基本情報
| ブース | I2616 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.creativetw.com.tw |
会社概要
IonPad 物理吸着 | CREATIVE TECHNOLOGY Ion Pad は特殊な樹脂を基材とし、Ion Pad と対象物との接触面において化学的・物理的な結合を生み出し、対象物を吸着保持します。互いの界面の相互作用を利用するため、対象物の吸着に通電や真空吸引といった外部の介入を必要としません。 Ion Pad は、薄型ガラスや反りのあるウェハなど比較的平坦な製品の吸着・搬送に使用できるほか、ロボットアームによる高速搬送時に滑り止めとして機能し、ウェハや製品の飛び出し・落下（滑り）を防ぐことができます。 ION PAD は硬化型の接着剤ではなく、安定性の高い特殊樹脂コーティングを使用しており、繰り返し使用が可能です。粉塵が付着した場合は洗浄後に再利用できますが、傷や表面の摩耗が生じた場合は交換が必要です。 ION PAD には現在2種類があり、表面が滑らかな粘着タイプと、表面に微細な凹凸を形成した非粘着タイプがあります。ガラスやフィルムの吸着には主に粘着タイプを使用し、滑り止め機能には非粘着タイプを推奨します。吸着対象・用途・使用環境に応じて最適な ION PAD を設計します。 当社は中核技術である「静電吸着」だけでなく、吸着に関するワンストップ・ソリューションの提供にも注力しています。 一般的な真空チャックは、吸着面に溝や孔を設けて気流の回路を形成し吸着しますが、薄く繊細な対象物では局所的な吸引力が変形や吸着痕などの問題を引き起こすことがあります。これに対し、多孔質チャックは全面にミクロンレベルの細孔を有するため、均一な吸着が可能で、対象物の変形や吸着痕といった問題を低減できます。 一般的な真空チャックは真空と大気圧の差圧を利用して吸着するため、吸着面のすべての溝や孔を塞がなければ十分な差圧、ひいては十分な吸着力を得られません。そのため対象物（製品）の大きさが異なるごとに対応するチャックを交換する必要があります。これに対し、多孔質チャックは緻密なミクロンレベルの細孔を有するため空気漏れが起こりにくく、対象物（製品）が多孔質チャックよりわずかに小さくても吸着力の低下を抑えられます。当社は対象物（製品）の特性などの要素に応じて最適な使用方法をご提案します。 形状・寸法・厚さ・吸着する製品の種類・材質など、用途やニーズに応じたカスタム設計が可能です。ご要望があればお気軽にお問い合わせください。 当社は多孔質チャックに加えて静電チャック、把持・滑り止め効果を持つ「IonPad」など、さまざまな「吸着技術」を提供しています。一つの吸着技術に限定することなく、製品の用途に適した最適な吸着ツールをご紹介し、多様な技術提案を行います。吸着に関するワンストップ・ソリューションを提供する CREATIVE TECHNOLOGY として、お客様の自動化・省人化・生産効率の向上を実現します。ご要望があればお気軽にお問い合わせください。
対応領域・製品
- IonPad 向け再使用可能な特殊樹脂コーティング
- ウェハおよび薄板ガラス向け IonPad 物理吸着保持
- ロボットアーム上でのウェハ滑り止め搬送
- 均一なミクロンレベル吸着を備えた多孔質チャック
- 接着タイプおよび非接着タイプの IonPad 表面タイプ
- 薄板ガラスおよび反りウェハ向け IonPad 保持搬送
- 静電チャック
- 静電吸着ソリューション