기본 정보
| 부스 | Q5139 |
| 국가 | KR |
| 웹사이트 | www.chunma.co.kr |
회사 소개
CHUNMA HI-TECH는 1993년에 설립되어 반도체 제조용 초고순도 QUARTZWARE를 전문적으로 생산합니다. 반도체 공정의 핵심 소재인 Quartz 유리를 가공, 용접 및 표면처리해 quartzware를 제조합니다. 반도체 미세가공 기술이 발전함에 따라 챔버 부품의 오염과 불순물을 줄이고 파티클이 없는 초고순도이면서 장시간 사용할 수 있는 제품을 개발합니다. Quartz는 낮은 열팽창계수, 높은 자외선 투과율과 화학적 내구성을 갖지만 고강도와 취성으로 인해 정밀가공이 어렵습니다. CHUNMA HI-TECH는 30년 이상 축적한 quartz 가공 경험과 지속적인 기술개발 및 혁신을 바탕으로 초미세 가공과 고품질 생산에 대응합니다. quartzware 제조에 필요한 고정밀 가공, 용접, Fire Polishing 등의 공정을 표준화하고 각 공정 장비를 보유해 고객 요구 제품을 자체 제작할 수 있는 시스템을 구축했습니다. Quartz 전용 장비를 개발하고 로봇 생산자동화를 도입해 다품종 소량생산의 생산성 저하와 공정 간 이동에서 발생할 수 있는 인적 요인 결함을 줄이는 체계를 갖췄습니다. 자동화 시스템은 대량생산 요구 대응까지 확장되어 있습니다. 협동로봇 생산라인은 적재와 하역, 위치 설정, 가공 및 운송을 자동화하여 정밀하고 균일한 품질의 대량생산을 지원합니다. CHUNMA HI-TECH는 Wonik QnC, Youngshin Quartz, Kumkang Quartz, Worldex 등 global quartzware 공급사에 OEM으로 공급합니다. TEL과 LAM RESEARCH와 관련된 생산 및 품질 인증 시스템도 보유합니다. 가공 역량에는 CNC, MCT, lapping, sanding, chemical etching, quartz welding, Fire Polishing, DI 및 ultrasonic cleaning, etching, CMM 및 polariscope inspection, laser marking이 포함됩니다. 연혁에는 1993년부터 반도체용 quartz 및 세라믹 가공과 RING, BOAT, CYLINDER 절단, FLANGE 가공을 수행한 내용이 포함됩니다. 2002년에는 LCD 5, 6, 7세대 세라믹 가공을 추가하고 CLEAN 사업장, venture-company, parts-and-materials specialist 인증을 취득했습니다. 2013년에는 quartz 제작 공정과 공장 생산능력을 확대해 1공장과 2공장을 운영하고 quartz 용접 공정을 신설했으며 웨이퍼 세정용 BATH 생산을 시작했습니다. 2014년에는 공장과 설비를 확장해 TUBE fire lathe, TUBE 열처리용 전기로, 12-inch 가공용 TUBE grinder 장비를 도입했습니다. 2020년에는 자동 Fire Polishing 장치를 개발하고 TEL 장비사 부품가공 인증, TOP-B와 TOP-GND 품질인증 및 양산, 로봇 자동가공 시스템 도입을 진행했습니다. 2022년에는 Gumi 공장을 신축하고 협동로봇을 활용한 대량생산 자동가공 시스템을 구축했으며 ISO9001 /14001 :2015 인증을 취득했습니다. 생산관리에서는 지속적인 R&D 투자와 ERP, MES SYSTEM을 결합하고 품질, 비용, 납기를 실시간 QCD로 관리합니다.
전시 제품
Quartz, 즉 silica SiO2는 SiO2로만 이루어진 유리로서 0.5 × 10^-6/°C의 매우 낮은 열팽창계수, 우수한 자외선 투과율 및 높은 화학적 내구성을 갖습니다. 이러한 재료 특성으로 반도체 공정뿐 아니라 태양전지, 디스플레이, LED 및 항공우주 분야에도 사용됩니다. CHUNMA HI-TECH는 고객 요구에 맞춰 최적 공정을 선택해 quartz 소재를 다양한 형상으로 제작하며 반도체 핵심공정용 고순도 QUARTZ WARE를 주력으로 생산합니다. 고온과 부식성 화학반응에 대한 내성이 필요한 반도체 공정은 quartz 유리의 중요한 응용 분야입니다. 반도체용 quartz는 공정 챔버 내부 소모품이나 식각 시 웨이퍼를 고정하는 focus ring으로 사용되며 이러한 반도체용 quartz 부품을 통틀어 QUARTZ WARE라고 합니다. QUARTZ WARE의 품질과 가공 정밀도는 반도체 제품 생산수율에 직접 영향을 주기 때문에 CHUNMA HI-TECH는 고정밀 quartzware를 제조합니다. 회사는 Diffusion, Thin Film, Photo, Etching, CMP & Cleaning의 다섯 가지 핵심 반도체 공정을 제시하며 이 공정들을 여러 차례 반복해 웨이퍼 위에 미세회로를 형성합니다. Diffusion 공정은 불순물 가스를 투입하거나 기판에 불순물 물질을 증착한 뒤 확산을 이용해 불순물을 웨이퍼 표면으로 침투시켜 반도체 전기적 성질을 바꿉니다. QUARTZ BOAT는 확산 챔버 안에서 웨이퍼를 적재하고 대형 관 형태의 QUARTZ TUBE는 BOAT가 장착된 상태에서 공정을 진행하는 데 사용됩니다. TUBE 제품에는 Process TUBE, Inner Tube 및 Outer Tube가 포함됩니다. Quartz tube는 챔버에 가스를 주입하고 외부 입자 오염을 막는 데 도움을 주며 내부에 BOAT를 설치해 공정을 진행합니다. 주로 대형인 TUBE 제품은 복잡하고 다양한 형상을 만들기 위해 정밀가공, 고급 용접 및 Fire Polishing 기술이 필요합니다. BOAT 제품에는 Ring Boat, Vertical Boat 및 Horizontal Boat가 있으며 확산관 안에서 웨이퍼를 한 장씩 지지하는 홈을 갖습니다. BOAT 구성은 웨이퍼 배열에 따라 구분되며 높은 정밀도와 고급 가공 및 용접 기술로 제조됩니다. Assembly 부품에는 CAP, PEDESTAL, PLATE 및 BASE가 포함됩니다. Pedestal, cap 및 base는 BOAT를 지지하고 열 손실을 줄이며 웨이퍼 표면에 균일한 증착이 이루어지도록 돕습니다. Injector 부품에는 INJECTOR와 NOZZLE이 포함되며 확산 챔버 내부에 가스를 공급하거나 배출하고 용도에 따라 다양한 형상으로 제조됩니다. 나열된 quartz 제품에는 RING, SHIELD, TOP, single-ring, CAP COVER, WINDOW, BATH, QUARTZ BOAT SLOT, NOZZLE, FLANGE 관련 부품 등이 포함됩니다.
역량 및 제품
- 반도체 핵심공정용 고순도·고정밀 쿼츠웨어(QUARTZ WARE) 제조
- 고객 요구에 맞춘 쿼츠 소재의 다양한 형상 맞춤 제작
- 반도체 확산공정용 쿼츠 튜브 제조
- 쿼츠 Process TUBE 제조
- 쿼츠 Inner Tube 제조
- 쿼츠 Outer Tube 제조
- 반도체 확산공정용 쿼츠 보트 제조
- 쿼츠 Ring Boat 제조
- 쿼츠 Vertical Boat 제조
- 쿼츠 Horizontal Boat 제조
- 반도체 확산공정용 쿼츠 CAP 부품 제조
- 반도체 확산공정용 쿼츠 PEDESTAL 부품 제조
- 반도체 확산공정용 쿼츠 PLATE 부품 제조
- 반도체 확산공정용 쿼츠 BASE 부품 제조
- 반도체 확산 챔버용 쿼츠 INJECTOR 부품 제조
- 반도체 확산 챔버용 쿼츠 NOZZLE 부품 제조
- 반도체 식각용 쿼츠 포커스링 제조
- 쿼츠 RING 부품 제조
- 쿼츠 SHIELD 부품 제조
- 쿼츠 CAP COVER 부품 제조
- 쿼츠 WINDOW 부품 제조
- 웨이퍼 세척용 BATH 제조
- RINSE BATH 제조
- QUARTZ BOAT SLOT 부품 제조
- 쿼츠 FLANGE 가공
- 쿼츠웨어 OEM 공급