基本情報
| ブース | M1139 |
| 国 | TW |
| 製品カテゴリ | PV: Cells · Cleaning; Washing Equipment for Assembly & Packaging · Acoustic Spectroscopy; Electron Spectroscopy for Chemical Analysis (ESCA); Ultrasonic; Acoustical Mi · Fiber Optic Inspection Instruments · Spectrometers; Fourier Transform Infrared (FTIR); Attenuated Total Reflectance FTIR (ATR-FTIR); Auge · Thermal Sensing, Measurement, Analysis · Inspection and Metrology · Cleaning; Washing; Drying Equipment for Substrate, Fab Processing · Deposition; Chemical Vapor (CVD); MOCVD; PECVD; LPCVD; ALD; REALD; MVD · Deposition; Physical Vapor (PVD); Sputtering; Evaporation Equipment · Etching; Stripping; Ashing - Dry and Wet Equipment · Thermal Processing - Diffusion; Oxidation; Annealing; RTA; RTP Equipment · Optical Test Systems · Sensors · Process Monitoring systems · Temperature Sensing; Control; Recirculators; Chillers; Heat Exchangers · Measurement and Control Technology · Chemical; Pure Water; Fluid Handling; Storage; Supply Systems · Chemical; Pure Water; Fluid Monitoring & Control Systems · Process Controls · Waste Control; Effluent Management Systems (Fluid & Gas; Exhaust Conditioning; Scrubbers) |
| ウェブサイト | www.ci-semi.com |
会社概要
CI Semi は CI Systems Ltd の一部門であり、半導体、太陽光発電（PV）、LED、FPD 市場向けのプロセスモニタリング・制御システムを開発・製造・販売しています。CI は 1992 年以来、半導体プロセス装置市場で活動しており、OEM およびエンドユーザーに非接触式ウェハ温度モニタや湿式プロセス濃度モニタを提供しています。CI の非接触温度モニタシリーズ（NTM ライン）は、リアルタイムかつ同一点での放射率測定と補償を組み込んでおり、その場（in-situ）プロセスモニタリングに最適なソリューションです。CI の湿式プロセス分析装置シリーズ（WetSpec ライン）は、インライン湿式化学モニタリングに費用対効果の高いソリューションを提供し、単純な薬液の濃度測定向けの導電率・NDIR ソリューションから、複雑な溶液中の複数成分や残留物を測定する分光システムまでをカバーします。
対応領域・製品
- WetSpec インライン湿式化学モニタリング分析装置
- リアルタイム同一点放射率測定および補正
- 湿式薬液向け導電率および NDIR 濃度測定
- 複雑な湿式溶液中の成分および残渣の分光測定
- 非接触ウェハ温度モニター（NTM line）