기본 정보
| 부스 | M1139 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.ci-semi.com |
회사 소개
CI Systems Ltd의 사업부인 CI Semi는 반도체, 태양광 PV, LED 및 FPD 시장을 위한 공정 모니터링 및 제어 시스템을 개발, 제조 및 판매합니다. 1992년부터 반도체 공정 장비 시장에서 활동해 온 CI는 OEMs 및 최종 사용자에게 비접촉식 웨이퍼 온도 모니터와 습식 공정 농도 모니터를 제공합니다. CI의 비접촉식 온도 모니터 제품군(NTM line)은 실시간 동일 지점 방사율 측정 및 보정을 통합하여 인시투 공정 모니터링에 적합한 솔루션을 제공합니다. CI의 습식 공정 분석기 제품군(WetSpec line)은 인라인 습식 화학 모니터링을 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 단순 화학액의 농도 측정을 위한 전도도 및 NDIR 솔루션부터 복합 용액의 여러 성분과 잔류물을 측정하는 분광 시스템까지 포함합니다.
전시 제품
CI Semi는 반도체, PV 및 FPD 산업을 위한 인라인 실시간 공정 모니터링 도구를 제공합니다. CI Semi의 비접촉식 온도 모니터 제품군(NTM line)은 실시간 동일 지점 방사율 측정 및 보정을 통합하여 인시투 공정 모니터링에 적합한 솔루션을 제공합니다. CI의 습식 공정 분석기 제품군(WetSpec line)은 단순 화학액의 농도 측정을 위한 전도도 및 NDIR 솔루션부터 복합 용액의 여러 성분과 잔류물을 측정하는 분광 시스템까지 다양한 모니터를 포함합니다. NTM Delta는 실시간 동일 지점 방사율과 온도 측정을 모두 통합한 유일한 고정확도·고반복성 파이로미터입니다.
역량 및 제품
- 비접촉식 웨이퍼 온도 모니터링
- 실시간 동일 지점 방사율 측정 및 보정
- 인라인 습식 화학 모니터링
- 전도도 및 NDIR 농도 측정
- 다성분 및 잔류물 분광 측정