基本情報
| ブース | I2616 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.creativetw.com.tw |
会社概要
Creative Technology Corporation の主要サービス範囲は、半導体装置の開発設計、製造、販売、各種材料加工、表面処理、接合、評価・試験サービスです。顧客群には世界の主要半導体メーカーが含まれ、販売品には Electric Static Chuck（ESC）と Refurbishment、半導体消耗品、Focus Ring、Baffle Plate、Upper Electrode などの部品があります。会社資料には資本金 3000万円、2020 年売上高 35億日圓、従業員 134 名と記載されています。経営理念は従業員の専門性育成、顧客ニーズの丁寧な理解、顧客を満足させる製品の継続提供を重視し、顧客からの感謝と信頼を重要な価値としています。Creative Technology Corporation は複数技術を結集し、創造的な発想で実用的な新製品を継続して生み出す研究開発姿勢を示しています。沿革では 1995 年に東京大学生産技術研究所と Micro Machining の共同研究を開始し、半導体装置用 ESC とイオン注入装置 parts の量産を開始しています。1996 年に高速温度制御 ESC、1998 年に Poly ESC、1999 年に 12-inch ESC を開発しました。2000 年には社名を Creative Technology に変更し九州営業所を設立、2001 年に宮崎工場を設立しました。その後、2002 年に G6-ODF Polyimide ESC の開発成功、2003 年に溶射製品の販売開始と Plasma Etching 装置導入、2004 年に ISO9001 品質マネジメントシステム認証取得が記録されています。2006 年には韓国 PMT 社の設立、G8-ODF Polyimide ESC の開発成功、ISO14001 環境マネジメントシステム認証取得、日新イオン注入装置の純正部品の直接販売開始が記録されています。台湾オフィスは 2008 年に設立され、2010 年に台湾支社を子会社 創造科學先進電子股份有限公司へ再編しました。2013 年にはシンガポールオフィス設立と ESC 電源コントローラー販売開始、2014 年には CREATIVE TRADING 設立と挿入型静電容量 Sensor 販売開始、2016 年には生活用品ブランド ataraina の商標登録が記録されています。2020 年には日本東北の岩手オフィス設立と会社 LOGO 変更、2021 年には欧州オフィス設立が記録されています。拠点網には Kawasaki R&D Center、宮崎・滋賀工場、中部支店、北上・熊本営業所、日本の CREATIVE TRADING、台湾子会社、Creative Technology Shanghai Co., Ltd.、Creative Technology USA, Inc.、Creative Tech Asia Pacific Pte Ltd、韓国 CTK Corporation が含まれます。Kawasaki R&D Center、宮崎工場、滋賀工場、中部支店は ISO9001 と ISO14001 認証取得拠点として示されています。
展示製品
Creative Technology Corporation は、TEL、AMAT、LAM プラットフォームを含む半導体装置向けの新品静電チャックと改修サービスを提供します。静電チャックは 6-inch、8-inch、12-inch を対象とし、ポリイミドフィルム（PI）、陽極処理、Ceramic thermal spray 材料で製造と改修を行います。150 mm のカタログには 150mm AMAT MXP+ ESC、150mm MxP Poly、150mm Centura ESC、150mm DPS ESC、150mm Lam 9600 ESC、150mm Lam 4720 ESC があります。200 mm には AMAT MXP+ ESC / STI Nitride ESC、AMAT DPS ESC、AMAT E-Max ESC、AMAT MXP GEN 2 ESC、AMAT STI MXP Poly ESC、AMAT Super E ESC、LAM9400 ESC、Lam Exelan ESC が含まれます。さらに Electrode Upper P-1 (DRM2)、TEL 85DP ESC、TEL 85DD (PI) ESC、TEL 85DD (Ce) ESC、TEL SCCM Focus Si Ring、3FB0229G-4、Shibaura CDE ESC、Novellus HDP ESC などの新品・改修項目があります。300 mm には LAM 608、LAM 611、LAM 374、LAM 577、TEL Long life ESC、TEL SCCM BSP ESC、TEL SCCM SE+ ESC、TEL DRM ESC、TEL SCCM SE ESC、TEL Vigus ATCC ESC、TEL Vigus NX ESC があります。追加項目として AMAT E-Max ESC、AMAT HDP ESC、3FB0229G05、SHIBAURA CDE ESC、2-A10839-*A/2-F03446-*A Hitachi AQTC ESC、AIBT ESC、TEL Heater Ring が挙げられています。検査装置と貼り合わせ調整向けには、基材、電極、吸着面をすべて透明材料で作る透明静電チャックも提供します。透明 ESC はバックライト検査、全面外観検査、貼り合わせ装置での Alignment Mark を利用した工程歩留まり支援に用いられます。用途、形状、寸法、厚さ、吸着対象に応じたカスタム設計も可能です。IonPad は特殊樹脂と接触界面の相互作用で対象物を保持し、通電や真空を必要としません。薄型ガラスや wafer など比較的平坦な製品の吸着・搬送に使え、高速ロボット搬送時に滑り止め効果を与え、wafer や製品の飛び出し・滑りを抑えます。硬化型接着剤ではなく安定性の高い特殊樹脂コーティングを使い、粉塵付着時は洗浄後に再利用でき、傷や表面摩耗が生じた場合は交換します。IonPad は表面が滑らかな接着 Type と微細凹凸のある非接着 Type があり、前者は主にガラス・フィルム、後者は滑り止め向けで、対象物、用途、環境に応じて選択されます。多孔質チャックは全面に分布するミクロン級細孔で均一吸着し、従来の溝や穴を持つ真空吸盤より局所変形と吸着痕を低減します。対象物がチャックより少し小さい場合も吸着力低下を抑え、対象特性に応じた使用提案が可能です。カスタム吸着ツールは形状、寸法、厚さ、対象製品の種類、材料に応じて設計でき、ワンストップ吸着提供は静電チャック、多孔質チャック、IonPad を含みます。アルミ加工、chamber parts、Ion Implanter Parts も提供し、Particle collector はクリーンな真空装置で真空と大気の圧力変化時に微粒子が製品へ再付着することを防ぐ用途です。クーロン力型 ESC は高電圧で吸着し、誘電層厚さが吸着力に影響し、TEL DRM、TEL SCCM、TEL Vigas、AMAT Centura Ultima HDP、LAM Versys Kiyo374 などが例示されています。Johnson-Rahbek 型は誘電層の絶縁性を調整して少量の電流で電荷を表面へ移動させ仮想電極を形成し、低電圧で高吸着力を得る方式で、AMAT Centura DT-HART、AMAT Producer、LAM Exelan385、Novellus、Hitachi(U) が例示されています。難削高融点金属向けには、材料から加工、検査、洗浄、梱包までの半導体製造装置部品ワンストップサービスを提供します。純度 99.95% のタングステン、モリブデン、タンタルと、MoL、WL とされる高融点合金を、切削、穴あけ、研磨で加工します。高融点金属、セラミック、カーボン、鋼、ステンレス、アルミなど異なる特性の材料を組み合わせた unit 製品の設計・製造にも対応し、半導体とイオン注入部品の経験を活用します。国内外の半導体装置・部品メーカーへ 20 年以上安定供給し、材料提供から加工・出荷まで品質を維持しているとしています。品質工程には三次元測定機と画像処理による寸法・外観検査、超音波洗浄と脆弱・細部部品の手洗浄、class 1000 クリーンルーム保管、脱酸素剤・二重包装・緩衝材による梱包が含まれます。
対応領域・製品
- 静電チャック製造・改修
- 透明静電チャックのカスタム設計
- IonPad 無通電・無真空の物理吸着
- IonPad 薄型ガラス・wafer搬送の滑り止め
- 均一吸着用多孔質チャック
- 吸着ツールのカスタム設計
- Particle collectorによる微粒子再付着防止
- 99.95%タングステン・モリブデン・タンタルの切削・穴あけ・研磨
- 高融点金属unit製品の設計・製造
- イオン注入装置部品加工
- 三次元測定・画像処理による寸法外観検査
- 半導体部品の超音波洗浄
- アルミ加工
- chamber parts供給