基本資料
| 攤位 | M1139 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.ci-semi.com |
公司簡介
CI SEMI 是 CI Systems Ltd 的事業部，開發、製造並銷售工業製程環境使用的製程監控與控制系統。其製程監控與控制業務涵蓋半導體、太陽能 PV、LED 與 FPD 市場。CI SEMI 自 1992 年起即活躍於半導體製程設備市場。公司在製程控制產品組合中提供非接觸式晶圓溫度監測與濕製程濃度監測技術。這些監測產品同時供應設備 OEM 與終端使用者，因此客戶類型包含設備製造商，以及實際操作半導體與相關生產製程的使用單位。其技術路線同時涵蓋不接觸晶圓的熱量測與濕製程化學分析，透過不同的監測產品系列處理兩種不同的製程變數。在這些領域中，CI SEMI 將製程監測與偏向控制用途的量測功能結合，供半導體及相關製造環境直接使用。
展出產品
CI SEMI 為半導體、PV 與 FPD 產業提供線上、即時的製程監測工具。NTM line 是公司的非接觸式溫度監測器系列，用於製程監測應用。NTM 監測器結合即時同點放射率量測與放射率補償。藉由在同一點即時量測並補償放射率，NTM 系列可用於需要在不接觸晶圓的情況下觀察晶圓溫度的原位製程監控。NTM Delta 是 NTM 系列中的高精度、高重複性高溫計。NTM Delta 在同一台高溫計中同時整合即時同點放射率量測與即時溫度量測。CI SEMI 將 NTM Delta 描述為唯一同時結合上述即時同點放射率與溫度量測的高精度、高重複性高溫計。針對濕製程，WetSpec line 是用於線上濕式化學監測的分析儀系列。WetSpec 同時涵蓋簡單化學品的濃度量測與較複雜溶液的分析，依化學體系選用不同量測方法。對簡單化學品，WetSpec 包含以導電度進行濃度量測的方案，也包含以 NDIR 進行濃度量測的方案。對複雜溶液，WetSpec 進一步採用光譜系統，不只侷限於單一濃度量測。這些光譜系統可量測複雜溶液中的多種成分，並可量測其中的殘留物。整體而言，NTM 與 WetSpec 產品系列涵蓋非接觸式晶圓溫度監測、即時同點放射率量測與補償、線上濕式化學監測、導電度與 NDIR 濃度量測，以及多成分與殘留物的光譜量測。
能力與產品項目
- 非接觸式晶圓溫度監測
- 即時同點放射率量測與補償
- 濕製程化學濃度線上監測
- Conductivity／NDIR 化學濃度量測
- 光譜式多成分與殘留物量測