基本情報
| ブース | N0583 |
| 国 | TW |
| 製品カテゴリ | Air Velocity (VA) Humidity and Moisture Sensing · Defect; Particle; Bump; Contamination Detection, Review or Inspection · Epitaxy Equipment; Epi Reactors; Molecular Beam Epitaxy (MBE); Atomic Layer Epitaxy (ALE) · Filters, Getters, Purifiers, Catalysts for Gases · Temperature Sensing; Control; Recirculators; Chillers; Heat Exchangers · Environmental; Utility Systems & Monitoring · Gas Handling - Cabinets; Control; Supply Systems · Gas Monitoring Equipment; RGA's; TGO compliance · Process Controls · Waste Control; Effluent Management Systems (Fluid & Gas; Exhaust Conditioning; Scrubbers) · Clean Rooms · Contamination Control; HEPA Filtering Systems · HVAC; Temperature; Humidity Systems and Control · Parts Cleaning; Micro Contamination · Clean Room; Contamination Control · Factory; Industrial Control; Utilization & Automation · Clean Room Supplies; Cleaning Supplies · Laboratory Apparatus and Supplies · Other |
| ウェブサイト | www.chd-tech.com.tw |
会社概要
2003 年の設立以来、CHD TECH は長年の実績を積み重ね、ミニエンバイロメント（微小環境）制御装置を提供することで、半導体およびパネル分野における技術要求の厳しい顧客の歩留まりと効率を大幅に向上させてきました。主な製品：先進プロセスのミニエンバイロメント制御、化学汚染の検出・除去、トータルソリューション、省エネ、クリーンルーム構築。
展示製品
Precision Process Environmental Control Equipment。奇鼎科技は、ウェハ製造、パッケージング・テスト、パネル産業向けにプロセス環境制御設備を提供しています。フォトレジスト塗布／現像装置、露光機、エッチング／レジスト除去装置、ウェハ洗浄機などの半導体設備に適用され、露光、現像、塗布などの重要工程の歩留まりを支えます。温度制御精度は±0.001°C、湿度制御精度は±0.3%RHに達し、世界水準の精密制御を実現しています。半導体、電子製造、部品・材料などの産業に対し、高規格精密空調設備、省エネルギーエンジニアリング、ワンストップサービスを提供し、生産効率と持続可能な競争力向上を支援します。
対応領域・製品
- Molecular Beam Epitaxy (MBE) および Atomic Layer Epitaxy (ALE) 装置
- 先進プロセス向け mini-environment control 装置
- 化学汚染検出装置
- 化学汚染除去装置
- 欠陥、パーティクル、bump、汚染の検出および検査
- 省エネクリーンルーム施工
- 風速、湿度、水分センシング