기본 정보
| 부스 | R7127 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | zh-tw.dahyoung.com |
회사 소개
Dah Young Vacuum Equipment Co., Ltd.는 1968년에 설립되었으며 반도체와 정밀 광학 산업을 위한 PVD 및 PECVD 기술을 전문으로 하고, 이 두 제조 분야에서 코팅 시스템 기술을 사업의 중심에 두고 있습니다. 회사는 반도체와 정밀 광학 응용을 위한 지능형 고효율 코팅 시스템 구축을 목표로 제시하며, 이에 따라 진공 코팅 역량과 양산 용도의 장비 개발을 결합하고 있습니다. 사내 R&D 팀과 연구센터는 자체 기술 개발을 지원하는 동시에 글로벌 협업에도 참여하여 내부 개발 기반과 외부 기술 협력 경로를 함께 갖추고 있습니다. 2024년 Dah Young Vacuum Equipment Co., Ltd.는 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited(TSMC)의 공급업체로 공식 인증되어 회사 이력에 구체적인 반도체 고객 자격을 추가했습니다. Dah Young Vacuum Equipment Co., Ltd.는 자사 시스템이 세계 각지의 생산 라인에서 안정적으로 운용되고 전 세계 고객에게 기술 솔루션을 공급한다고 밝히며, 코팅 장비 활동을 단일 국내 생산 환경에 한정하지 않고 있습니다.
전시 제품
SPC(Semiconductor Plasma-resistant Coater)는 반도체 장비 제조사, 부품 제조사, 팹 내 유지보수 서비스 업체를 위해 안정적이고 신뢰성 있는 희토류 산화물 후막 생산에 최적화된 코팅 시스템입니다. SPC 응용에서 제시된 업계 표준 막 두께는 일반적으로 10~50 µm이며 일부 극한 응용은 100 µm 이상의 막을 요구하여 내플라즈마 후막 코팅이라는 분명한 용도를 갖습니다. MPS(Mobile Panel Sputter)는 Dah Young Vacuum Equipment Co., Ltd.의 독자적인 ARMS 고정밀 스퍼터링 플랫폼을 기반으로 하며 대면적 모바일 및 터치 패널 양산에 특화해 최적화되었습니다. MPS의 고처리량 구성은 이중 스퍼터 시스템, 이중 ICP 플라즈마 소스, 회전형 평면 지그, 대면적 균일도 최적화를 결합해 모바일 패널 스퍼터링 양산을 겨냥합니다. MPS는 대면적 모바일 또는 터치 패널 생산이 필요한 소비자 전자 브랜드와 패널 제조사를 대상으로 하며 ARMS 플랫폼, 플라즈마 소스, 지그 회전, 균일도 제어를 구체적인 패널 제조 응용에 연결합니다. ALD(Atomic Layer Deposition System)는 대만 National Institutes of Applied Research(NIAR) 산하 National Center for Instrumentation Research(NCIR)에서 이전된 기술을 적용하며, 대만 국가 연구기관에서 축적된 수년간의 ALD 연구 성과를 기반으로 합니다. Dah Young Vacuum Equipment Co., Ltd.는 이 이전 ALD 기술과 자사의 오랜 광학 코팅 양산 통합 경험을 결합해 ALD 장비 플랫폼을 구축합니다. ALD 플랫폼은 Plasma-Enhanced 구조를 사용하고 다양한 전구체와 SEMI 표준 핸들링을 지원하며 4인치 이상 웨이퍼를 목표 사양으로 하여 반도체 공정 핸들링 범위와 플라즈마 강화 증착 방식을 규정합니다.
역량 및 제품
- PVD 및 PECVD 코팅 기술
- 반도체용 플라즈마 내성 희토류 산화물 후막 코팅 시스템
- 10–50 µm 희토류 산화물 후막 공정
- 대면적 모바일/터치 패널 스퍼터링 시스템
- Plasma-Enhanced ALD 시스템