基本情報
| ブース | M1139 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.ci-semi.com |
会社概要
CI SEMIはCI Systems Ltdの一部門であり、産業プロセス環境向けのプロセス監視・制御システムを開発、製造、販売しています。プロセス監視・制御事業は、半導体、太陽光PV、LED、FPD市場を対象としています。CI SEMIは1992年から半導体プロセス装置市場で活動しています。同社はプロセス制御ポートフォリオの一環として、非接触ウェハ温度監視とウェットプロセス濃度監視の技術を提供しています。これらの監視製品は装置OEMとエンドユーザーの双方に提供され、顧客には装置メーカーだけでなく、半導体および関連生産プロセスを実際に運用する事業者も含まれます。技術アプローチは、ウェハに接触しない熱計測とウェットプロセス化学分析の両方を含み、専用の監視ファミリーによって異なる二つのプロセス変数を扱います。これらの分野でCI SEMIは、半導体および関連製造環境で直接利用するための、制御志向の計測機能とプロセス監視を組み合わせています。
展示製品
CI SEMIは半導体、PV、FPD産業向けにインラインかつリアルタイムのプロセス監視ツールを提供しています。NTM lineはプロセス監視用途の非接触温度モニターファミリーです。NTMモニターはリアルタイムの同一点放射率計測と放射率補償を組み込んでいます。同一点で放射率をリアルタイムに測定して補償することにより、NTMファミリーはウェハに触れずに温度を観察する必要があるin situプロセス監視に対応します。NTM DeltaはNTMファミリーの高精度、高再現性パイロメーターです。NTM Deltaは一台のパイロメーターにリアルタイム同一点放射率計測とリアルタイム温度計測の両方を組み込んでいます。CI SEMIはNTM Deltaを、これらのリアルタイム同一点放射率計測と温度計測を組み合わせた唯一の高精度・高再現性パイロメーターと説明しています。ウェットプロセス向けには、WetSpec lineがインラインのウェットケミストリー監視用アナライザーファミリーとして用意されています。WetSpecは単純な薬液の濃度測定から、より複雑な溶液の分析までを対象とし、薬液に応じて測定方式を使い分けます。単純な薬液では、導電率を利用した濃度測定ソリューションを含みます。同じ製品群には、単純な薬液の濃度を測定するNDIRソリューションも含まれます。複雑な溶液では、WetSpecは単一濃度の方式にとどまらず分光システムを使用します。これらの分光システムは複雑な溶液中の複数成分を測定し、同じインライン監視範囲で残留物も測定します。NTMとWetSpecの製品群を合わせると、非接触ウェハ温度監視、リアルタイム同一点放射率計測と補償、インラインウェットケミストリー監視、導電率およびNDIRによる濃度測定、複数成分と残留物の分光測定をカバーします。
対応領域・製品
- 非接触ウェハ温度モニタリング
- リアルタイム同一点放射率測定・補正
- 湿式プロセス薬液濃度のインライン監視
- Conductivity／NDIRによる薬液濃度測定
- 分光法による多成分・残留物測定