기본 정보
| 부스 | M1139 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.ci-semi.com |
회사 소개
CI SEMI는 CI Systems Ltd의 사업부로서 산업 공정 환경용 공정 모니터링 및 제어 시스템을 개발, 제조 및 판매합니다. 공정 모니터링 및 제어 사업은 반도체, 태양광 PV, LED 및 FPD 시장을 대상으로 합니다. CI SEMI는 1992년부터 반도체 공정 장비 시장에서 활동해 왔습니다. 회사는 공정 제어 포트폴리오의 일부로 비접촉 웨이퍼 온도 모니터링과 습식 공정 농도 모니터링 기술을 제공합니다. 이러한 모니터링 제품은 장비 OEM과 최종 사용자 모두에게 공급되므로 고객에는 장비 제조사뿐 아니라 반도체 및 관련 생산 공정을 실제로 운영하는 사용자도 포함됩니다. 기술 접근 방식은 웨이퍼에 접촉하지 않는 열 측정과 습식 공정 화학 분석을 함께 포함하며, 서로 다른 전용 모니터링 제품군을 통해 두 종류의 공정 변수를 다룹니다. 이러한 분야에서 CI SEMI는 반도체 및 관련 제조 환경에서 직접 사용하기 위한 공정 모니터링과 제어 지향 측정 기능을 결합합니다.
전시 제품
CI SEMI는 반도체, PV 및 FPD 산업을 위한 인라인 실시간 공정 모니터링 도구를 제공합니다. NTM line은 공정 모니터링 용도의 비접촉 온도 모니터 제품군입니다. NTM 모니터는 실시간 동일 지점 방사율 측정과 방사율 보정을 통합합니다. 동일 지점의 방사율을 실시간으로 측정하고 보정함으로써 NTM 제품군은 웨이퍼에 접촉하지 않고 온도를 관찰해야 하는 in situ 공정 모니터링에 적합합니다. NTM Delta는 NTM 제품군의 고정확도, 고반복성 파이로미터입니다. NTM Delta는 하나의 파이로미터에 실시간 동일 지점 방사율 측정과 실시간 온도 측정을 모두 통합합니다. CI SEMI는 NTM Delta를 이러한 실시간 동일 지점 방사율 및 온도 측정을 결합한 유일한 고정확도, 고반복성 파이로미터라고 설명합니다. 습식 공정용 WetSpec line은 인라인 습식 화학 모니터링을 위한 분석기 제품군입니다. WetSpec은 단순 화학물질의 농도 측정과 더 복잡한 용액 분석을 모두 다루며 화학계에 따라 측정 방식을 선택합니다. 단순 화학물질에는 전도도를 이용한 농도 측정 솔루션이 포함됩니다. 같은 제품군에는 단순 화학물질의 농도를 측정하는 NDIR 솔루션도 포함됩니다. 복잡한 용액에서는 WetSpec이 단일 농도 방식에 한정되지 않고 분광 시스템을 사용합니다. 이 분광 시스템은 복잡한 용액의 여러 성분을 측정하며, 같은 인라인 습식 공정 모니터링 범위에서 잔류물도 측정합니다. NTM과 WetSpec 제품군은 함께 비접촉 웨이퍼 온도 모니터링, 실시간 동일 지점 방사율 측정 및 보정, 인라인 습식 화학 모니터링, 전도도 및 NDIR 농도 측정, 여러 성분과 잔류물의 분광 측정을 제공합니다.
역량 및 제품
- 비접촉 웨이퍼 온도 모니터링
- 실시간 동일 지점 방사율 측정 및 보정
- 습식 공정 화학 농도 인라인 모니터링
- Conductivity/NDIR 화학 농도 측정
- 분광 기반 다성분 및 잔류물 측정