축 무한 회전, X축 사이클 2.0 sec/850 mm, θ축 2.5 sec/180°, XY 반복 정밀도 φ0.02 mm(3σ), 1.0 kg 페이로드, ISO Class 1, 29 kg, 압력 10^-7 Pa까지입니다. ACTRANS UT-VDW3000HS 시리즈는 최대 300 mm 웨이퍼용 고속·저진동 더블 암 진공 로봇으로 진공 내 650 WPH 초고속 이송을 통해 장비 처리량을 높이는 것으로 제시됩니다. UT-VDW3000HS는 직접 구동 모터, 암 스틸 벨트, 웨이퍼 미끄럼 방지용 고마찰 패드, 웨이퍼 중심 오정렬 보정 기능을 사용하며 2 kg 페이로드, ISO Class 1, 160 kg 질량, XYZ 반복 정밀도 각 ±0.1 mm(3σ)를 갖습니다. UTVW-R2800H는 최대 300 mm 웨이퍼와 고온 공정용 고정밀·저진동 더블 암 진공 로봇으로 θ축에 직접 구동 모터를 장착하고 저진동 웨이퍼 이송으로 장비 처리량 향상을 지원하며 중심 오정렬 보정 기능을 포함합니다. 사양은 2.5 kg 페이로드, ISO Class 3(ISO-14644), 85 kg, 대기측 15-40°C, 진공 씰 유닛 15-80°C, 압력 10^-6 Pa까지입니다. ACTRANS UT-VFX3000NM 시리즈는 최대 300 mm 웨이퍼용 단일 암 진공 로봇으로 암 길이와 Z축 유무를 선택할 수 있고 표준형과 롱암형으로 다양한 장비 레이아웃에 대응합니다. UT-VFX3000NM과 UT-VFX3010NM은 X축 510 mm 및 720 mm, 최대 X축 속도 948 mm/sec. 및 1339 mm/sec., θ축 340°, XYZ 반복 정밀도 각 ±0.1 mm, E/E 포함 0.7 kg 페이로드, ISO Class 1, 압력 10^-6 Pa까지입니다. 대기 이송용 ACTRANS UT-AXW3000NS 시리즈는 최대 300 mm 웨이퍼용 수직 다관절 SCARA 암 로봇으로 EFEM 내 이송 공간을 줄이고 진공 척 또는 공압 엣지 클램프를 선택할 수 있으며 넓은 수직·수평 접근 범위로 3~5개 포트를 지원합니다. UT-AXW3000NS와 UT-AXW3001NS는 6축 수직 다관절형으로 X축 550 mm, Y축 2200 mm 또는 2700 mm, Z축 1186 mm 또는 1436 mm, X/Y/Z 최대 1500 mm/sec., XYZ 반복 정밀도 각 ±0.05 mm, 1.0 kg 페이로드, ISO Class 1입니다. ACTRANS UT-AFX/W3000NM 대기 로봇 제품군은 최대 300 mm 웨이퍼용 표준 모델로 전력선 통신 기술과 여러 옵션을 제공하며 UT-AFX3000NM과 UT-AFW3000NM은 3축 및 4축 원통 좌표형, X축 500 mm, Z축 300 mm 또는 450 mm입니다. 사양에는 X축 1000 mm/sec., θ축 200°/sec., Z축 250 mm/sec., XYZ 반복 정밀도 각 ±0.1 mm, E/E 포함 1.0 kg/arm, ISO Class 1, 단상 200-230±10% VAC, 50/60Hz, 5A 전원이 포함됩니다. 더 넓은 클린 로봇 라인업에는 최대 300 mm 웨이퍼용 다관절 ACTRANS UTM-R3700F, 고페이로드 ACTRANS UT-AFX/W4000, 450 WPH 고속 이송 ACTRANS UTW-REH5500, IP64 보호등급 방적형 ACTRANS UTX/W-RF5500RW도 포함됩니다. DAIHEN Corporation은 구매 전 컨설팅부터 구매 후 수리, 점검, 오버홀까지 제공하고 클린 이송 로봇을 취급하는 해외 거점도 운영하여 제품 수명주기 지원과 국제 서비스 구조를 갖춥니다. 플라즈마 응용에서는 오랜 전력전자 전문성과 Fine Plasma Technology를 활용해 RF·마이크로파 전원 발생기와 자동 매칭 유닛을 개발하며 반도체 및 평판 디스플레이 공정에 필요한 반복성, 안정성, 정교한 플라즈마 제어를 지원합니다. AVANCER는 차세대 반도체 제조 공정용 RF 전원 발생기 제품군으로 펄스 RF 출력과 절전 기능을 포함하며 반도체 소자의 미세화와 고기능화 추세에 대응합니다. Fine Plasma 개념은 안정적이고 균일한 플라즈마와 소자 친화적 운전을 중심으로 하며 반복성, 안정성, 고급 제어가 필요한 고밀도 플라즈마 공정을 지원합니다. 사내 플라즈마 평가 챔버는 펄스 출력과 주파수 튜닝 같은 기반 기술 개발, 단독 제품 성능 평가, 실제 플라즈마 조건에서 기능 개선에 사용됩니다. 회사는 다주파 응용을 포함한 전체 RF 전원 시스템도 평가하고 첨단 플라즈마 공정에 대응하는 고주파 시스템을 개발하여 평가 범위를 개별 발생기에서 시스템 수준 플라즈마 운전으로 확대합니다. 고객에게 평가 장비를 공급하기 전에 플라즈마 평가를 수행해 고객 장비에서 필요한 평가 기간을 줄이도록 지원하며, 플라즈마 부하에서 운전 및 신뢰성 검증을 실시해 플라즈마 공정에 최적화된 고주파 회로 설계와 제어 방법 노하우를 축적합니다.
역량 및 제품
- 반도체 RF 전원공급기 판매 및 서비스
- 반도체 마이크로파 전원공급기 판매 및 서비스
- 플라즈마용 RF/MW 발생기 및 자동 매칭 유닛
- 300mm 웨이퍼 진공 이송 로봇
- 300mm 웨이퍼 대기 이송 로봇
- 웨이퍼 얼라이너
- FPD 이송 로봇