기본 정보
| 부스 | I2616 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.creativetw.com.tw |
회사 소개
IonPad 물리 흡착 | CREATIVE TECHNOLOGY Ion Pad는 특수 수지를 기재로 사용하며, Ion Pad와 대상물의 접촉면에서 화학적 결합과 물리적 결합이 함께 발생하도록 하여 대상물을 흡착합니다. 양쪽 계면의 상호작용을 이용하기 때문에 대상물을 흡착할 때 통전이나 진공 흡입 등의 외부 개입이 필요하지 않습니다. Ion Pad는 박형 유리, 휜 웨이퍼 등 비교적 평평한 제품의 흡착/이송에 사용할 수 있으며, 로봇 암을 이용한 고속 이송 시 미끄럼 방지 기능을 발휘하여 웨이퍼/제품이 튀어나가거나 낙하(미끄러짐)하는 상황을 방지하는 데도 적용할 수 있습니다. ION PAD는 경화형 접착제가 아니라 안정성이 높은 특수 수지 코팅을 사용하므로 반복 사용이 가능합니다. 먼지가 부착된 경우 세척 후 다시 사용할 수 있지만, 흠집이나 표면 마모가 발생하면 교체해야 합니다. ION PAD는 현재 두 가지가 있으며, 표면이 매끄러운 접착 Type과 표면에 미세한 요철이 형성된 비접착 Type입니다. 유리와 필름 흡착에는 주로 접착 Type을 사용하고, 미끄럼 방지 기능에는 비접착 Type을 권장합니다. 흡착 대상, 용도, 사용 환경에 따라 적합한 ION PAD를 설계합니다. 당사는 핵심기술인 ‘정전 흡착’에만 집중하지 않고 흡착 관련 원스톱 솔루션 제공에도 힘쓰고 있습니다. 일반적인 진공 흡착척은 흡착면에 홈이나 구멍을 두어 공기 흐름 회로를 형성함으로써 흡착합니다. 그러나 얇고 섬세한 물체의 경우 국부적인 흡착력이 물체 변형이나 흡착 자국 등의 문제를 일으킬 수 있습니다. 이에 비해 다공성 흡착척은 마이크론급 기공이 전체 면적을 덮고 있어 균일한 흡착이 가능하므로 물체 변형과 흡착 자국 등의 문제를 줄일 수 있습니다. 일반적인 진공 흡착척은 진공과 대기압 사이의 차압을 이용해 흡착 효과를 얻으므로, 흡착면의 모든 홈이나 구멍이 막히지 않으면 충분한 차압을 형성할 수 없어 충분한 흡착력을 얻을 수 없습니다. 따라서 크기가 다른 대상물(제품)에 대해서는 그에 맞는 흡착척으로 교체해야 합니다. 이에 비해 다공성 흡착척은 마이크론급 기공이 조밀하여 공기 누설이 발생할 가능성이 낮고, 대상물(제품)이 다공성 흡착척보다 약간 작더라도 흡착력 저하를 줄일 수 있습니다. 대상물(제품)의 특성 등의 요소에 따라 최적의 사용 방안을 제안할 수 있습니다. 용도와 요구사항에 따라 형상, 크기, 두께, 흡착 제품의 종류, 재료 등을 맞춤 설계할 수 있습니다. 요구사항이 있으시면 언제든지 문의해 주십시오. 당사는 다공성 흡착척 외의 정전척, 그립/미끄럼 방지 효과를 제공하는 ‘IonPad’ 등 다양한 ‘흡착 기술’을 제공합니다. 하나의 흡착 기술에만 국한하지 않고 제품 용도에 적합한 최적의 흡착 도구를 소개하고 다양한 기술을 제안합니다. 흡착 원스톱 솔루션을 제공하는 CREATIVE TECHNOLOGY로서 고객의 자동화, 인력 절감, 생산 효율 향상을 실현합니다. 요구사항이 있으시면 언제든지 문의해 주십시오.
전시 제품
Creative Technology Corporation 대만 사무소는 2008년에 설립되었고, 일본 본사는 1986년에 설립되었습니다. 30년 이상 각종 정전척(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC)의 연구개발에 집중해 왔으며, TEL, AMAT, LAM 각 브랜드 정전척의 신품 및 리퍼비시 서비스, 알루미늄 가공, chamber parts, 이온 주입기 부품 Ion Implanter Parts 등을 제공합니다. 다년간의 전문 경험을 바탕으로 고객의 문제 해결과 장비 맞춤 설계 개발 등의 요구를 지원합니다. Creative Technology는 각종 정전척(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC)의 신품 및 수리 서비스를 제공합니다. 반도체 장비 내부의 정전척에 집중하며, 6”, 8”, 12” 크기의 폴리이미드 필름(Polyimide,PI), 양극 처리(anodized), 세라믹 용사(Ceramic,Thermal spray) 소재를 모두 생산·제조하고 리퍼비시합니다. IonPad는 특수 수지를 기재로 사용하며, IonPad와 대상물의 접촉면에서 화학적 결합과 물리적 결합이 함께 발생하도록 하여 대상물을 흡착합니다. 양쪽 계면의 상호작용을 이용하기 때문에 대상물을 흡착할 때 통전이나 진공 흡입 등의 외부 개입이 필요하지 않습니다. 청정한 진공 장비 내부에서도 진공 배기 또는 대기 개방에 따른 압력 변화가 발생하면 particle이 비산할 수 있습니다. Particle collector를 사용하면 제품에 미세먼지가 다시 흡착되는 것을 방지하여 수율을 높일 수 있습니다.
역량 및 제품
- IonPad 무전원·무진공 물리 흡착
- IonPad 고속 이송 미끄럼 방지
- 다공성 척 균일 흡착
- 흡착 공구 맞춤 설계
- 정전척 신품 및 수리
- Particle collector 미세먼지 재부착 방지