기본 정보
| 부스 | I2616 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.creativetw.com.tw |
회사 소개
Creative Technology Corporation의 주요 서비스 범위는 반도체 장비 개발·설계·제조·판매, 각종 재료 가공, 표면 처리, 접합, 평가 및 시험 서비스입니다. 고객군에는 세계 주요 반도체 제조사가 포함되며 판매 품목은 Electric Static Chuck(ESC)와 Refurbishment, 반도체 소모품, Focus Ring, Baffle Plate, Upper Electrode 같은 부품입니다. 회사 자료에는 자본금 3000만 엔, 2020년 매출 35억 엔, 직원 134명이 기재되어 있습니다. 경영 철학은 직원 전문성 육성, 고객 요구의 면밀한 이해, 고객을 만족시키는 제품의 지속적 제공을 중시하며 고객의 감사와 신뢰를 중요한 가치로 봅니다. Creative Technology Corporation은 여러 기술을 결합하고 창의적인 아이디어를 활용해 실용적인 신제품을 지속적으로 만드는 연구개발 방식을 설명합니다. 연혁에는 1995년 University of Tokyo Institute of Industrial Science와 Micro Machining 공동 연구를 시작하고 반도체 장비용 ESC 및 이온 주입 장비 parts 양산을 시작한 내용이 있습니다. 1996년 고속 온도 제어 ESC, 1998년 Poly ESC, 1999년 12-inch ESC를 개발했습니다. 2000년 회사명을 Creative Technology로 변경하고 Kyushu 영업소를 설립했으며 2001년 Miyazaki 공장을 설립했습니다. 이후 2002년 G6-ODF Polyimide ESC 개발 성공, 2003년 thermal-spray 제품 판매 시작 및 Plasma Etching 장비 도입, 2004년 ISO9001 품질경영시스템 인증 획득이 기록되어 있습니다. 2006년에는 한국 PMT 회사 설립, G8-ODF Polyimide ESC 개발 성공, ISO14001 환경경영시스템 인증 획득, Nissin 이온 주입 장비 순정부품 직접 판매 시작이 기록되어 있습니다. 대만 사무소는 2008년에 설립되었고 2010년 대만 지점을 자회사 CREATIVE TECHNOLOGY ELECTRONICS TAIWAN CORPORATION으로 개편했습니다. 2013년 싱가포르 사무소 설립과 ESC 전원 컨트롤러 판매 시작, 2014년 CREATIVE TRADING 설립과 삽입형 정전용량 Sensor 판매 시작, 2016년 생활용품 브랜드 ataraina 상표 등록이 기록되어 있습니다. 2020년 일본 동북 Iwate 사무소 설립과 회사 LOGO 변경, 2021년 유럽 사무소 설립이 이어졌습니다. 운영 네트워크에는 Kawasaki R&D Center, Miyazaki·Shiga 공장, Chubu 지점, Kitakami·Kumamoto 영업소, 일본 CREATIVE TRADING, 대만 자회사, Creative Technology Shanghai Co., Ltd., Creative Technology USA, Inc., Creative Tech Asia Pacific Pte Ltd, 한국 CTK Corporation이 포함됩니다. Kawasaki R&D Center, Miyazaki 공장, Shiga 공장, Chubu 지점은 ISO9001과 ISO14001 인증을 보유한 곳으로 표시됩니다.
전시 제품
Creative Technology Corporation은 TEL, AMAT, LAM 플랫폼을 포함한 반도체 장비용 신규 정전척과 리퍼비시 서비스를 제공합니다. 정전척은 6-inch, 8-inch, 12-inch 크기를 대상으로 하며 polyimide film(PI), anodized, Ceramic thermal spray 소재의 제조와 리퍼비시를 제공합니다. 150 mm 제품 목록에는 150mm AMAT MXP+ ESC, 150mm MxP Poly, 150mm Centura ESC, 150mm DPS ESC, 150mm Lam 9600 ESC, 150mm Lam 4720 ESC가 있습니다. 200 mm 제품에는 AMAT MXP+ ESC / STI Nitride ESC, AMAT DPS ESC, AMAT E-Max ESC, AMAT MXP GEN 2 ESC, AMAT STI MXP Poly ESC, AMAT Super E ESC, LAM9400 ESC, Lam Exelan ESC가 포함됩니다. 200 mm 목록에는 Electrode Upper P-1 (DRM2), TEL 85DP ESC, TEL 85DD (PI) ESC, TEL 85DD (Ce) ESC, TEL SCCM Focus Si Ring, 3FB0229G-4, Shibaura CDE ESC, Novellus HDP ESC 및 관련 신규·리퍼비시 품목도 있습니다. 300 mm 제품에는 LAM 608, LAM 611, LAM 374, LAM 577, TEL Long life ESC, TEL SCCM BSP ESC, TEL SCCM SE+ ESC, TEL DRM ESC, TEL SCCM SE ESC, TEL Vigus ATCC ESC, TEL Vigus NX ESC가 있습니다. 추가 300 mm 품목은 AMAT E-Max ESC, AMAT HDP ESC, 3FB0229G05, SHIBAURA CDE ESC, 2-A10839-*A/2-F03446-*A Hitachi AQTC ESC, AIBT ESC, TEL Heater Ring입니다. 검사 장비와 본딩 조정용 투명 정전척도 제공하며 기재, 전극, 흡착면을 모두 투명 소재로 만듭니다. 투명 ESC는 backlight 검사, 전면 외관 검사, 본딩 장비에서 Alignment Mark를 활용한 공정 수율 지원에 사용됩니다. 용도, 형상, 크기, 두께, 흡착 대상에 따른 맞춤 설계도 가능합니다. IonPad는 특수 수지와 접촉 계면의 상호작용으로 대상물을 흡착하며 전원이나 진공이 필요하지 않습니다. 얇은 유리와 wafer 등 비교적 평평한 제품을 흡착·이송하고 로봇 고속 이송 시 미끄럼 방지 기능으로 wafer나 제품의 튀어나감과 미끄러짐을 줄입니다. 경화형 접착제가 아닌 안정성 높은 특수 수지 코팅을 사용하며 먼지가 붙으면 세척 후 재사용할 수 있고 흠집이나 표면 마모가 생기면 교체합니다. IonPad는 표면이 매끄러운 접착 Type과 미세 요철이 있는 비접착 Type이 있으며 전자는 주로 유리와 필름, 후자는 미끄럼 방지에 권장되고 대상, 용도, 환경에 따라 선택합니다. 다공성 흡착판은 표면 전체의 마이크로미터급 기공으로 균일 흡착해 기존 홈 또는 구멍형 진공 흡착판보다 국부 변형과 흡착 자국을 줄입니다. 대상물이 흡착판보다 조금 작을 때도 흡착력 저하를 줄일 수 있고 대상 특성에 맞춘 사용 제안이 가능합니다. 맞춤 흡착 도구는 형상, 크기, 두께, 대상 제품 종류, 소재에 따라 설계하며 원스톱 흡착 제공 범위는 정전척, 다공성 흡착판, IonPad입니다. 알루미늄 가공, chamber parts, Ion Implanter Parts도 공급하며 Particle collector는 청정 진공 장비에서 진공과 대기 사이 압력 변화 시 미세 입자가 제품에 다시 부착되는 것을 방지하는 용도입니다. 쿨롱력형 ESC는 고전압으로 흡착하고 유전체층 두께가 흡착력에 영향을 주며 TEL DRM, TEL SCCM, TEL Vigas, AMAT Centura Ultima HDP, LAM Versys Kiyo374 등이 예시입니다. Johnson-Rahbek형은 유전체층 절연성을 조절해 소량 전류로 전하를 표면으로 이동시켜 가상 전극을 만들고 낮은 전압에서 높은 흡착력을 내며 AMAT Centura DT-HART, AMAT Producer, LAM Exelan385, Novellus, Hitachi(U)가 예시입니다. 난삭 고융점 금속에는 재료부터 가공, 검사, 세정, 포장까지 반도체 제조 장비 부품 원스톱 서비스를 제공합니다. 순도 99.95%의 tungsten, molybdenum, tantalum과 MoL, WL로 표시된 고융점 합금을 절삭, 천공, 연마 가공합니다. 고융점 금속, ceramic, carbon, steel, stainless steel, aluminum 등 특성이 다른 소재를 조립한 unit 제품도 설계·제조하며 반도체 및 이온 주입 부품 경험을 활용합니다. 국내외 반도체 장비사와 부품 제조사에 20년 넘게 안정적으로 공급해 왔으며 재료 공급부터 가공·출하까지 품질을 유지한다고 설명합니다. 품질 공정에는 3차원 측정 장비와 이미지 처리 시스템을 이용한 치수·외관 검사, 초음파 세정과 취약·세부 부품의 수작업 세정, class 1000 클린룸 보관, 산소흡수제·이중 포장·완충재를 이용한 포장이 포함됩니다.
역량 및 제품
- 정전척 제조 및 리퍼비시
- 투명 정전척 맞춤 설계
- IonPad 무전원·무진공 물리 흡착
- IonPad 박형 유리 및 wafer 이송 미끄럼 방지
- 균일 흡착 다공성 척
- 맞춤형 흡착 도구 설계
- Particle collector 미립자 재부착 방지
- 99.95% 텅스텐·몰리브덴·탄탈럼 절삭·천공·연마
- 고융점 금속 unit 제품 설계·제조
- 이온 주입 장비 부품 가공
- 3차원 측정 및 영상처리 치수·외관 검사
- 반도체 부품 초음파 세정
- 알루미늄 가공
- chamber parts 공급