基本情報
| ブース | R7412 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.clean.co.jp/news/semicon-taiwan-2026-%E5%87%BA%E5%B1%95 |
会社概要
クリーン・テクノロジー株式会社は、CLEAN TECHNOLOGY CO., LTD. TAIWAN BRANCH (JAPAN)の日本の本社であり、半導体・ディスプレイ生産ライン向け排ガス処理システムを専門としています。半導体およびLCD生産ラインの環境保全に必要な排ガス処理システムを中心に各種製品を開発しています。高度な製造現場からクリーンな空間までを技術で支え、地球環境と人々の健康の両面から持続可能な社会を支えることを事業の方向性としています。製品群にはWet Type Aqua IV、Plasma Type Thunder、Heater + Wet Type Sirius Kaiser Oz II、Heater + Wet Type Sirius Kaiser Oz、Exhaust / Drain Line Filter Unit Bariatron、Dry Type Reoがあり、顧客サポートも提供します。事業紹介では、従来のフィルターろ過に依存せず空間そのものを洗浄するMA-T®気流空間洗浄機「Doctor’e（ドクトーレ）」も説明しており、この技術を大阪・関西万博に出展したとしています。専門スタッフが製品に関する相談や技術サポートを行い、顧客が安心して製品を利用できるサポート体制を構築しています。
展示製品
クリーン・テクノロジー株式会社は、半導体製造で排出される有害なプロセスガスとPFCガス向けの排ガス処理システムを提供し、ドライエッチ、CVD、MOCVD工程のニーズに対応してコスト低減と高い安全性を両立し、生産ラインの安定稼働を支えます。粉体トラップと自動配管クリーニングシステムは工程残渣や配管詰まりを解決し、排ガス処理システムの周辺管理を強化して生産ラインの継続的な安定稼働を支援します。同社は「PM2.5対策」と「NOx低減」をメインテーマとして挙げています。Plasma Type Thunderはエッチング装置から排出されるプロセスガスとPFCガス向けのプラズマ式排ガス処理システムで、世界初のlong-arc plasmaを使用し、ユニット交換で容易にメンテナンスできると説明されています。Thunderはclamp connectionを備えた小型plasma reactorと独立・着脱可能なユニットを採用し、long-arc plasma技術によりreactor内部雰囲気平均6000℃で最小限のエネルギーによる高い処理効率を実現するとしています。同一寸法で最大2基のreactorを搭載でき、backup line、時間遅延のない点火処理に対応し、処理ガス流入時だけplasmaをオンにして部品摩耗とエネルギー消費を低減できます。shower areaでは水使用量を最適化して大型wet scrubberを不要とし、低いランニングコストをうたい、SEMI Standards認証を取得しています。Dry Type ReoはCVD、ion implantation、epitaxial工程から排出されるガス向けの乾式排ガス処理システムで、高い安全性とコスト低減を両立し、生産装置の円滑な稼働と長期処理のための制御機能を備えるモデルと説明されています。Dry Type Reoは独自tankを用いたabatement-column tank交換方式により再生待ち時間をなくし、tankが劣化した場合は同社負担で修理・交換するとしています。catalystを自社開発・生産することで従来コストの1/3から1/10へ低減したとし、tank生産、産業廃棄物保管設備、作業設備の改善によって産業廃棄物コストを20%、詰め替え時間を30%削減したと説明しています。Dry Type ReoのプロセスガスにはSiF4、PH3、B2H6、TEOS、Si2H6が挙げられています。その他の排ガス処理製品としてWet Type Aqua IV、spiral mechanismを採用したsafety-heater typeと説明されるHeater + Wet Type Sirius Kaiser OzおよびSirius Kaiser Oz II、Exhaust / Drain Line Filter Unit Bariatronが挙げられています。Wet Type Aqua IVは省スペース性とメンテナンス面の利点を持つと説明されています。
対応領域・製品
- 半導体有害プロセスガス・PFC排ガス処理
- ドライエッチ/CVD/MOCVD排ガス処理システム
- 粉体トラップ・自動配管洗浄
- プラズマ式排ガス処理システム
- 乾式排ガス処理システム
- PM2.5対策
- NOx低減
- MA-T®気流空間洗浄