基本情報
| ブース | R7127 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | zh-tw.dahyoung.com |
会社概要
Dah Young Vacuum Equipment Co., Ltd.は1968年に設立され、半導体および精密光学産業向けのPVDとPECVD技術を専門とし、これら二つの製造分野に対する事業の中心にコーティングシステム技術を据えています。同社は半導体および精密光学用途向けにインテリジェントで効率的なコーティングシステムを構築することを目標としており、真空コーティングの技術と量産利用を想定した装置開発を組み合わせています。社内の研究開発チームと研究センターが自社技術の開発を支えると同時に、グローバルな協業にも取り組み、社内開発基盤と外部との技術協力の両方を持っています。2024年、Dah Young Vacuum Equipment Co., Ltd.はTaiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited（TSMC）のサプライヤーとして正式に認証され、同社の沿革に具体的な半導体顧客資格が加わりました。Dah Young Vacuum Equipment Co., Ltd.は、自社システムが世界各地の生産ラインで安定稼働し、世界の顧客に技術ソリューションを供給しているとしており、コーティング装置事業を単一の国内生産環境に限定していません。
展示製品
SPC（Semiconductor Plasma-resistant Coater）は、半導体装置メーカー、部品メーカー、工場内保守サービス事業者向けに、希土類酸化物厚膜を安定かつ確実に生産するため最適化されたコーティングシステムです。SPC用途で示される業界標準の膜厚は通常10～50 µmで、一部の極端な用途では100 µm以上が必要とされ、耐プラズマ厚膜コーティングという明確な用途を持ちます。MPS（Mobile Panel Sputter）はDah Young Vacuum Equipment Co., Ltd.独自のARMS高精度スパッタリングプラットフォームを基盤とし、大面積モバイル／タッチパネルの量産向けに特化して最適化されています。MPSの高スループット構成は、デュアルスパッタシステム、デュアルICPプラズマ源、回転式平面治具、大面積均一性最適化を組み合わせ、モバイルパネルのスパッタ量産を想定しています。MPSは大面積モバイルまたはタッチパネル生産を必要とするコンシューマーエレクトロニクスブランドとパネルメーカーを対象とし、ARMSプラットフォーム、プラズマ源、治具回転、均一性制御を具体的なパネル製造用途に結び付けています。ALD（Atomic Layer Deposition System）は、台湾のNational Institutes of Applied Research（NIAR）傘下National Center for Instrumentation Research（NCIR）から移転された技術を取り入れ、台湾の国立研究機関で蓄積された長年のALD研究成果を基盤としています。Dah Young Vacuum Equipment Co., Ltd.は、その移転ALD技術と自社が長年培った光学コーティング量産統合の経験を組み合わせてALD装置プラットフォームを構築しています。ALDプラットフォームはPlasma-Enhanced方式を採用し、多様な前駆体とSEMI標準ハンドリングに対応し、4インチ以上のウエハサイズを対象仕様として、半導体プロセスのハンドリング範囲とプラズマ強化成膜方式を明確にしています。
対応領域・製品
- PVD・PECVD成膜技術
- 半導体向け耐プラズマ希土類酸化物厚膜コーティングシステム
- 10–50 µm希土類酸化物厚膜プロセス
- 大面積モバイル／タッチパネル用スパッタシステム
- Plasma-Enhanced ALDシステム