基本情報
| ブース | P5600 |
| 国 | JP |
| ウェブサイト | www.daihen.co.jp/en/products/cleanrobot |
会社概要
株式会社ダイヘンは1919年12月1日に設立され、現在は電力機器、溶接機、産業用ロボット、半導体製造用RFジェネレータ、EV充電システムなどの製造、販売、サービスを行い、複数の産業分野で事業を展開しています。同社は大阪本社と東京本社を置き、2024年に二本社制へ移行し、資本金は10,596百万円、2026年度の連結売上高は237,735百万円、2026年3月時点の連結従業員数は4,542人としています。株式会社ダイヘンは1919年にOsaka Transformer Co., Ltd.として設立され、柱上変圧器の専門生産を開始し、1930年に主力工場を大阪の現在地へ移転、1934年に電気溶接機の生産を開始して、早期から電力と溶接の事業基盤を築きました。その後、工場と子会社を通じて製造・組織基盤を拡大し、1980年にアーク溶接ロボットの販売を開始、1985年12月にOsaka Transformer Co., Ltd.から株式会社ダイヘンへ社名変更し、「Reliability and Creativity」の企業理念を制定しました。1986年2月には半導体製造装置用RFジェネレータの生産を開始し、1987年11月にはDeming Execution Prizeを受賞して、半導体電源技術の節目と品質に関する受賞歴を沿革に加えました。1989年には半導体ウエハ搬送ロボットの生産を開始し、1996年には米国に半導体製造関連装置の販売会社DAIHEN Advanced Component, Inc.を設立して、半導体装置事業を海外販売拠点へ広げました。その後、2002年に韓国の半導体装置事業拠点としてDAIHEN Korea Co., Ltd.を設立し、2009年には中国にFPD搬送ロボットの製造・販売・アフターサービス会社を設立、2010年にはMECSのウエハ搬送ロボット事業を取得しました。2016年にはワイヤレス給電システムの販売を開始し、2019年から2024年にかけてドイツ、オランダ、米国のロボットシステムインテグレータを取得し、2024年にはドイツの溶接機器メーカーも取得しました。2023年には報告セグメントをEnergy Management、Factory Automation、Material Processingへ変更し、2024年には東京本社を新設して二本社制へ移行し、事業組織と経営体制の両方を更新しています。半導体およびフラットパネル製造向けには、株式会社ダイヘンはRF・マイクロ波電源とマテリアルハンドリング装置の販売・サービスを提供し、プラズマ関連の電源技術と製造装置周辺のクリーン搬送システムを組み合わせています。
展示製品
株式会社ダイヘンのクリーン搬送ロボットは、塵のない生産環境で半導体ウエハやフラットパネルディスプレイを搬送し、高速・高精度動作によって工場の生産性を支援します。また高周波電源は複数の周波数と出力帯をそろえ、半導体デバイス製造の微細加工で使用する安定したプラズマを発生させます。クリーン搬送製品には、ウエハ搬送ロボット、ウエハアライナ、FPD搬送ロボット、真空環境用ウエハ搬送ロボット、大気環境用ウエハ搬送ロボットが含まれ、複数のロボット群が300 mmまでのウエハに対応します。ACTRANS UT-VSW3000NSシリーズは300 mmまでのウエハ向けダブルハンド真空ロボットで、SCARAアームを搭載し、真空搬送エリアの省スペース化と矩形搬送モジュールへの対応を図っています。UT-VSW3000NSシリーズはダブルハンドによる高速ウエハ交換、アーム動作時の振動を低減するダイレクトドライブモータ、軌跡精度と位置決め精度を高めるアームのスチールベルトを備えます。磁性流体シールの代わりに真空隔壁シールを採用し、超高真空と低アウトガスを可能にして、省スペース性と位置決め性能に真空環境向けの設計を加えています。UT-VSW3001NSとUT-VSW3002NSは5軸SCARA、摩擦把持方式で、W2、W1、B軸は20～340°、A軸はエンドレス、Z軸ストロークは50 mmまたは135 mm、記載された評価条件でXYZ方向の繰返し精度は各P-P 0.05 mmです。さらに、ハンドとウエハを含む1.0 kg可搬、ISO Class 1、機種により約260 kgまたは285 kg、ロボット本体5-40°C、アーム5-80°C、湿度20-70%結露なし、圧力10-6 Paまでの環境条件が示されています。ACTRANS UT-VDX3000NSシリーズは300 mmまでのウエハ向け高精度シングルアーム真空ロボットで、ダイレクトドライブモータによる低振動、缶型真空シールによる超高真空対応、エンドレスθ軸によるスループット向上、内蔵コントローラ、ウエハ中心ずれ補正を備えます。UT-VDX3000NSは2軸円筒座標型で、X軸850 mm、θ軸エンドレス、X軸サイクル2.0 sec/850 mm、θ軸2.5 sec/180°、XY繰返し精度φ0.02 mm（3σ）、可搬1.0 kg、ISO Class 1、質量29 kg、圧力10-7 Paまでとされています。ACTRANS UT-VDW3000HSシリーズは300 mmまでのウエハ向け高速・低振動ダブルアーム真空ロボットで、真空内650 WPHの超高速搬送による装置スループット向上が示されています。UT-VDW3000HSはダイレクトドライブモータ、アーム部のスチールベルト、ウエハ滑り防止用高摩擦パッド、ウエハ中心ずれ補正を備え、可搬2 kg、ISO Class 1、質量160 kg、XYZ繰返し精度各±0.1 mm（3σ）です。UTVW-R2800Hは300 mmまでのウエハと高温プロセス向けの高精度・低振動ダブルアーム真空ロボットで、θ軸にダイレクトドライブモータを搭載し、低振動搬送による装置スループット向上とウエハ中心ずれ補正に対応します。仕様は可搬2.5 kg、ISO Class 3（ISO-14644）、質量85 kg、大気側15-40°C、真空シール部15-80°C、圧力10-6 Paまでです。ACTRANS UT-VFX3000NMシリーズは300 mmまでのウエハ向けシングルアーム真空ロボットで、アーム長とZ軸有無を選択でき、標準型とロングアーム型によって異なる装置レイアウトに対応します。UT-VFX3000NMとUT-VFX3010NMはX軸510 mmと720 mm、最大X軸速度948 mm/sec.と1339 mm/sec.、θ軸340°、XYZ繰返し精度各±0.1 mm、E/Eを含む可搬0.7 kg、ISO Class 1、圧力10-6 Paまでです。大気搬送用ACTRANS UT-AXW3000NSシリーズは300 mmまでのウエハ向け垂直多関節SCARAアームロボットで、EFEM内の搬送スペースを削減し、真空チャックまたは空気圧エッジクランプを選択でき、広い上下・左右アクセスで3～5ポートに対応します。UT-AXW3000NSとUT-AXW3001NSは6軸垂直多関節型で、X軸550 mm、Y軸2200 mmまたは2700 mm、Z軸1186 mmまたは1436 mm、X/Y/Z最大1500 mm/sec.、XYZ繰返し精度各±0.05 mm、可搬1.0 kg、ISO Class 1です。ACTRANS UT-AFX/W3000NMは300 mmまでのウエハ向け大気ロボットの標準機で、電力線通信技術と各種オプションを備え、UT-AFX3000NMとUT-AFW3000NMは3軸および4軸円筒座標型、X軸500 mm、Z軸300 mmまたは450 mmです。仕様にはX軸1000 mm/sec.、θ軸200°/sec.、Z軸250 mm/sec.、XYZ繰返し精度各±0.1 mm、E/Eを含む1.0 kg/arm、ISO Class 1、単相200-230±10% VAC、50/60Hz、5Aが含まれます。さらに、300 mmまでのウエハ向け多関節ロボットACTRANS UTM-R3700F、高可搬ACTRANS UT-AFX/W4000、450 WPH高速搬送ACTRANS UTW-REH5500、IP64保護等級の防滴ACTRANS UTX/W-RF5500RWもラインアップされています。株式会社ダイヘンは購入前のコンサルティングから購入後の修理、点検、オーバーホールまで提供し、クリーン搬送ロボットを扱う海外拠点も持ち、製品ライフサイクル支援と国際サービス体制を整えています。プラズマ用途では、長年のパワーエレクトロニクス技術とFine Plasma Technologyを用いてRF・マイクロ波電源と自動整合器を開発し、半導体・フラットパネルプロセスで必要な再現性、安定性、高度なプラズマ制御を支援します。AVANCERは次世代半導体製造プロセス向けRF電源ブランドで、パルスRF出力や省電力などの機能を備え、半導体デバイスの微細化と高機能化に対応します。Fine Plasmaの考え方は安定・均一なプラズマとデバイスに優しい動作を柱とし、再現性、安定性、高度な制御を必要とする高密度プラズマプロセスに対応します。社内プラズマ評価チャンバーでは、パルス出力や周波数チューニングなどの基礎技術開発、単体性能評価、実プラズマ下での機能改善を行います。さらに、多周波用途を含むRF電源システム全体を評価し、先端プラズマプロセスに対応する高周波システムを開発して、評価対象を個々のジェネレータからシステムレベルへ広げています。顧客へ評価機を供給する前にプラズマ評価を行うことで、顧客装置で必要な評価期間の短縮を支援し、プラズマ負荷下での動作・信頼性検証を通じて、プラズマプロセス向けに最適化した高周波回路設計と制御方法のノウハウを蓄積しています。
対応領域・製品
- 半導体RF電源の販売・サービス
- 半導体マイクロ波電源の販売・サービス
- プラズマ用RF/MWジェネレータ・自動整合器
- 300mm対応真空ウェーハ搬送ロボット
- 300mm対応大気ウェーハ搬送ロボット
- ウェーハアライナ
- FPD搬送ロボット