基本資料
| 攤位 | P5600 |
| 國別 | JP |
| 網站 | www.daihen.co.jp/en/products/cleanrobot |
公司簡介
DAIHEN Corporation 成立於1919年12月1日，目前製造、銷售並維護電力設備、焊接機、工業機器人、半導體製造用 RF 產生器、EV 充電系統等多項產品，業務橫跨多個工業領域。公司列有大阪總部與東京總部，並於2024年建立雙總部體制；實收資本為10,596百萬日圓，2026財年合併淨銷售額為237,735百萬日圓，2026年3月合併員工數為4,542人。DAIHEN Corporation 於1919年以 Osaka Transformer Co., Ltd. 名義成立，專門生產柱上變壓器，1930年將主要工廠遷至大阪現址，1934年開始生產電焊機，早期即建立電力與焊接兩類業務。之後公司透過工廠與子公司持續擴大製造及組織基礎，1980年開始銷售電弧焊接機器人，1985年12月由 Osaka Transformer Co., Ltd. 更名為 DAIHEN Corporation，並建立 Reliability and Creativity 的企業理念。1986年2月，DAIHEN Corporation 開始生產半導體製造設備用射頻產生器，1987年11月獲得 Deming Execution Prize，使半導體電源技術里程碑與具名品質獎項同時納入公司沿革。1989年，公司開始生產半導體晶圓搬送機器人；1996年在美國成立 DAIHEN Advanced Component, Inc.，作為半導體製造相關設備的銷售公司，將半導體設備業務延伸至海外銷售據點。其後 DAIHEN Corporation 於2002年成立 DAIHEN Korea Co., Ltd.，作為韓國半導體設備業務據點；2009年在中國成立平面顯示器搬送機器人的製造、銷售與售後服務公司；2010年則收購 MECS 晶圓搬送機器人事業。公司自2016年開始銷售無線電力傳輸系統，並於2019至2024年間在德國、荷蘭與美國收購機器人系統整合商，2024年亦收購一家德國焊接設備製造商。2023年，DAIHEN Corporation 將報告部門調整為 Energy Management、Factory Automation 與 Material Processing；2024年增設東京總部並轉為雙總部體制，反映後期在業務組織與管理架構上的變化。針對半導體與平面顯示器製造，DAIHEN Corporation 提供 RF 與微波電源及物料搬送設備的銷售與服務，把電漿相關電源技術與製造設備周邊的潔淨搬送系統結合。
展出產品
DAIHEN Corporation 的潔淨搬送機器人用於無塵生產環境中的半導體晶圓與平面顯示器，以高速、高精度動作支援工廠生產力；高頻電源產品則涵蓋多種頻率與輸出範圍，可產生穩定電漿，用於半導體元件製造中的微細加工。潔淨搬送產品包括晶圓搬送機器人、晶圓對準器、FPD 搬送機器人、真空環境晶圓搬送機器人與大氣環境晶圓搬送機器人，多個機器人家族適用最高300 mm 晶圓。ACTRANS UT-VSW3000NS 系列是最高300 mm 晶圓用雙手式真空機器人，搭載 SCARA 手臂，用於節省真空搬送區域空間並相容矩形搬送模組。UT-VSW3000NS 系列支援雙手安裝以高速交換晶圓，採直接驅動馬達降低手臂運動時的振動，並以鋼帶提升手臂軌跡與定位精度。該系列以真空隔壁密封取代磁流體密封，可支援超高真空與低逸氣，使其在省空間及定位功能之外具備真空環境設計特性。UT-VSW3001NS 與 UT-VSW3002NS 為5軸 SCARA 型，採摩擦夾持晶圓，W2、W1 與 B 軸範圍為20至340°，A 軸可無限旋轉，Z 軸行程為50 mm 或135 mm，XYZ 重複精度在所述評估條件下各為 P-P 0.05 mm。UT-VSW3000NS 規格亦列出含手與晶圓的1.0 kg 負載、ISO Class 1 潔淨度、依型號約260 kg 或285 kg 的重量，以及本體5-40°C、手臂5-80°C、20-70%無結露濕度與最低至10-6 Pa 的操作環境。ACTRANS UT-VDX3000NS 系列是最高300 mm 晶圓用單臂高精度真空機器人，直接驅動馬達可降低振動，罐型真空密封支援超高真空，無限旋轉 θ 軸有助於產能，並內建控制器與晶圓中心偏移修正功能。UT-VDX3000NS 為2軸圓柱座標型，X 軸行程850 mm、θ 軸無限旋轉，X 軸週期2.0 sec/850 mm、θ 軸2.5 sec/180°，XY 重複精度 φ0.02 mm（3σ），負載1.0 kg，ISO Class 1，重量29 kg，壓力最低至10-7 Pa。ACTRANS UT-VDW3000HS 系列是最高300 mm 晶圓用高速、低振動雙臂真空機器人，規格標示真空內650 WPH 超高速搬送，用於提升設備產能。UT-VDW3000HS 採直接驅動馬達、鋼帶、高摩擦端效器墊片與晶圓中心偏移修正，規格包括2 kg 負載、ISO Class 1、重量160 kg 與 XYZ 各±0.1 mm（3σ）重複精度。UTVW-R2800H 是最高300 mm 晶圓及高溫製程用高精度、低振動雙臂真空機器人，θ 軸搭載直接驅動馬達，以低振動搬送支援設備產能並具晶圓中心偏移修正。其規格包括2.5 kg 負載、ISO Class 3（ISO-14644）、重量85 kg、大氣側15-40°C、真空密封單元15-80°C，以及最低至10-6 Pa 的壓力。ACTRANS UT-VFX3000NM 系列是最高300 mm 晶圓用單臂真空機器人，臂長與 Z 軸有無可選，並以標準型與長臂型支援不同設備配置。UT-VFX3000NM 與 UT-VFX3010NM 的 X 軸行程分別為510 mm 與720 mm，最高 X 軸速度分別為948 mm/sec. 與1339 mm/sec.，θ 軸範圍340°，XYZ 重複精度各±0.1 mm，負載0.7 kg（含端效器），ISO Class 1，壓力最低至10-6 Pa。大氣搬送方面，ACTRANS UT-AXW3000NS 系列是最高300 mm 晶圓用垂直多關節 SCARA 手臂機器人，可縮小 EFEM 內搬送空間，夾持方式可選真空吸附或氣動邊緣夾持，並可廣泛存取3至5個埠。UT-AXW3000NS 與 UT-AXW3001NS 為6軸垂直多關節型，X 行程550 mm，Y 行程2200 mm 或2700 mm，Z 行程1186 mm 或1436 mm，X/Y/Z 最高速度皆為1500 mm/sec.，XYZ 重複精度各±0.05 mm，負載1.0 kg，ISO Class 1。ACTRANS UT-AFX/W3000NM 大氣機器人家族為最高300 mm 晶圓用標準機型，具電力線通信技術與多種選配；UT-AFX3000NM 與 UT-AFW3000NM 分別為3軸與4軸圓柱座標型，X 行程500 mm，Z 行程300 mm 或450 mm。其規格包括 X 軸1000 mm/sec.、θ 軸200°/sec.、Z 軸250 mm/sec.、XYZ 重複精度各±0.1 mm、每臂1.0 kg 負載（含端效器）、ISO Class 1，以及單相200-230±10% VAC、50/60Hz、5A 電源。更廣泛的潔淨機器人產品亦包括最高300 mm 晶圓用 ACTRANS UTM-R3700F 多關節機器人、ACTRANS UT-AFX/W4000 高負載機型、ACTRANS UTW-REH5500 450 WPH 高速搬送機器人，以及具 IP64 防護等級的 ACTRANS UTX/W-RF5500RW 防滴機型。DAIHEN Corporation 亦提供購買前諮詢，以及購買後的維修、點檢與大修，並設有處理潔淨搬送機器人的海外據點，使產品線具備全生命週期支援與國際服務架構。電漿應用方面，DAIHEN Corporation 運用多年電力電子專業與 Fine Plasma Technology 開發 RF／微波電源及自動匹配單元，以支援半導體與平面顯示器製程所需的重複性、穩定性與精密電漿控制。AVANCER 是面向次世代半導體製造製程的 RF 電源家族，功能包括脈衝 RF 輸出與節能，回應半導體元件持續縮小並增加功能的趨勢。Fine Plasma 概念聚焦穩定、均勻與對元件友善的電漿，用於需要重複性、穩定性與先進電漿控制的高密度電漿製程。公司以自有電漿評估腔體開發脈衝輸出與頻率調諧等基礎技術，評估單機性能並在實際電漿條件下改善產品功能。DAIHEN Corporation 亦針對多頻應用評估整套 RF 電源系統，開發對應先進電漿製程的高頻系統，使評估從單一產生器延伸至系統層級電漿運作。透過在提供客戶評估機前先進行電漿評估，公司希望縮短客戶設備所需的評估期間，並以電漿負載下的運作與可靠度驗證累積適合電漿製程的高頻電路設計與控制方法經驗。
能力與產品項目
- 半導體 RF 電源供應器銷售與服務
- 半導體微波電源供應器銷售與服務
- 電漿用 RF/MW 發生器與自動匹配器
- 300mm 晶圓真空搬送機器人
- 300mm 晶圓大氣搬送機器人
- 晶圓定位器
- FPD 搬送機器人