기본 정보
| 부스 | R7127 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | zh-tw.dahyoung.com |
회사 소개
D ifferent Y ourself “반도체 및 정밀 광학 산업을 위한 지능적이고 효율적인 코팅 시스템을 구축합니다.” Dah Young Vacuum은 1968년에 설립되었으며 PVD 및 PECVD 기술을 전문으로 하고, 반도체 및 정밀 광학 산업에 강한 의지를 두고 있습니다. 사내 R&D 팀과 연구센터를 기반으로 자체 개발과 글로벌 협업을 통해 지속적으로 혁신을 추진합니다. 2024년 Dah Young은 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited (TSMC)의 공급업체로 공식 인증받아 품질과 신뢰성의 우수성을 입증했습니다. 현재 Dah Young 시스템은 전 세계 생산 라인에서 검증된 안정성을 바탕으로 운영되며, 전 세계 고객에게 고부가가치 기술 솔루션을 제공합니다. 자세히 보기: https://www.dahyoung.com/
전시 제품
Dah Young Vacuum SPC (Semiconductor Plasma-resistant Coater)는 이 응용 분야에 최적화된 코팅 시스템으로, 반도체 장비 제조업체, 부품 제조업체 및 팹 내 유지보수 서비스 제공업체에 안정적이고 신뢰할 수 있는 희토류 산화물 후막 생산 능력을 제공합니다. 업계 표준 막 두께는 일반적으로 10–50 µm 범위이며, 일부 극한 응용 분야에서는 100 µm 이상이 필요합니다. Dah Young Vacuum MPS (Mobile Panel Sputter)는 Dah Young의 독자적인 ARMS 고정밀 스퍼터링 플랫폼을 기반으로 하며, 대면적 모바일 / 터치 패널 양산에 특화되도록 최적화되었습니다. MPS는 듀얼 스퍼터 시스템과 듀얼 ICP 플라즈마 소스를 적용한 고처리량 구성에 회전식 평면 지그와 대면적 균일도 최적화를 결합하여 소비자 전자제품 브랜드와 패널 제조업체에 업계 선도형 모바일 패널 스퍼터링 생산 솔루션을 제공합니다. Dah Young Vacuum ALD (Atomic Layer Deposition System)는 대만 National Institutes of Applied Research (NIAR) 산하 National Center for Instrumentation Research (NCIR)와의 기술 이전을 기반으로 하며, 대만 국립 연구기관에서 수년간 축적한 ALD 연구 성과와 Dah Young Vacuum의 수년간 광학 코팅 양산 통합 경험을 결합하여 이 차세대 플래그십 장비를 구축했습니다. ALD는 Plasma-Enhanced 아키텍처를 적용하고 다양한 전구체와 SEMI 표준 핸들링을 지원하며, 목표 사양은 4인치 이상 웨이퍼 크기를 포괄합니다.
역량 및 제품
- PVD／PECVD 코팅 기술
- 희토류 산화물 후막 코팅
- 대면적 모바일/터치 패널 스퍼터링 양산
- 플라즈마 보조 ALD 시스템
- 4인치 이상 웨이퍼 ALD