기본 정보
| 부스 | R7412 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.clean.co.jp/news/semicon-taiwan-2026-%E5%87%BA%E5%B1%95 |
회사 소개
CLEAN TECHNOLOGY CO., LTD. TAIWAN BRANCH (JAPAN)은 일본 Clean Technology Co., Ltd.의 대만 지사로 반도체 및 디스플레이 생산라인용 배기가스 처리 시스템을 전문으로 합니다. 회사는 반도체와 LCD 생산라인의 환경 보전에 필요한 배기가스 처리 시스템을 중심으로 다양한 제품을 개발합니다. 첨단 제조 현장과 청정 공간을 기술로 지원하고 지구 환경과 사람의 건강 양쪽에서 지속가능한 사회를 뒷받침하는 것을 사업 방향으로 제시합니다. 제품군에는 Wet Type Aqua IV, Plasma Type Thunder, Heater + Wet Type Sirius Kaiser Oz II, Heater + Wet Type Sirius Kaiser Oz, Exhaust / Drain Line Filter Unit Bariatron, Dry Type Reo가 있으며 고객 지원도 제공합니다. 일본어 사업 소개는 기존 필터 여과에 의존하지 않고 공간 자체를 세정하는 MA-T® 기류 공간 세정기 Doctor’e도 설명하며 이 기술이 오사카·간사이 엑스포에 전시되었다고 밝힙니다. 전문 인력이 제품 상담과 기술 지원을 제공하며 고객이 제품을 안심하고 사용할 수 있도록 지원 체계를 구축합니다.
전시 제품
CLEAN TECHNOLOGY CO., LTD. TAIWAN BRANCH (JAPAN)은 반도체 제조에서 배출되는 유해 공정 가스와 PFC 가스를 위한 배기가스 처리 시스템을 제공하며 dry etching, CVD, MOCVD 공정 수요에 대응해 비용 절감과 높은 안전성을 함께 추구하고 생산라인의 안정적 가동을 지원합니다. 분말 트랩과 자동 배관 세정 시스템은 공정 잔류물과 배관 막힘 문제를 해결하고 배기가스 처리 시스템 주변 관리를 강화해 생산라인의 지속적이고 안정적인 가동을 지원합니다. 회사는 「PM2.5 대책」과 「NOx 저감」을 주요 테마로 제시합니다. Plasma Type Thunder는 식각 시스템에서 배출되는 공정 가스와 PFC 가스를 처리하는 플라즈마식 배기가스 처리 시스템이며 회사는 세계 최초의 long-arc plasma를 사용하고 유닛 교체로 유지보수가 쉽다고 설명합니다. Thunder는 clamp connection이 있는 소형 plasma reactor와 독립·분리 가능한 유닛을 사용하며 long-arc plasma 기술로 reactor 내부 평균 분위기 6000℃에서 최소 에너지로 높은 처리 효율을 달성한다고 설명합니다. 같은 크기에서 최대 2개의 reactor를 설치할 수 있고 backup line과 시간 지연 없는 점화를 지원하며 처리 가스 유입 때만 plasma를 켜 부품 마모와 에너지 소비를 줄일 수 있습니다. shower area는 물 사용량을 최적화해 대형 wet scrubber가 필요 없도록 하며 낮은 운영비를 제시하고 SEMI Standards 인증을 받았습니다. Dry Type Reo는 CVD, ion implantation, epitaxial 공정 배출 가스용 건식 배기가스 처리 시스템이며 높은 안전성과 비용 절감을 함께 추구하고 생산 장비의 원활한 가동과 장기 처리를 위한 제어 기능을 갖춘 모델로 설명됩니다. Dry Type Reo는 독자적인 tank를 이용하는 abatement-column tank 교환 시스템으로 재생 대기 시간이 없으며 tank 열화 시 회사 비용으로 수리·교체한다고 밝힙니다. catalyst를 자체 개발·생산해 기존 비용의 1/3에서 1/10로 낮췄다고 설명하며 tank 생산, 산업폐기물 보관시설, 작업장비 개선으로 산업폐기물 비용을 20%, 재충전 시간을 30% 줄였다고 밝힙니다. Dry Type Reo의 공정 가스에는 SiF4, PH3, B2H6, TEOS, Si2H6가 포함됩니다. 기타 배기가스 처리 제품에는 Wet Type Aqua IV, spiral mechanism을 적용한 safety-heater type으로 설명되는 Heater + Wet Type Sirius Kaiser Oz 및 Sirius Kaiser Oz II, Exhaust / Drain Line Filter Unit Bariatron이 포함됩니다. Wet Type Aqua IV는 공간 절감과 유지보수 측면의 장점이 있다고 설명됩니다.
역량 및 제품
- 반도체 유해 공정가스 및 PFC 배기가스 처리
- 건식 식각/CVD/MOCVD 배기가스 처리 시스템
- 분말 트랩 및 자동 배관 세정
- 플라즈마식 배기가스 처리 시스템
- 건식 배기가스 처리 시스템
- PM2.5 대책
- NOx 저감
- MA-T® 기류 공간 세정